エアベアリングアセンブリは、その中を通る複数の空気供給・真空ラインを有する上部、下部、および上部と下部との間に配置され、それらを間隔の置かれた関係に維持する複数のスペーサを備え、空気供給・真空孔の密度が、基板のためのエアベアリングを提供するのに十分に高いが、下部に対して上部の実質的に均一な平面度を維持するように、（ｉ）十分な数のスペーサが用いられる、および（ｉｉ）スペーサが十分に近接するように近くに配置される、ことのうちの少なくとも１つが成立するように十分に低い。
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【課題】少ない流体流量で十分なシャフト浮上能力を有する流体軸受付きのシャフトモータを提供する。
【解決手段】筒状をなすコイル１ａの中心軸上に設けられたシャフト１ｂを軸方向移動可能に支持する流体軸受２を備え、流体軸受２はシャフト１ｂ表面に対しラジアル方向に流体を噴射する複数の噴射ノズル３を備えたシャフトモータにおいて、噴射ノズル３のノズル口３ｅに流体によるシャフト浮上力を増大させる圧力ポケット４を設けた構成とする。 （もっと読む）

【課題】振動、騒音等の発生を防止し、高速かつ高精度の回転を維持可能なエアスピンドル用駆動装置を提供する。
【解決手段】空気軸受６Ａ〜６Ｃにより本体２に浮動状態に支承される回転軸３、第１の板状部材４と、第２の板状部材５と、第１の板状部材を囲繞し、本体に固定される蓋体７と、蓋体の外表面から、蓋体の第１の板状部材と相対向する面上の、回転軸の軸心を中心とする円形開口部まで貫通する第１の空気供給路７ａと、本体の外表面から各空気軸受の各々に貫通する第２の空気供給路２ａ〜２ｃと、各々の空気軸受６から本体の外表面に貫通する第１の空気排出路２ｄ〜２ｆと、蓋体７の円形開口部に連通するように設けられる第２の空気排出路４ａ〜４ｃとを備え、空気が第１の空気供給路、第２空気排出路を通過後、外部に噴出し、第１の板状部材等が回転するエアスピンドル用駆動装置１。 （もっと読む）

ガイドレール（２）の上で静圧式に支承可能なガイドキャリッジ（１）を備える静圧プロファイルレールガイドにおいて、ガイドキャリッジ（１）は背部（９）と、ガイドレール（２）が間に配置された、背部（９）に連続する２つの脚部（１０）とを有しており、背部（９）はガイドレール（２）と反対を向いているほうの側にたとえば機械部品（１７）などを取り付けるための取付面（８）を有しており、取付面（８）はガイドレール（２）の長手方向で見て凹面状に湾曲している。
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本発明は、液圧管路用の流れ調整弁（１１）であって、液圧媒体用の流出開口（１８ａ）と、液圧媒体用の流入開口（１８）と、液圧媒体の一定の容積流を圧力とは無関係に準備するための差圧調整器（１７）と、該差圧調整器（１７）の調整特性を調節するための調節部材（１５ａ）とが設けられている形式のものに関する。このような流れ調整弁において本発明の構成では、調節部材（１５ａ）が、液圧管路の外側に接近可能に設けられた、調節部材（１５ａ）を調節するための操作区分（２７）を有している。
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【課題】本発明は静圧空気軸受けがガイド面に非接触状態を維持しているか否かを監視することを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０は、静圧空気軸受け２２が非接触状態を維持しているか否かを監視する監視装置８０を有する。監視装置８０は、電圧検出回路８２と、判定回路８４と、報知手段８６とを有する。電圧検出回路８２は、複数の信号線６６を介して静圧空気軸受け２２_１〜２２_３に電圧を印加し、信号線７６からの電圧と比較して静圧空気軸受け２２_１〜２２_３と固定側電極６０との電位差を検出する。判定回路８４は、静圧空気軸受け２２_１〜２２_３と固定側電極６０との電位差に応じた検出信号に基づいて静圧空気軸受け２２_１〜２２_３と固定側電極６０との接触の有無を判定する。報知手段８６は、判定回路８４により静圧空気軸受け２２_１〜２２_３の何れかと固定側電極６０との接触が発生したと判定された場合に報知する。 （もっと読む）

【課題】吸引力付与手段に異物が侵入・付着することを防止することが可能な直線案内軸受装置を提供する。
【解決手段】基台１上を案内方向に移動可能な可動体としてのテーブル３と、テーブル３を気体によって支持・案内する空気軸受部４と、テーブル３を基台１に対して吸引する吸引力付与部５と、を備え、吸引力付与部５に異物侵入防止用のカバー６を設けた。 （もっと読む）

【課題】
大気環境等で使用した場合や、異常事態が生じた場合でも、動作が阻害されることが抑制される直線案内を提供する。
【解決手段】
ガイドレール３の上面に異物が落下したような場合、ケース１５ａの下面に侵入しようとする異物を排気溝１５ｃで回収し、排気配管１５ｅを介して外部へと排出することができる。又、万が一排気溝１５ｃで異物が回収されなかった場合でも、供給溝１５ｂから吐出された空気によりエアカーテンを形成し、それ以上内部へと異物が侵入することを抑制できる。加えて、供給溝１５ｂから供給された気体の殆どは、排気溝１５ｃを介して吸引されるので、異物を外部に排出するのに都合が良く、更に供給溝１５ｂから供給された気体は、ケース１５ａから外部へと漏れ出ることが抑制され、例えば特殊ガスの環境下で用いられるような場合にも、かかる環境の破壊を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】スラスト気体軸受機構において、軸受隙間間隔の隙間間隔の振動を抑制することである。
【解決手段】中間軸受体２０とベース５０と、それらが向かい合う軸受隙間４０とでスラスト気体軸受機構１０が構成される。中間軸受体２０の底面部には、気体供給口２４、気体供給口２４より大きな直径を有する減速用くぼみ２６、複数の気体流路浅溝２８が設けられる。気体供給口２４から噴出する気体は減速用くぼみ２６で減速された後、複数の気体流路浅溝２８のそれぞれに導かれ、その細い浅溝に案内されて径方向に沿って流れ、終端部３０で行き止まりとなった気体は、軸受隙間４０に絞られながら漏れ出て、ベース５０に対し中間軸受体２０を浮上させる。 （もっと読む）

【課題】 取り外し、取り付け、洗浄が容易なスライドウエイの提供。
【解決手段】 断面正方形または長方形状のセラミック製杆状ガイドウエイ２の下方面を断面Ｖ字型の支持台４上に制振パッド５を介して載せ、この杆状ガイドウエイの上面の逆Ｖ字型平面上に、下面断面が略Ｖ字型であって、この略Ｖ字型底面を構成する一辺に一対のセラミック製静圧パッド７ａ，７ｂが設けられるとともに、この略Ｖ字型底面を構成する他辺にセラミック製静圧パッド７ｃが設けられ、これらセラミック製静圧パッドに水供給ポット８１が設けられたスライドウエイ３を滑走自在に載せた構造の水静圧直動スライドウエイシステム１。 （もっと読む）

【課題】剛性、精度の高く、例えばナノオーダの位置決めも可能な静圧継手を提供。
【解決手段】移動テーブル１００側に第一又は第二部材４，５，６の一方、送り装置２に他方を設け、第一部材の両面に第一及び第二の受け面１１，１２を設け、第二部材に微少隙間をもって第一、二の受面にそれぞれ対向する第三、四の受け面１３，１４を設け、第一、第三の受け面間で絞り２０による静圧軸受を構成し、第二の受け面に遠近する開口面を有する静圧素子３０を第四の受け面側に設け制御可能な静圧軸受１５とし、第二、四の受け面間距離ｈを測定する測定器の出力信号と設定器の設定信号とを比較し、設定信号より出力信号が大きいときは第二の受け面に開口面３３が近づき、設定信号より出力信号が小さいときは開口面が離れるように制御し、第二、四の受け面の距離を制御する静圧継手１とする。 （もっと読む）

【課題】高精度の位置決めと小型化が可能な位置決め装置を提供する。
【解決手段】テーブル２の下面に固定されてテーブル２を基台１に対して浮上支持する軸受３と、テーブル２のＸ方向に延在する一方の側面２ａ側に配置されてテーブル２をＸ方向に移動可能に案内する第１の直線案内軸受５と、該軸受５をＹ方向に進退駆動させる第１のアクチュエータ６と、反対側の側面２ｂ側に配置されてテーブル２のＸ方向への移動を許容すると共に、テーブル２を前記軸受５側に付勢する第１の付勢手段１０と、テーブル２のＹ方向に延在する一方の側面２ｃ側に配置されてテーブル２をＹ方向に移動可能に案内する第２の直線案内軸受７と、該軸受７をＸ方向に進退駆動させる第２のアクチュエータ８と、反対側の側面２ｄ側に配置されてテーブル２のＹ方向への移動を許容すると共に、テーブル２を前記軸受７側に付勢する第２の付勢手段２０とを備える。 （もっと読む）

ガイドレール（１）に静圧で支えたガイドキャリッジ（２）を有し、ガイドキャリッジ（２）がガイドレール（１）に面した側に、作動油を働かせるための複数個の圧力ポケット（９）を備えており、圧力ポケット（９）の圧力を調整するために、圧力ポケット（９）への体積流量の調整のためのスロットル（１１）が設けられ、ガイドキャリッジ（１）に組込み部材として形成されたスロットル（１１）が各圧力ポケット（９）ごとに設けられている静圧異形レールガイド。
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【課題】ペイロードを支持する空気軸受けを開示する。
【解決手段】空気軸受け１００は、揚力部分１１２と予荷重部分１１４に分割された活性表面１１０を有する軸受け本体１０２を有する。複数の気体分配流路が軸受け本体に形成され、第１流路１５０は圧縮気体を受け取り、第２流路１３０は活性表面１１０の予荷重部分に真空を供給し、第３流路１４０は活性表面１１０の揚力部分に正圧気体を供給する。軸受け本体１０２は、第１流路１５０に結合された入口、第２流路１３０と結合された真空開口、および排出部を有する空気を動力とする一体の真空発生装置を有する。圧縮気体は、一体真空発生装置との並列、直列、または直列並列構成で活性表面１１０の揚力部分１１２に供給される。ある実施形態では、空気軸受け１００は再構成可能である。 （もっと読む）

【要約書】
【課題】 密度が銅又は鋼の約１／３であり、粒子径は約０．１ｍｍ程度であるアルミニウム粉又はアルミニウムを主成分とする合金粉末を出発原料とし、通気性が高く、焼結と同時にバックメタルへの接合が可能である軽量エアベアリングを安価に製造できる方法を得る。
【解決手段】 平均直径０．２ｍｍ未満の原料アルミニウム粉末又はアルミニウム合金粉末を、アルゴンガス雰囲気中でメカニカルミリングを行って平均直径０．３〜０．７ｍｍの焼結用アルミニウム粉末又はアルミニウム合金粉末とした後、この粉末をアルミニウム合金製バックメタルの上に充填し、さらにこれを真空中で、焼結温度４５０〜４７５°Ｃ、加圧力２．４〜５ＭＰａで加圧焼結するとともに、バックメタルに接合することを特徴とするエアベアリングの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 スライドテーブルとガイドレールとの間のクリアランスを狭めたエアスライドおよびその組立方法を提供する。
【解決手段】 上板部２１と下板部２２ａ，２２ｂと側板部２３ａ，２３ｂからなるスライドテーブル１１を、ガイド部２５を有するガイドレール１２に対して一定のクリアランスで取り付けたエアスライド１０は、上板部２１と下板部２２ａと側板部２３ａを連結して略コの字型とし、側板部２３ａを下にしてその凹みにガイド部２５を挿入し、次いで上板部２１に下板部２２ｂと側板部２３ｂを微少可動に仮固定し、続いて側板部２３ｂに圧電アクチュエータ５１を備えた間隙調整用治具５０を取り付け、圧電アクチュエータ５１を３〜１０μｍ伸張させて下板部２２ｂと側板部２３ｂを上板部２１に対して強固に固定し、その後、圧電アクチュエータ５１の駆動を解除して間隙調整用治具５０を取り外して、組み立てる。 （もっと読む）

【課題】 可動台の上下方向の自励振動を効果的に抑えることができると共に可動台の走行方向の振動を低減できて短時間で可動台の位置決め停止を行い得、しかも、静圧気体軸受の利点を生かし得るエアスライド装置を提供すること。
【解決手段】 エアスライド装置１は、可動台２と、可動台２の走行を案内する案内基台３と、案内基台３と可動台２との間に空気層４を形成して案内基台３に対して可動台２を空気層４を介して可動に支持する静圧気体軸受５と、案内基台３により案内されて走行する可動台２を制動する制動手段６とを具備しており、制動手段６は、可動台２に設けられた磁界発生手段３１と、磁界発生手段３１により発生された磁界により渦電流を生じるように案内基台３に設けられた導体手段３２とを具備している。 （もっと読む）

【課題】
安価でありながら、積載物をロック可能に位置決めできる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】
静圧軸受１２の静圧パッド１２ｂがベースプレート１２ｇに着座していることを検出する検出装置Ｓが設けられているので、かかる検出装置Ｓからの信号により、基盤１０に対してテーブル１３がロックされたか否かを精度良く判別することができる。 （もっと読む）

【課題】 工作機械に用いられる空気静圧バランサを提供することを課題とする。
【解決手段】 鉛直方向に移動する被駆動体１の自重によって生じる重力負荷を相殺または軽減するバランス機構を有する工作機械２０の空気静圧バランサ１０であって、被駆動体１を支持し、上下移動自在に設けられたブラケット２と、ブラケット２内に設けられた空圧シリンダ３と、空圧シリンダ３内にピストン４が挿入され、空圧シリンダ３とピストン４との微少隙間３ｄに空気を送り込んで形成した空気静圧軸受６と、ピストン４の上端部に接続されたシリンダロッド５と、シリンダロッド５の先端部を支持するサドル２５と、から構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトでありながら、重量物を微動回転できる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】
テーブル１３が受ける比較的小さい半径方向力は、容量が低い接触式のアンギュラコンタクト玉軸受１４，１４で支持することができ、従って軸受のサイズを小さくできるため、位置決めテーブル装置の軽量化・コンパクト化を図れる。一方、テーブル１３が受ける比較的大きい軸線方向力は、非接触式の静圧軸受１２で支持することができる。なお、テーブル１３を微小回転させた後、電磁弁１２ｃを制御して、３つの静圧軸受１２の静圧パッド１２ｂへの空気の供給を遮断し、静圧パッド１２ｄをベースプレート１２ｇに着座させることで、静圧パッド１２ｄとベースプレート１２ｇとの間に作用する摩擦力によって、テーブル１３は基盤１０に対して相対移動不能に保持されることとなる。 （もっと読む）