【課題】 加工性およびガスシール性を向上させた気体軸受構造と、該構造を備えたスターリング機関およびスターリング冷却庫とを提供する。
【解決手段】 気体軸受構造は、シリンダ内で往復運動するピストン１４を支持する気体軸受構造であって、ピストン１４の外周面１４１にピストン１４の周方向に沿って断続的に形成された溝部の底面１４３Ａからピストン１４の内部空間１４７に達する噴出孔１４４を通じて内部空間１４７からシリンダの内周面に向かってガスを噴出する「ガス噴出機構」を備え、ピストン１４の周方向において、溝部の底面１４３Ａがピストン１４の外周面１４１に達するように該溝部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】摺動抵抗が小さく且つ耐久性の高い開閉弁を提供すること。
【解決手段】高圧の作動流体が流れる高圧作動流体流路２と当該作動流体が導入される作動流体動作室３とを連通又は遮断させる筒状の弁体５と、この弁体５の周壁部５ｂとの間に微小隙間ｇを形成し且つ当該弁体５を軸線方向に案内する筒状のガイド部６ａとを備え、弁体５の内方に高圧作動流体流路２よりも相対的に低圧となる蓄圧室１０を設け且つ弁体５に蓄圧室１０と作動流体動作室３との連通路１３を設け、周壁部５ｂをガイド部６ａの外周面側に配置した場合、前記高圧の作動流体を微小隙間ｇへと供給する高圧作動流体供給通路９を周壁部５ｂに設け且つ微小隙間ｇの高圧の作動流体を蓄圧室１０へと流入させる圧抜き通路１１をガイド部６ａに設け、周壁部５ｂをガイド部６ａの内周面側に配置した場合、高圧作動流体供給通路９をガイド部６ａに設け且つ圧抜き通路１１を周壁部５ｂに設けること。 （もっと読む）

【課題】移動体を空気静圧軸受を介して固定体に支持してなる空気静圧軸受装置に関し、移動体に生じる振動を容易，確実に減衰する。
【解決手段】移動体３１を空気静圧軸受５３を介して固定体３３に支持してなる空気静圧軸受装置５１において、前記移動体３１と固定体３３との相対速度の増大に伴い前記移動体３１に対する抵抗力を増大させる抵抗手段５５を有する。また、移動体３１を空気静圧軸受５３を介して固定体に支持してなる空気静圧軸受装置５１において、前記移動体３１に、前記移動体３１から突出するフィン部５９を形成して前記抵抗手段５５を構成する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い固定絞りユニット及び静圧案内装置を提供する。
【解決手段】固定絞りユニットは、頭部ブロック（１１）と、本体ブロック（１２）とを備えている。ここで、頭部ブロック（１１）は、頭部ブロック平面（１１Ｂ）と、頭部ブロック平面（１１Ｂ）に開口している頭部ブロック貫通孔（１１Ｊ）とを有している。本体ブロック（１２）は、本体ブロック平面（１２Ｃ）と、本体ブロック平面（１２Ｃ）に開口している溝（１２Ｇ）と、溝（１２Ｇ）の底部に開口している本体ブロック貫通孔（１２Ｊ）とを有している。そして、頭部ブロック（１１）と、本体ブロック（１２）とは、頭部ブロック平面（１１Ｂ）と本体ブロック平面（１２Ｃ）とを対向させて接合し、溝（１２Ｇ）と頭部ブロック平面（１１Ｂ）とによって絞り流路が形成される。 静圧案内装置は、固定絞りユニットを具備する。 （もっと読む）

【課題】 製造コストの低減を図りつつ、摺動性を向上し、耐焼き付き性能を増大すること。
【解決手段】 テーブル２の案内面（空気軸受面）に、軸受隙間より小さくなるように配置してあるタッチダウンすべり軸受１０（摺動部材）が着脱自在に設けてある。タッチダウンすべり軸受１０は、例えば、摺動性の優れたグラファイト材から形成してある。このタッチダウンすべり軸受１０は、テーブル２の案内面で、進行方向の前側・後側と、幅方向の外側とに配置してある。タッチダウンすべり軸受１０の突出量は、軸受隙間より小さく、数μｍであるが、空気軸受の剛性と負荷容量との兼ね合い、又は、用途によって設定する。 （もっと読む）

【課題】 設計通りの荷重支持力を発揮させると共に、ダンピング効果が得られ、加工コストを抑えることのできる案内装置を提供する。
【解決手段】 支持体１１に形成された案内面１２と、案内面１２と対向するように移動体１３に形成された滑動面１４とを有し、滑動面１４に形成され、その内部に内側ランド部１８を備えた静圧ポケット１７に、開口部１９を介して圧油を供給することで案内面１２と滑動面１４とを無接触状態とすると共に、支持体１１により移動体１３を案内支持する案内装置１０に、開口部１９から放射状に延びる溝１５ｂを備えさせる。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールと可動体との間に焼付きが発生することを防止することのできるエアースライド装置を提供する。
【解決手段】ガイドレール１２の上面部１２１に向けて静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１から噴出する気体により可動体１４をスライド可能に支持するエアースライド装置において、静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１が可動体１４のパッド取付面１４１よりもガイドレール側に突出するようにパッド取付面１４１の両端部に逃げ面１８を設けた。 （もっと読む）

【課題】熱膨張による影響を受けることなく常に、可動体を安定して滑らかに移動させることが可能な案内装置を提供する。
【解決手段】基台２に延設された複数のガイド部材6,7と、これらガイド部材にそれぞれ１つずつ設けられるとともに、各ガイド部材に沿って移動する空気軸受と、空気軸受によって支持及び位置決めされる可動体４とを備え、複数のガイド部材の中の１つに設けられた空気軸受は、可動体を垂直方向に支持する垂直方向空気軸受８と可動体を水平方向に位置決めする水平方向空気軸受10a,10bとから構成され、その他のガイド部材に設けられた空気軸受は、可動体を垂直方向に支持する垂直方向空気軸受のみで構成されている。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、圧力調整作業が簡易な静圧案内装置及び据付作業が簡易なマシニングセンタを提供することである。
【解決手段】
本発明における静圧案内装置（２１）は、レール（２２、２３）と、レール（２２、２３）に沿って摺動する移動体（２４）と、移動体（２４）に形成されている複数の静圧ポケット（２４Ｈ、２４Ｉ、２４Ｊ）に圧力流体を供給する圧力流体供給ライン（２５）と、供給される圧力流体の圧力を調整する複数の絞り部（３１、３２、３３）とを備えている。絞り部（３１、３２、３３）の少なくとも一つは、直列に接続された固定絞りと可変絞りとから構成され、可変絞りは固定絞りに対し静圧ポケット（２４Ｈ、２４Ｉ、２４Ｊ）側に配置されている、併用絞り部となっている。
また、本発明におけるマシニングセンタ（２０１）は本発明における静圧案内装置（２１）を具備する。 （もっと読む）

【課題】 直動軸受の性能低下や動作不安定、動作不能等を防止する防塵構造。
【解決手段】 直動軸のガイド面１１（または１２）に対向するスライダ２０の有効軸受面２１の適所に軸受用流体噴出口２２、２３が設けられ、スライダ２０を浮揚させる流体軸受が構成される。異物パージ用流体噴出口２４、２５がスライダ２０の前後端下部に設けられ、各ガイド面１１、１２の露出している部分に噴流が吹き付けられ、異物が軸受面間の間隙に入り込むことが回避される。その結果、直動軸受の性能低下や動作不安定、動作不能等が防止される。異物パージ用流体の噴出方向の調整、流体の種類の切替を行っても良い。異物パージ用流体噴出口２４、２５の近傍に吸引口を設け、異物を吸い込んで回収するようにしても良い。 （もっと読む）

【課題】 移動体の円滑な動作および位置決め精度を低下させることなく、ベース側から移動体側に油圧を供給することを可能とする。
【解決手段】 ベース３から、該ベース３に直線移動可能に支持された移動体４に対して流体を供給する流体供給機構１であって、ベース３または移動体４のいずれか一方に固定され、移動体４の移動方向に沿って配置された中空ロッド６と、ベース３または移動体４のいずれか他方に固定された流体室７とを備え、該流体室７の対向する一対の壁面１０に、径方向に隙間をあけて中空ロッド６を貫通させるロッド挿通孔１０ａが設けられ、中空ロッド６に、該中空ロッド６内部とその周囲の流体室７内部とを連絡する貫通孔８が設けられ、ベース３に固定された、中空ロッド６の内部空間６ｂまたは流体室７のいずれかに、流体供給配管９が接続されている流体供給機構１を提供する。 （もっと読む）

【課題】ピストンの往復運動を回転運動に変換する熱機関において、内部摩擦を低減すること。
【解決手段】このピストン装置１は、クランク軸３０の内部に設けたクランク側中空部３１から、クランク軸３０とクランクケース９に設けられる軸受部９Ｂとの間、及びクランク軸３０の偏芯部３０ｃとコンロッド２０の大端部２０₁との間に気体を流出させ、空気軸受を形成する。また、ピストンピン４０の内部に設けたピン側中空部４３からピストンピン４０とコンロッド２０の小端部２０₂との間に気体を流出させ、空気軸受を形成する。 （もっと読む）

【課題】ピストンの運動方向が重力の作用方向に交差する場合に、ピストンが運動を開始した後、速やかにピストンをシリンダから浮き上がらせること。
【解決手段】このピストン機関は、シリンダ２２内を往復運動し、かつ、その運動方向が鉛直方向に対して直交するとともに、ピストン本体２１１の内部に蓄圧室２１２が形成されるピストン２１を備える。蓄圧室２１２とシリンダ２２内とは、流体導入部２１４によって連通されており、シリンダ２２内の作動流体が蓄圧室２１２に導入される。そして、ピストン２１の側周部２１１ａ₁、２１１ａ₂には、蓄圧室２１２に取り込まれた前記気体を、ピストン２１の側面とシリンダ２２との間に噴出する複数の給気孔２１６、２１７が設けられている。この給気孔２１６、２１７は、鉛直方向上側ＵＳよりも鉛直方向下側ＬＳの方が多く配置される。 （もっと読む）

【課題】できるだけ低い静圧でより多くの負荷に耐えること。
【解決手段】このピストン装置が備えるピストン２０は、内部に気体を蓄える蓄圧室を備えている。蓄圧室内に蓄えられた気体は、ピストン２０の側周部２０ｓｃに設けられた給気孔２７からピストン２０とシリンダとの間に流出する。また、ピストン２０の側周部２０ｓｃには、圧力漏れ抑制手段として、複数の溝からなる凹部２８と、ピストン２０の頂部側端部２０ｔｔ又はピストン２０の裾側端部２０ｓｔに開口する開口部２９ｏを有する動圧発生手段２９とが設けられる。 （もっと読む）

【課題】 ２本のレールの平行度にずれが生じた場合及び／又はレールに多少の撓みが生じた場合であっても、これらの不具合を解消することができて、テーブルを低摩擦で移動可能とすることができるエアスライド装置を提供すること。
【解決手段】 エアスライド装置１は、互いに所定の間隔を保持して平行に配置されていると共に夫々丸棒からなる２本のレール２及び３と、レール２及び３の夫々の外周面４に装着されていると共に外周面４との間でしかも外周面４と協同して環状隙間を形成する内周面２６を有したエアベアリング５と、エアベアリング５の夫々に固定された弾性支持体６と、各弾性支持体６に固定されていると共にエアベアリング５同士を連結しているテーブル７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 スライダーをより安定して浮上させ、低剛性のスライダーであってもスライダー自体の変形を低減することが可能なスライダーを提供する。
【解決手段】 板状部材の一方の面を所定の面積で区分けするとともに互いに連結された区切り溝と、この区切り溝で区切られた領域のそれぞれに設けられた少なくとも一つの気体噴出穴を有し、この板状部材の区切り溝を有する側をステージ上に載置してそれぞれの噴出穴から気体を噴射させたときに、板状部材にかかる力のモーメントが最小となるように前記区切り溝と噴出穴を配置した。 （もっと読む）

【課題】
支持面の面精度に関わらず、高い剛性で支持可能な静圧軸受を提供する。
【解決手段】
ガイドレール２の支持面が局所的に傾いていたとしても、それに応じて軸受部３ｂが傾くことにより、軸受部３ｂと支持面との間隙を全体的に均一に近づけるようにし、それにより軸受部３ｂと支持面との間に吐出される空気の圧力の不均衡を是正し、高い剛性でガイドレール２に対してスライダ３を支持できる。 （もっと読む）

【課題】 本発明はステージ装置の大型化に伴いガイドレールに非接触でガイドされるスライダの静圧軸受けパッドを削減することを課題とする。
【解決手段】 ステージスライダ機構２９のガイドレール３０は、断面がほぼ正方形であり、水平面に対して各４辺が４５度の傾斜角度を有するように取り付けられる。ガイドレール３０の上部傾斜面３０ｃ，３０ｄは、スライダ１８をガイドする一対のガイド面として機能しており、上部傾斜面３０ｃ，３０ｄに対向するスライダ１８の傾斜面１８ａ，１８ｂには、３個の静圧軸受けパッド３２〜３４が設けられている。３個の静圧軸受けパッド３２〜３４によりスライダ１８を浮上させて低摩擦で移動可能に支持する構成であり、従来のように水平面と垂直面の夫々に対向する位置に設ける構成のものよりも静圧軸受けパッドの設置数を半分以下に減らすことが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と、位置決め、搬送の能率につき向上を図る。また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持する既存の発明を改良し、計測動作等から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。 （もっと読む）

【課題】
軽量且つ高剛性であり、且つ信頼性に優れた静圧スライドを提供する。
【解決手段】
脆性材料から形成された本体２１に対して、パイプ２２の弾性変形によって、オリフィス部材２３を静圧面２１ａのリセス２１ｂに対して押しつけることで、圧縮応力のみを付与しながら取り付けているので、ねじ孔などを用いることなく、本体２０の破損を回避でき、長期間にわたって安定して静圧スライドの機能を発揮できる。 （もっと読む）