位置の自動検出を行なう能動型磁気ベアリング（１００）であって、このベアリングは、強磁性体（１１０）の両側に配置されている、固定子を形成する対向している少なくとも第１及び第２の電磁石を有し、強磁性体（１１０）は、回転子を形成し、複数の電磁石の間に接触しないで保持される。第１及び第２の電磁石は、各々、第１の強磁性材料により本質的に構成され強磁性体とエアギャップを規定するように協働する磁気回路（１２１；１３１）と、電力増幅器から電力供給される励起コイル（１２２；１３２）とを有し、この電力増幅器の入力電流は、第１及び第２の電磁石の磁気回路に対する強磁性体の位置に応じてサーボ制御される。この強磁性体（１１０）の位置は、システムの閉ループ通過帯域よりも大きな周波数の正弦波電流を両方の対向する電磁石に同時に流すことに応じて２つの前記電磁石（１２０、１３０）の間で検出されるインダクタンスから測定される。
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再生ポンプ機構は、一方の側に環状列に位置決めされた一連のブレードを有するロータと、ブレードが回転する環状チャンネルを有するステータと、を含む。ロータとステータの間の軸方向クリアランスを制御するために、アキシャル磁気軸受がロータとステータの間の相対的な軸方向移動を積極的に制御する。これは、ポンプ機構に、ラジアルシールとは全く異なって、ロータとステータの間の制御可能なアキシャルシールを提供することができる。
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ケース（１００）と、このケース（１００）の内部で回転自在に支持された回転体（２００）と、磁力により回転体を回転駆動するステータ（１１０）とを備える。ステータ（１１０）は、ケース（１００）の外部に装着された鉄心（１１１）と当該鉄心（１１１）に巻回された磁気コイル（１１２）とを含む。そして、磁極を構成する鉄心（１１１）の端面が、少なくとも非積層強磁性体で形成され、かつケース（１００）の内壁の一部を形成するように当該ケース（１００）の内面に露出した構成とする。
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能動の磁気ベアリングを有するターボ分子真空ポンプは、主真空チャンバを規定している容器と、ロータと、電気モータと、アキシャル磁気ベアリングと、ラジアル磁気ベアリングと、軸方向検出器と、径方向検出器とを有している。前記電気モータと、前記アキシャル磁気ベアリングと、前記ラジアル磁気ベアリングとに関連付けられ、離れた外部の電気回路は、電源回路を代表的に有している。前記軸方向検出器と前記径方向検出器とによって出力される信号から、前記アキシャル磁気ベアリングと前記ラジアル磁気ベアリングを制御するための回路が、所定の樹脂中に埋め込まれ、主真空チャンバ内で前記容器中に位置されている。気密で耐漏洩の電気コネクタと、前記離れた外部の電気回路との接続を与えている前記電気ケーブルとは、各々が、１０本未満の複数の接続電線を有している。
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