【課題】 小型化を図るとともに、ラジアルフォイル軸受の負荷容量を高めることができる遠心型圧縮機を提供する。
【解決手段】 遠心型圧縮機1の回転軸支持装置14は、モータステータ20aとモータロータ20bとの間に配置されたラジアルフォイル軸受21と、ラジアルフォイル軸受21の両側に配置された前後アキシアル電磁石24,25からなるアキシアル磁気軸受23とを有している。 （もっと読む）

【課題】 リラクタンス式変位センサによる検出精度の劣化を防ぎ、回転軸の良好な位置制御が可能になる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 周辺部３ａが磁性体からなる回転ディスク３と一対のスラスト用電磁石２１，２２とを有し、回転軸２の軸方向変位量に応じてスラスト用電磁石２１，２２に流れる電流が制御され、回転軸２の軸方向の位置を制御するスラスト磁気軸受Ａと、回転軸２の表面に固定された回転子鉄心１１と複数のラジアル用電磁石２３とを有し、回転軸２の径方向変位量に応じてラジアル用電磁石２３に流れる電流が制御され、回転軸２の径方向の位置を制御するラジアル磁気軸受Ｂと、回転軸２の軸方向変位量及び径方向変位量を検出するリラクタンス式変位センサＳとを備え、回転ディスク３の周辺部３ａから中央部３ｂを介して回転軸２に至る経路が磁気的に遮断された構成である。 （もっと読む）

【課題】 アキシアル方向の急激な負荷変動に対しても、磁気軸受を構成する電磁石の電磁力を追従させることができる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 この磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と磁気軸受１７Ａを併用し、転がり軸受１５，１６がラジアル負荷を支持し、磁気軸受１７Ａがアキシアル負荷を支持する。磁気軸受１７Ａを構成する電磁石１７は、主軸１３に設けられたスラスト板１３ａに非接触で対向するように、スピンドルハウジング１４に取付けられる。主軸１３に作用するアキシアル方向の力を検出するセンサ１８の出力に応じて、コントローラ１９が電磁石を制御する。このコントローラ１９は、磁気軸受１７Ａを構成する電磁石１７の発生電磁力を、前記センサ１８の出力に対して非線形に制御する。 （もっと読む）

【課題】 モータロータの発熱抑制・モータ効率向上が可能で、コイル電流印加タイミングの誤動作によるコイルの焼損を防止できるモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 転がり軸受１５，１６でラジアル負荷を支持し、主軸１３のスラスト板１３ａ，１３ｂに対向する磁気軸受でアキシアル負荷・軸受予圧を支持する。モータ２８は、主軸１３に設けられ位相検出器４０で位相が検出されるロータ２８と、これに対向するステータ２８ｂと、電気角３０°毎に切り替わる１２パターンのタイミング信号を生成する演算部３８と、タイミング信号に従ってステータ２８ｂの各相コイル２８ｂａに電流を印加するパワー回路３９とを備える。演算部３８は、位相検出器４０の出力に誤信号が有ると異常と判定する異常判定手段４１と、その異常判定結果に基づいてタイミング信号を補正するタイミング信号補正手段４２とを有する。 （もっと読む）

【課題】回転体の変位を高周波数域まで精度良く検出し、高周波数域まで安定した磁気軸受制御が実現できる磁気軸受装置を提供すること。
【解決手段】電磁石２、３に発振器７で発生するキャリア周波数ｆｃで駆動されるＰＷＭ方式のドライバ４から励磁電流を供給し、回転体１を所定の位置に回転自在に浮上支持する磁気軸受装置において、ドライバ電源５に流れる電流ｉｅを電流検出手段１９で検出し、該検出信号をバンドパスフィルタ１１、復調手段１２、ゲイン調整手段１４を通して変位誤差信号ｖｅｒｒを得、変位誤差信号ｖｅｒｒを電流検出手段１７、１８で検出した励磁電流検出信号を加算手段８、バンドパスフィルタ９、復調手段１０、ゲイン調整手段１３を通して得られた変位情報信号ｖｄｉｓｐから減算手段１５で減算して変位誤差信号ｖｅｒｒを減算除去し、真の変位情報信号ｖｄｉｓｐ’を得、変位情報信号ｖｄｉｓｐ’をフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】部品点数を削減して低コスト化を図ることができる軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受装置Ｂは、アキシアル磁気軸受１３及びラジアルフォイル軸受１４と、アキシアル磁気軸受１３及びラジアルフォイル軸受１４によって回転可能に支持された回転軸Ｓと、アキシアル方向Ａにおける回転軸Ｓの変位を検出するための磁気センサ１５とを備えている。回転軸Ｓは、磁性材料により形成されるとともに径が異なる２つの外周面２０ａ，２０ｂを有し、磁気センサ１５は、ラジアル方向Ｒにおいて、２つの外周面２０ａ，２０ｂに対向して配置されている。 （もっと読む）

【課題】 ラジアル電磁石の制御のための補正が不要で、ジャイロセンサとして使用する場合にも、ラジアル電磁石の制御心経の処理に補正が不要な磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置は、回転体2が、１組の制御型アキシアル磁気軸受3と２組の制御型ラジアル磁気軸受4,5により非接触支持されて電動モータ9により回転させられるものである。アキシアル磁気軸受3が、回転体2の軸方向の２箇所に設けられたフランジ部15,16にそれぞれ対向してフランジ部15,16を互いに逆方向に吸引する２個のアキシアル電磁石17,18を備えており、回転体2の軸方向の中心に電動モータ9のロータ14が設けられて、このロータ14を中心に回転体2が軸方向に対称形をなし、電動モータ9のステータ13を中心に、２個のアキシアル電磁石17,18、２組のラジアル磁気軸受4,5および回転体2のラジアル方向の変位を検出するためのラジアル変位センサ25,27を有する２組のラジアル変位センサユニット7,8が、軸方向に対称に配置されている。 （もっと読む）

【課題】ジャイロセンサとして使用するときの精度を高めることができ、しかも、回転体を安定良く支持できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】回転体２の軸方向の変位および傾きを検出するために円板状部分８の軸方向の片面に対向する複数のアキシアル変位センサ１２、円板状部分８に両面側から対向する複数対のアキシアル電磁石１３、円板状部分８の外周面に対向する複数のラジアル変位センサ１４、円板状部分８の外周面に対向する複数のラジアル電磁石１５、および回転体２を回転駆動するために円板状部分８の外周部に面する複数の回転駆動用電磁石１６が、円板状部分８の周囲のケーシング１に周方向に等間隔をおいて配置されており、回転体１を機械的に支持するためのタッチダウン軸受が、軸部に対応するケーシング１に設けられている。 （もっと読む）

【課題】フィードバックゲイン切換時のロータの過大振幅を防止することができる磁気軸受装置の提供。
【解決手段】磁気軸受式ターボ分子ポンプでは、ロータ回転開始から定常回転に達するまでに危険速度（回転数ｎ２）を通過させなければならない。ロータ回転開始から回転数ｎ３までは、回転数ｎ１が危険速度である制御ゲインＧ１で磁気軸受を制御し、回転数がｎ４を越えたならば本来の制御ゲインＧ２で制御する。そして、ゲイン切換区間であるｎ３≦ｎ≦ｎ４の回転数範囲では、回転数の上昇に伴って制御ゲインＧをＧ１からＧ２へと連続的に変化させる。その結果、ゲイン切換時のロータの過大振幅を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】回転体の磁気軸受装置において、その各電磁石の容量を自由に設計でき、負荷容量を過不足なく設定できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】回転体の磁気軸受において、回転体の並進運動を制御する並進運動制御回路２３と、該回転体の傾斜運動を制御する傾斜運動制御回路２４を具備する磁気軸受制御装置において、ラジアル電位センサ部の信号を入力として、ラジアル電磁石のｘ、ｙ方向の力に作用する不平衡消去回路３６を並列接続した。 （もっと読む）

【課題】スラスト荷重に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させることができ、コンパクト化，高速回転化に対応でき、かつアキシアル磁気軸受の負荷容量を軽減し、電流あるいは容積を小さくできるモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】このモータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と磁気軸受を併用し、転がり軸受１５，１６がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持する。同一の主軸１３に対してモータ２８を配し、前記主軸１３の両端にコンプレッサ６およびタービン７の各翼車６ａ，７ａを取付ける。前記コンプレッサ６およびタービン７の翼車６ａ，７ａの前面と背面の圧力差の差分を補償する手段として、前記いずれかの翼車６の背面に、この翼車の背面よりも大径の円盤状の板を設けて背圧の作用する面積を大きくする。 （もっと読む）

【課題】回転体の磁気軸受の制御システムにおいて、不平衡剛性の予想値が変化しても制御回路の対応が容易であり、又、該不平衡剛性の補償回路の影響を受けずに当該制御系の周波数特性の計測を行なうことができるような磁気軸受システムを提供する。
【解決手段】回転体の磁気軸受システムの制御系において、回転体が磁気軸受部において安定浮上するように制御する第１制御回路の出力と該磁気軸受部における不平衡剛性を打ち消すための第２制御回路の出力を加え合わせて前記磁気軸受部を制御するように形成した。 （もっと読む）

【課題】磁気軸受を構成する電磁石の磁気特性を損なうことなくコンパクトに電磁石とモータを一体的に構成できると共に、主軸の高速回転が可能なモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】このモータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と磁気軸受を併用する。磁気軸受を構成する電磁石１７は、主軸１３に設けられた２枚のスラスト板１３ａ，１３ｂに非接触で対向するように、スピンドルハウジング１４に取付けられる。アキシアル方向の力を検出するセンサ１８の出力に応じて電磁石１７を制御するコントローラ１９が設けられる。転がり軸受１５，１６と転がり軸受の支持系とで形成される合成バネの剛性値は、モータ部の負の剛性値よりも大という関係を有するように設定される。主軸１３には、高炭素クロム軸受鋼が用いられる。 （もっと読む）

【課題】スラスト荷重に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させ、コンパクト化，高速回転化に対応でき、かつ簡単な構成でモータ効率を低下させずに効率の良いモータ冷却が行えるモータ一体型磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】モータ一体型磁気軸受装置は、コンプレッサ翼車およびタービン翼車が設けられた主軸１３を支持する転がり軸受と磁気軸受とを備える。モータ２８のロータ２８ａは主軸１３に設け、このモータロータ２８ａと対向してモータコイル２８ｂａを有するモータステータ２８ｂをスピンドルハウジング１４に設置する。スピンドルハウジング１４内のモータ２８の配置部を貫通するモータ冷却流路４１を設ける。このモータ冷却流路４１の内部に位置して、冷媒の流れる方向を変える整流板４３を前記スピンドルハウジング１４に取付ける。整流板４３は、変化後の冷媒の流れる方向をモータロータ２８ａの回転方向と同じ方向とするものである。 （もっと読む）

【課題】スラスト荷重の負荷に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させ、コンパクト化、高速回転化に対応でき、かつ十分なモータ冷却およびモータ効率向上ができるモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】転がり軸受と磁気軸受を併用する。磁気軸受を構成する電磁石は、主軸に設けられた強磁性体からなるフランジ状のスラスト板に非接触で対向する。アキシアルギャップモータのステータは、高分子材料のケース２８ｂｂ内にモータコイル２８ｂａを収容する。モータコイル２８ｂａは、平角導線を２層の各層部分２８ｂａ１，２８ｂａ２に巻回し、巻き始め部および巻き終わり部となる巻線の両端を外周部に配置する。ケース２８ｂｂ内に、巻線に冷却液が接するように冷却液を流す冷却液循経路４１が設けられ、モータコイル２８ｂａに面して開口した冷却液通過溝４１ｂａを有する。溝壁面に凹凸４１ｂａａが形成される。 （もっと読む）

【課題】耐焼きつき性及び耐磨耗性の向上が可能なタッチダウン軸受を提供する。
【解決手段】ロータ翼と一体に回転するロータ軸を、非接触状態で回転自在に支持するアキシャル磁気軸受及びラジアル磁気軸受を有する磁気浮上式ターボ分子ポンプに備えられ、アキシャル磁気軸受及びラジアル磁気軸受が制御不能となった時には、ロータ軸と内輪７１の内径面７１ａ及び端面７１ｂが接触することにより機能するタッチダウン軸受（アンギュラ玉軸受７）であって、内輪７１の内径面７１ａ及び端面７１ｂは、球状または略球状の金属粒子を衝突させることにより形成され、表面硬さがビッカース硬さでＨｖ７００以上、表面粗さが０．３〜１．２Ｒａμｍの範囲内、厚さが１０μｍ〜１００μｍの範囲内となっている硬化層Ｓを有し、硬化層Ｓの表面に、固体潤滑剤によって形成された潤滑被膜Ｆを形成する。 （もっと読む）

【課題】アキシャル方向に小型化するとともに、主軸の回転と主軸のアキシャル位置をそれぞれ容易に個別制御できる電動モータを提供する。
【解決手段】本発明にかかる電動モータは、主軸１５と、主軸１５に固定されるとともに磁性体で形成されたアキシャル磁気ディスク１７と、磁力を発生させるとともに当該磁力により前記アキシャル磁気ディスク１７をアキシャル方向に吸引することにより、主軸１５をアキシャル方向に非接触支承するアキシャル磁気軸受６と、前記主軸の位置を制御する主軸位置制御部と、前記主軸に固定されるとともに前記主軸を回転させるロータ１６と、駆動力によりロータを回転させるステータと、駆動力を制御することにより、主軸の回転を制御する回転制御部６０とを備え、アキシャル磁気ディスク１７がロータ１６を兼用する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でフォイル軸受の摩耗を抑制することができる軸受装置およびこれを備えた遠心圧縮機を提供する。
【解決手段】軸受装置は、フランジ部を備えたロータと、ロータをラジアル方向に支持するフォイル軸受と、電磁石によりロータをアキシアル方向に支持する磁気軸受と、電磁石に供給される電流を制御する制御部を備える。制御部は、電磁石によりフランジ部を吸引することにより、ロータをアキシアル方向に支持するための第１の電流を、電磁石に供給するように制御する。そして、制御部は、ロータの回転数が、第１の電流を電磁石に供給してフォイル軸受からロータが浮上する場合の回転数（Ｒ１）よりも少ない場合は、第１の電流よりも大きい第２の電流を、電磁石に供給するように制御する。 （もっと読む）

【課題】大幅なコストアップを招かずに、主軸のアキシャル方向の伸びを正確に測定することができ、主軸のアキシャル方向の位置を正確に補正できるよう改良された磁気軸受装置を供給する。
【解決手段】アキシャル変位センサ１４によって測定されたアキシャル位置ターゲットの変位のデータは第１の主軸伸び演算部６４に送信され、一対のアキシャル位置ターゲット間の主軸の伸びが演算される。演算結果は第２の主軸伸び演算部６５に送信され、一対のアキシャル位置ターゲットのうち工具側の一対のアキシャル位置ターゲットと工具側と間の主軸の伸びが演算される。演算結果はアキシャル位置制御部６６に送信される。アキシャル位置制御部６６はアキシャル磁気軸受部６に供給する電力を変化させることにより、工具のアキシャル方向の位置が一定となるように主軸のアキシャル位置を制御する。 （もっと読む）

【課題】アキシアル方向における主軸の長さを短くすることができる磁気軸受装置およびこれを備えた工作機械を提供する。
【解決手段】磁気軸受装置１は、ラジアル方向Ｒへ延設されたフランジ部１６を備える主軸１０と、アキシアル方向Ａにおいてフランジ部１６と対向して配設され、電磁石３２によって主軸１０をアキシアル方向Ａに支持するアキシアル磁気軸受３０と、アキシアル方向Ａにおける主軸１０の位置を検出するアキシアル変位センサ４０とを備える。アキシアル変位センサ４０は、ラジアル方向Ｒにおいてフランジ部１６と対向して配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）