【課題】高速回転状態での振れまわり測定を行うことなく、波形振幅値を用いて振れまわりを容易に推定することができる振れまわり推定方法の提供。
【解決手段】磁気浮上式真空ポンプの振れまわり推定方法は、ロータ３０を目標浮上位置に磁気浮上させる磁気浮上工程と、目標浮上位置に磁気浮上しているロータ３０を複数の回転位置に順に停止させ、各停止時における２対の電磁石の電流をそれぞれ計測する電流計測工程と、２対の電磁石の少なくとも一方の対に関して、対を成す電磁石の電流の差分を複数の回転位置の各々について算出する差分算出工程と、ロータ３０が一回転する間の差分の変化の振幅値を算出する振幅値算出工程と、予め得られている振れまわり量と振幅値との相関関係および振幅値算出工程で算出された振幅値に基づいて、ロータ３０の振れまわり量を推定する推定工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第１の支持面１３ａの凹部１３ｄと第２の支持面１３ｂの凹部１３ｆとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第１通路１３ｈ、第２通路１３ｉを介して、圧縮空気源Ａ，Ｂに接続されているので、例えばバルブＶ２を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第２の支持面１３ｂと第２の案内面１２ｂとの隙間を維持しつつ、第１の支持面１３ａが第１の案内面１２ａに着座することができ、或いはバルブＶ３を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第１の支持面１３ａと第１の案内面１２ａとの隙間を維持しつつ、第２の支持面１３ｂが第２の案内面１２ｂに着座することができ、これによりスライダ１３を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】コストアップを抑えつつ、回転体が過熱判定温度を超えたことを検知することができる磁気浮上式真空ポンプの提供。
【解決手段】磁気浮上式真空ポンプでは、ロータ３０とロータシャフト３３とが一体化された回転体はモータ３６により回転駆動され、その回転体はラジアル磁気軸受３７およびスラスト磁気軸受３８を備える磁気軸受装置によって所定位置に磁気浮上している。そして、真空ポンプは、回転体を構成するロータシャフト３３に熱的に接触するように設けられ、回転体を構成するロータ３０の過熱判定温度に対応したキュリー温度Ｔcを有する磁性体４１と、磁性体４１を吸引して回転体に対して軸方向の力を作用する永久磁石４０と、スラスト磁気軸受３８の励磁電流を検出する電流センサと、電流センサで検出される励磁電流Ｉの変化から、回転体を構成するロータ３０の温度が過熱判定温度を超えたか否かを判定する判定回路と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】エア軸受構造１５を備えた形状検出装置１のランニングコスト及び消費エネルギーを低減すること。
【解決手段】荷重作用領域ＦＡに位置する複数の噴出孔２５は、固定軸９の厚み方向ＴＤに対して対応関係にあるロータ１１の長手方向の中心１１ｃ側に傾斜し、対応関係にあるロータ１１の長手方向の中心１１ｃよりも左方側に位置する複数の第１傾斜噴出孔２５Ａと、対応関係にあるロータ１１の長手方向の中心１１ｃよりも右方側に位置する複数の第２傾斜噴出孔２５Ｂとからなり、荷重作用領域ＦＡから外れた領域に位置する複数の噴出孔２５Ｃは、固定軸９の厚み方向ＴＤに平行になっている。 （もっと読む）

【課題】主軸装置と工作物とを相対移動させて工作物を加工する工作機械における、衝突時の損傷防止機能を提供する。
【解決手段】主軸２を保持する軸受け４を外輪ケース５により保持し、外輪ケース５は、衝突時の軸方向負荷が所定の値を超えたに場合に、転がり軸受け４主軸２と共に後方へ移動する。衝突検知センサ３により衝突を検知すると、所定時間内に主軸送りモータを停止させる。外輪ケース５の後退ストロークは、衝突開始から主軸送りモータが停止までに要する時間より衝突時の外輪ケース５の後退時間が長くなるように、設定されている。このことにより、主軸２と工作物１１の衝突時に所定の値以上の力が転がり軸受け４に負荷されないので転がり軸受け４を損傷することなく工作機械を停止できる。 （もっと読む）

【課題】 焼付きを生じ得る程度の被軸受部材と静圧気体軸受との接触を未然に防止することのできる静圧気体軸受装置及びこれに用いられる限界荷重検知装置を提供すること。
【解決手段】 静圧気体軸受装置１は、回転軸２の被軸受面３と協働して軸受隙間４を形成する軸受面５から被軸受面３に向かって噴出する高圧気体に基づく軸受隙間４における気体圧力により回転軸２を支える導電性の多孔質静圧気体軸受７と、回転軸２及び多孔質静圧気体軸受７に電気的に接続されると共に、軸受隙間４における回転軸２と多孔質静圧気体軸受７との電気的接触に基づいて回転軸２から多孔質静圧気体軸受７に加えられる負荷荷重が限界に至った旨を検知する限界荷重検知装置８と、回転軸２を回転駆動させる駆動手段９と、限界荷重検知装置８による検知に基づいて駆動手段９による回転軸２の回転駆動を制御する駆動制御手段１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】従来よりも微細な穴を形成する際に発生する微小な送り負荷を安定して測定することが可能なスピンドルモータを提供する。
【解決手段】筒状筐体１１０と、モータ１２０と、穿孔工具把持部１５０と、筒状筐体１１０内でモータ１２０の回転軸と一体になって回転可能で、かつ、モータ２１０の回転力を穿孔工具把持部１５０に伝達するための回転体であって、先端側軸受面及び基端側軸受面を有する鍔部１３４が外周部に形成された回転体１３０と、筒状筺体１１０に弾性部材２４０を介してかつ送り方向に沿って微動可能に固定され、鍔部１３４における先端側軸受面及び基端側軸受面を挟み込んで穿孔工具把持部１５０からの送り負荷を受ける空気静圧軸受２２０と、送り方向に沿った空気静圧軸受２２０の変位に基づいて送り負荷を測定する送り負荷測定装置１４０とを有するスピンドルモータ１００。 （もっと読む）

【課題】 可動部が基台に接触した際にこの接触を確実に検知することのできる気体軸受けの接触検知機構を提供することである。
【解決手段】 基台に対して可動部を絶縁状態で支持する気体軸受けの接触検知機構であって、該基台に一端が接続された抵抗値Ｒ１を有する第１抵抗体と、一端が電源に接続され他端が該第１抵抗体の他端に接続された抵抗値Ｒ２を有する第２抵抗体と、一端が該第１及び第２抵抗体の他端に接続され、他端がグランドに接続された抵抗値Ｒ３を有する第３抵抗体と、該第３抵抗体の前記一端と他端との間の電位差を検出する電位差検出手段と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】部品点数を削減して低コスト化を図ることができる軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受装置Ｂは、アキシアル磁気軸受１３及びラジアルフォイル軸受１４と、アキシアル磁気軸受１３及びラジアルフォイル軸受１４によって回転可能に支持された回転軸Ｓと、アキシアル方向Ａにおける回転軸Ｓの変位を検出するための磁気センサ１５とを備えている。回転軸Ｓは、磁性材料により形成されるとともに径が異なる２つの外周面２０ａ，２０ｂを有し、磁気センサ１５は、ラジアル方向Ｒにおいて、２つの外周面２０ａ，２０ｂに対向して配置されている。 （もっと読む）

【課題】回転翼と固定翼の隙間を小さくして排気性能を向上させることができ、回転軸の温度及び熱膨張量を正確に推定することを可能にし、また回転翼と固定翼とが接触する前に警報を発する、あるいは運転を停止させることができるターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】回転軸５４を磁気浮上させる少なくとも一対のアキシャル磁気軸受５９，と、回転軸に取付けられた回転翼５２と、回転翼と対向するように配置された固定翼５３と、回転軸を回転駆動するモータ５５とを備えたターボ型真空ポンプにおいて、回転軸の一方の端部近傍に回転翼と固定翼とを配置することにより排気部９０を構成するとともに、回転軸の軸方向の位置を検出する第１のアキシャル変位センサ５９とアキシャル磁気軸受５８とを回転軸の他方の端部近傍に配置することにより運動制御部９１を構成し、排気部の近傍に回転軸の軸方向位置を検出する第２のアキシャル変位センサ６０を配置した。 （もっと読む）

【課題】 磁気軸受使用装置を分解せずに回転体の異常を判定することにより、磁気軸受使用装置の稼働中であっても日常的に点検を実施することを可能とし、安全性および信頼性を向上させるとともに、メンテナンス費用を削減することができる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 変位センサ8の出力に基づいて磁気軸受5,6,7の電磁石を制御するＤＳＰ17は、磁気軸受5,6,7に支持された状態の回転体4の周波数特性を求める周波数解析手段38と、回転体4の正常時の周波数特性Ｆ_０を蓄える基準周波数特性記憶手段としてのフラッシュメモリ19と、点検のため周波数解析手段38によって周波数特性Ｆを求めこれとフラッシュメモリ19に蓄えられた周波数特性Ｆ_０とを比較してその差が所定値より大きい場合に異常と判定する異常判定手段39とを有している。 （もっと読む）

【課題】 ラジアル変位センサの異常をより確実に検出できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置は、回転体4をラジアル電磁石の磁気吸引力により互いに直交する２つのラジアル方向に非接触支持する制御型ラジアル磁気軸受6,7と、回転体4の上記２つのラジアル方向の変位を検出するための２対のラジアル変位センサを有する少なくとも１組のラジアル変位センサユニット24,25と、回転体4の上記２つのラジアル方向の変位に基づいてラジアル電磁石を制御するラジアル電磁石制御手段とを備えている。ラジアル変位センサのゲイン補正値およびオフセット補正値を求めて記憶するキャリブレーション時にこれらゲイン補正値およびオフセット補正値ならびに少なくとも１組のラジアル変位センサユニットにおけるラジアル変位センサ相互間のゲイン補正値の差に基づいてラジアル変位センサの異常を検出する異常検出手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 工具の振れ回り量を高精度で測定することができる工作機械用磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 砥石9のラジアル方向の振れ回り量をラジアル位置センサ7a,7b,8a,8bの出力から求める振れ回り量検出回路24を備えている。振れ回り量検出回路24において、Ｘ軸方向の振れＸｔおよびＹ軸方向の振れＹｔが次式で求められている。
Ｘｔ＝｛（Ｘ１−Ｘ１_０）＋（Ｘ２−Ｘ２_０）｝（Ｌ＋Ｌｔ）／Ｌ−（Ｘ２−Ｘ２_０）
Ｙｔ＝｛（Ｙ１−Ｙ１_０）＋（Ｙ２−Ｙ２_０）｝（Ｌ＋Ｌｔ）／Ｌ−（Ｙ２−Ｙ２_０） （もっと読む）

【課題】本発明は静圧空気軸受けがガイド面に非接触状態を維持しているか否かを監視することを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０は、静圧空気軸受け２２が非接触状態を維持しているか否かを監視する監視装置８０を有する。監視装置８０は、電圧検出回路８２と、判定回路８４と、報知手段８６とを有する。電圧検出回路８２は、複数の信号線６６を介して静圧空気軸受け２２_１〜２２_３に電圧を印加し、信号線７６からの電圧と比較して静圧空気軸受け２２_１〜２２_３と固定側電極６０との電位差を検出する。判定回路８４は、静圧空気軸受け２２_１〜２２_３と固定側電極６０との電位差に応じた検出信号に基づいて静圧空気軸受け２２_１〜２２_３と固定側電極６０との接触の有無を判定する。報知手段８６は、判定回路８４により静圧空気軸受け２２_１〜２２_３の何れかと固定側電極６０との接触が発生したと判定された場合に報知する。 （もっと読む）

【課題】被加工物に対して圧力が加えられて加工が行われる加工装置において、信頼性が高く経済性に優れた機構によって加工時の圧力を計測できるようにする。
【解決手段】加工装置に搭載されるスピンドルユニット３０において、スラストベアリング３０５によって支持されるベアリングプレート３０９の第一のプレート面３０９ａまたは第二のプレート面３０９ｂとの間の間隔に対応した出力を行う間隔対応出力手段３１２、３１３を備え、第一のプレート面３０９ａまたは第二のプレート面３０９ｂとの間の間隔の変化を検知して回転軸に加わる荷重の変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】 ラジアル変位センサに異常が発生しても重大な事故や故障の発生を防止できる安全は磁気軸受装置の変位検出装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置の変位検出装置5は、２つのラジアル制御軸上に位置するように周方向に等間隔をおいて配置された４個のラジアル変位センサ17a,17b,17c,17dと、ラジアル変位センサを駆動するとともにラジアル変位センサの出力から回転体の２つのラジアル制御軸方向の変位を演算する駆動演算手段22とを備えている。駆動演算手段が、各ラジアル変位センサを個別に駆動して、各ラジアル制御軸上の２つのラジアル変位センサの出力からそのラジアル制御軸方向の回転体の変位を演算し、いずれかのラジアル変位センサの出力に異常が生じたときに、そのラジアル変位センサの出力として所定の擬似出力値を設定するものである。 （もっと読む）

【課題】 製品の出荷後であっても、出荷した製品ごとに障害の発生の有無を検知することができ、経年変化に起因する障害の発生を予見することができる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 回転体が、複数対の電磁石の磁力により、回転体の中心軸方向及び回転体の中心軸のラジアル方向に非接触支持され、磁気浮上するよう構成してある磁気軸受装置において、自装置を他装置と識別する固有の識別情報を記憶しておき、回転体を中心軸方向及び複数のラジアル方向の両側から挟むように配置された複数対の電磁石に対する回転体の位置を検出して位置検出信号を出力し、出力した位置検出信号に基づいて、回転体の挙動が異常であるか否かを判定し、回転体の挙動が異常であると判定した場合、回転体の挙動が異常である旨を示す異常信号及び識別情報を記憶し、又は外部へ送出する。 （もっと読む）

【課題】 ヒューズ切れを容易に判断できて、メンテナンスがし易い回転軸支持装置を提供すること。
【解決手段】 電磁石Ｘ１,Ｘ１’を駆動する電磁石駆動回路５,６が有しているヒューズのヒューズ切れを検出するヒューズ切れ検出回路７を形成する。上記ヒューズ切れ検出化回路７を、及ぼす力の力線方向が同一である対をなす電磁石Ｘ１,Ｘ１’を駆動する二つの電磁石駆動回路５,６の対毎に一つずつ形成する。 （もっと読む）

【課題】 保護軸受の交換時期をより正確に判定できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置は、電磁石26,27,28の磁気吸引力により回転体4をアキシアル方向およびラジアル方向に非接触支持する磁気軸受5,6,7と、回転体4のアキシアル方向およびラジアル方向の変位を検出する変位検出手段8と、タッチダウン用の保護軸受11,12と、変位検出手段8による変位検出値に基づいて磁気軸受5,6,7の電磁石26,27,28を制御する制御手段とを備えている。制御手段が、回転体4のタッチダウンの回数をカウントして記憶するカウント手段と、磁気軸受5,6,7の起動時に保護軸受11,12に対する回転体4のアキシアル方向およびラジアル方向のクリアランスを検出する手段と、カウント手段に記憶されたタッチダウン回数のカウント値および上記クリアランスの検出値に基づいて保護軸受11,12が交換時期に達したかどうかを判定する判定手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 磁気浮上装置を特殊な構造としたり、特殊な加工を施すことなく、且つ特別なメンテナンスを必要とせず、制御対象体の温度を検出できる、装置の安全な運転を確保できる磁気浮上装置を提供すること。
【解決手段】 相対向して配置された一対の電磁石１１、１３と、該一対の電磁石１１、１３の間に配置された制御対象体１５と、相対向して配置され該制御対象体１５の位置変位を検出する位置変位検出センサ１２、１４を具備し、該位置変位検出センサ１２、１４の検出信号を位相補償及びゲイン調整する制御回路部２０に入力し、該制御回路部２０からの制御出力で、一対の電磁石１１、１３の磁気吸引力或いは磁気反発力を制御し、制御対象体１５を該一対の電磁石１１、１３間の任意の位置に非接触で浮上支持制御する磁気浮上装置において、位置変位検出センサ１２、１４の検出信号により、制御対象体１５の外形寸法を検出し該制御対象体の温度を検出する温度演算回路部３０を設けた。 （もっと読む）