【課題】 転がり軸受と磁気軸受を併用した構成で、安定な制御が可能でコントローラの構成も簡略化できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 この磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と磁気軸受１７を併用し、転がり軸受１５，１６がラジアル負荷を支持し、磁気軸受１７がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持するようにしたものである。磁気軸受１７を構成する電磁石は、主軸１３に垂直かつ同軸に設けられた強磁性体からなるフランジ状のスラスト板１３ａに非接触で対向するように、スピンドルハウジング１４に取付けられる。主軸１３に働くアキシアル方向の力を検出するセンサ１８が設けられ、このセンサ１８の出力に応じて電磁石１７を制御するコントローラ１９が設けられる。転がり軸受１５，１６と転がり軸受１５，１６の支持系とで形成される合成バネの剛性値は、電磁石１７の負の剛性値よりも大である関係を有するように設定される。 （もっと読む）

【課題】 モータが高負荷動作し過大なアキシアル荷重が作用した状態においても、安定な制御が可能でコントローラの構成を簡略化でき、かつ主軸を高速回転させることが可能なモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 このモータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と磁気軸受を併用し、転がり軸受１５，１６がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持する。スラスト板１３ａ，１３ｂは軸方向に離れて２つ設けられ、これら２つのスラスト板１３ａ，１３ｂは、片面に電磁石ターゲットが形成され、もう一方の面にはモータロータ２８ａ用の永久磁石２８ａａが配置される。転がり軸受１５，１６に作用するアキシアル方向の力を検出するセンサ１８が設けられ、その出力に応じて、電磁石１７を制御するコントローラ１９が設けられる。 （もっと読む）

【課題】転がり軸受と磁気軸受を併用した構成で、最大荷重が作用した場合でも、安定な制御が可能でコントローラの構成も簡略化できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】この磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と磁気軸受を併用し、転がり軸受がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持するようにしたものである。転がり軸受と、その支持系とで形成される合成バネの剛性値は、電磁石１７の負の剛性値よりも大である関係を有するように設定される。また、転がり軸受と転がり軸受の支持系とで形成される合成バネの剛性値をＫｂｒｇ、最大負荷をＦｍａｘ、電磁石ギャップをｄ、比例定数をｋとした場合に、電磁石ギャップｄは、ｄ＞ｋ＊Ｆｍａｘ／Ｋｂｒｇで示される条件式を満足するように設定される。 （もっと読む）

【課題】 特別な構成を付加することなく、ロータへの反応生成物の堆積を防止して、定期メンテナンスの間隔を延ばすことができる磁気軸受型ターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】 磁気軸受型ターボ分子ポンプは、ロータ4が、ハウジング内において、電磁石を有する制御型磁気軸受11,12,13により非接触支持されて電動モータ15により回転させられるものである。磁気軸受制御手段2が、電磁石に供給する励磁電流を制御することにより、ロータ4を加振するようになされている。 （もっと読む）

【課題】コントローラの交換に対応するためのコスト増加を防ぐことが可能な磁気軸受装置および真空ポンプ装置を提供する。
【解決手段】磁気軸受装置は、磁気軸受スピンドル１と、磁気軸受スピンドル１を制御するコントローラ１６とを備え、コントローラ１６は、磁気軸受スピンドル１を制御するためのデータを保存する記憶部１７と、他のコントローラ１６へ記憶部１７に保存されたデータを送信するデータ送信回路２０と、他のコントローラ１６からデータを受信して記憶部１７に保存するデータ受信回路２１とを含む。 （もっと読む）

【課題】磁気軸受装置の回転試験を低コストで行なうことが可能な磁気軸受装置および真空ポンプ装置を提供する。
【解決手段】磁気軸受装置は、回転翼１５を回転させる磁気軸受スピンドル１と、磁気軸受スピンドル１を制御するコントローラ１６とを備え、コントローラ１６は、回転翼１５が磁気軸受スピンドル１に取り付けられている第１の動作モードであるか、または回転翼１５が磁気軸受スピンドル１に取り付けられていない第２の動作モードであるかに基づいて磁気軸受スピンドル１の制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】制御性に優れ、より一層の高剛性化・高効率化・小型化が実現できるハイブリッド型磁気軸受を提供する。
【解決手段】
複数の電磁石と永久磁石の磁気力を制御することで非接触状態で支持され回転するロータを有するハイブリッド型磁気軸受において、電磁石は、主極と補極用永久磁石を有する補極を所定の間隔で略平行にロータの径方向あるいは軸方向に突設したコアに制御コイルを巻着し、径方向の磁気軸受においては、２つの電磁石は、ロータを挟んで略水平に対向して配置するとともに、ロータと、主極および補極が、所定のギャップを有するように配設し、隣り合う電磁石の主極との間に永久磁石を設ける、軸方向の磁気軸受においては、２つの電磁石は、略水平に平行して配置するとともに、ロータと、主極および補極が、所定のギャップを有するように配設し、隣り合う電磁石の主極との間に永久磁石を設けるハイブリッド型磁気軸受である。 （もっと読む）

【課題】 作動媒体の種類に制限を受けることなくタービンの長期回転が可能で、回転起動も円滑に行え、軸受の制御も比較的容易で、発電効率を低下させない熱発電システムを提供する。
【解決手段】 熱エネルギーを吸収するコレクタ１によって、直接または間接的に作動媒体３を加熱し、作動媒体３の蒸気をノズル８ａから噴出させ、ノズル８ａからの高圧蒸気によってタービン５を回転駆動させる。タービン５の回転によって、発電機６における発電機ロータ６Ａを回転させ、発電機ロータ６Ａと対向して設けられた発電機ステータ部６Ｂで発電させる。前記タービン５の翼車５ａと前記発電機ロータ６Ａとを連結する主軸９を非接触軸受１１，１２で支持する。この非接触軸受１１，１２として、動圧軸受およびフォイル軸受１３，１４，１５のいずれかと、磁気軸受３１，３２，３３とを組み合わせて用いる。 （もっと読む）

【課題】 作動媒体の種類に制限を受けることなくタービンの長期回転が可能で、回転起動も円滑に行え、軸受の制御も比較的容易で、コンパクトに構成し得る熱発電システムを提供する。
【解決手段】 熱エネルギーを吸収するコレクタ１によって、直接または間接的に作動媒体３を加熱し、作動媒体３の蒸気をノズル８ａから噴出させ、ノズル８ａからの高圧蒸気によってタービン５を回転駆動させる。タービン５の回転によって、発電機６における発電機ロータ６Ａを回転させ、発電機ロータ６Ａと対向して設けられた発電機ステータ部６Ｂで発電させる。前記タービン５の翼車５ａと前記発電機ロータ６Ａとを連結する主軸９は、主軸９を永久磁石対１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂで構成される軸受部１２，１３、および電磁石１４ａ，１４ｂで構成される軸受部１４で軸方向および径方向に非接触で支持し、永久磁石１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂは主軸９の径方向の支持を吸引力で行うものとする。 （もっと読む）

【課題】 制御性に優れ、シンプルで効果的な構成により、小型化及び軽量化が図れるハイブリッド型の磁気軸受を提供する。
【解決手段】
ステータと、前記ステータに磁気力によって非接触状態で支持されて回転する浮上対象物であるロータを有する磁気軸受において、電磁石の鉄心、永久磁石で構成される磁気支持対象物に対して磁気回路を２次元平面上に構成し、補極近辺に設ける永久磁石を利用することにより制御応答性を高めることがでる。 （もっと読む）

【課題】加工中にも主軸伸び補正機能を正しく動作させ高精度な加工が可能な磁気軸受主軸を実現すること。
【解決手段】主軸径検出処理部４と、主軸伸び演算部５，補正値演算部６，補正指令演算部７により構成される伸び補正演算部８とを備え、加工負荷による主軸３１のラジアル方向の変位に対して、対向する参照センサであるラジアル変位センサ２８，４０からの信号を加算することにより、加工負荷によるラジアル方向の変位分をキャンセルし、また、回転周波数成分を除去するフィルタ処理部３により、非軸対象の回転振れが発生した場合において回転振れ信号を遮断し、さらに、プロセス条件により主軸３１の状態が変化する場合においても補正値演算部６の出力に基づき、伸び補正値を補正することにより、加工中でも主軸３１の伸び補正機能を正しく動作させることができる。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高くかつ短時間で自動工具交換が行える磁気軸受主軸を実現する。
【解決手段】モード判別部１２と、バイアス指令発生部１０、パワー増幅器８，９、可変重量部交換位置検出部１１とにより構成される可変重量部交換モード処理部１４とを備え、可変重量部４０（例えば工具）を交換するときに、特定のラジアル磁気軸受電磁石２２，２４にバイアス電流を印加し、回転体３１を決められた位置に固定することにより、工具交換時の位置決めを可能にし、信頼性が高く、かつ短時間での自動工具の交換を可能にする。 （もっと読む）

【課題】 検出された位置信号の交流リップル分を低減できると共に、位相遅れの少ない位置センサ、及びこの位置センサを適用することで安定し、かつ振動のより少ない磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 搬送波発信器２０１及びセンサ１０７とで構成された位置信号検出部と、該位置信号検出部から抽出された信号と前記搬送波発信器２０１の信号とを乗算する乗算器２３１と、該乗算器２３１の出力信号を分岐し、該分岐された一方の信号を遅延させる遅延器２３７と、該遅延器２３７の出力信号と前記分岐された他方の信号とを加算する加算器２３５とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】 制御型磁気軸受による安定浮上が可能な範囲を増大させることができるフライホイールエネルギ貯蔵装置を提供する。
【解決手段】 フライホイールエネルギ貯蔵装置は、フライホイール13を有する回転体2が制御型磁気軸受3,4,5により非接触支持されて回転させられるものであり、回転体2の回転停止時の１次の曲げモード固有振動数が２次の剛体モード固有振動数の２〜６倍である。 （もっと読む）

【課題】 広範囲の周波数域にわたって制御安定性を劣化させることなく、消費電力を低減できる磁気軸受装置の制御装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置の制御装置は、回転体1の変位に基づいて制御型磁気軸受2,3,4の電磁石12,13,14に供給する励磁電流を制御するものであって、回転体1の変位によって変化しない定常電流と回転体1の変位によって変化する制御電流とを合わせた励磁電流を電磁石12,13,14に供給する。制御装置は、プラントとコントローラを含むフィードバック制御系の制御安定性を評価する安定性評価手段と、制御安定性の評価結果に基づいて定常電流値を変化させる定常電流値制御手段と、制御安定性の評価結果に基づいてプラントの同定とコントローラの最適化を実施する最適化手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】回転体をハウジング内で、ポンプ軸線方向においては磁気軸受で支持し、半径方向においては流体軸受で支持する軸受において、回転体の周回運動を抑制する。
【解決手段】回転体であるインペラの外周には軸受磁石３６が設けられ、ハウジングの内周には軸受磁石３６に対向する位置に磁気コア３８が配置される。軸受磁石３６と磁気コア３８により磁気軸受が構成される。また、インペラ外周面と、ハウジング内周面により流体軸受が構成される。ハウジングには、磁気コア３８に加えてバイアス磁石４６が配置される。バイアス磁石４６と軸受磁石３６の相互作用によりインペラに作用する力が非対称となって、インペラの動きが抑制される。 （もっと読む）

【課題】 軸方向の制御性に優れ、小型化及び軽量化が可能な磁気軸受を提供する。
【解決手段】 ステータ１は、複数の主極３と、主極３の１つに周方向において隣接し先端部にバイアス磁束を供給する永久磁石１６を形成された複数の補極４とを有する。各主極３には、バイアス磁束の強度を軸方向のある位置においては強め別の位置では弱めることによりロータ２の軸方向の位置を制御するアキシャル励磁コイル１５が形成されている。複数の補極４の先端に形成される複数の磁束センサ１７の検出出力に基づいて、アキシャル励磁コイル１５に流れる励磁電流が制御される。 （もっと読む）

【課題】 主軸の高速回転が可能で、高回転精度、高静剛性・動剛性を有し、高能率で高精度な加工が行える金型加工装置を提供する。
【解決手段】 工具１１を回転させるスピンドル装置１の主軸４を、静圧磁気複合軸受６〜９で支持し、次の手段を設ける。静圧磁気複合軸受６〜９の励磁電流を検出する電流検出手段１５〜１８と、その電流検出値から加工状態を把握する加工状態把握手段１９を設ける。外部指令応答オンオフ手段２０を設け、静圧磁気複合軸受６〜９は、外部の指令で静圧気体軸受部のみによる支持を可能とする。ハウジング５の温度を測定する手段７６と、温度測定対応出力手段７７とを設ける。 （もっと読む）

回転子が浮遊し、シャフトの周りを回転する磁気軸受装置を制御する方法および制御装置を開示する。センサー信号が変換され、所定方向（ｘ、ｙ）へのシャフトの傾斜移動に対応する傾斜移動信号（Ｓθｘ、Ｓθｙ）を生成するようにする。傾斜移動信号（Ｓθｘ、Ｓθｙ）から傾斜制御信号（Ａθｘ、Ａθｙ）が得られ、これらが変換されてアクチュエータ制御信号を生成し、電磁アクチュエータを磁気軸受装置内で駆動させる。本発明によれば、傾斜ベクトルが第一規定回転方向に装置軸（ｚ）の周りを回転する傾斜移動が、傾斜方向ベクトルが第一規定回転方向と反対の第二回転方向に装置軸（ｚ）の周りを回転する傾斜移動から独立して制御される。このようにして、章動および歳差制御が翼振動またはシャフト湾曲モードの干渉を受けることなく達成される。 （もっと読む）

磁気軸受装置および係る装置の操作方法を提供する。該装置は電磁アクチュエータ（４１１、４１２、４１３、４１４）のグループ（４１０）からなる。各アクチュエータは増幅ユニット（７０１）に電気的に接続される。第一のサブグループのアクチュエータは第一の共通ノード（６０８）に接続され、第二のサブグループのアクチュエータは第二の共通ノード（６０９）に接続される。該共通ノード（６０８、６０９）は直接または追加アクチュエータのような手段により接続される。該共通ノード（６０８、６０９）は増幅ユニットとの追加電気接続を行わないのが好ましい。本発明の特別実施形態によれば、アクチュエータの各サブグループは１つの単一アクチュエータのみからなり、共通ノードは増幅器との電気接続が行われる。このように、該装置は直列構成でＨ−ブリッジに接続された２つのアクチュエータからなる。共通ノードは２種類の電圧のどちらに接続してもよい。本発明により、ワイヤーの負荷要求を増やすことなく簡易配線が可能となる。 （もっと読む）