【課題】 この静圧形直動案内ユニットは，スライダを軌道レールに対して静圧で浮上させて相対摺動させ，スライダをコンパクトに，高精度に構成する。
【解決手段】スライダ１は多数のケーシング板３Ｐから成るケーシング３と噴出口１０に通じる供給口８を備えたエンドプレート４から成る。ケーシング３の軌道面６には，軌道レール１の軌道面５に対して流体を噴き出す噴出口１０が多数形成されている。軌道レール１の軌道面５は両側面３４に互いに直交する一対の傾斜面から形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と能率のにつき向上を図る。
また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】 静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持し、計測動作から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。 （もっと読む）

【課題】
支持剛性を高く維持しつつも、より軽量化が図れる静圧スライドを提供する。
【解決手段】
同じ方向を向いた２つの静圧面ＳＰ１、ＳＰ３の間に、それらの向きと交差する方向を向いた少なくとも１つの静圧ＳＰ２を配置している。従って、同じ合計面積の静圧面を有しながらも、比較例の静圧スライドＳＳ’の断面において、点線で示す領域分Ａだけ軽量化されることとなる。静圧面の合計面積は、支持剛性に等しいため、本発明の静圧スライドＳＳは、比較例の静圧スライドＳＳ’に比べて、同じ支持剛性を有しながらも、より軽量化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトで検査精度の高いマスク検査装置を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる、マスク検査装置は、鉛直方向に被検査対象のマスク６を保持し、ＣＣＤカメラ３ａを鉛直方向に移動させてマスク６を検査するマスク検査装置であって、定盤２の上に立てられた角柱１と、角柱１の少なくとも２側面の基準面９、１０に対向するヘッド用直角ステージ１２と、ヘッド用直角ステージ１２を一定の高さに保つバランスウェイト４と、ヘッド用直角ステージ１２の各々の基準面側に設けられ、基準面側に気体を噴出する噴出部と気体を吸引する吸引部とを有するエアパッド１１と、ヘッド用直角ステージ１２を鉛直方向に移動させる鉛直方向駆動機構８とを備え、鉛直方向駆動機構のラック３５が角柱２に設けられているものである。 （もっと読む）

【課題】 調整スペースが不要でかつ調整作業を速やかに行えるステージ装置を提供する。
【解決手段】 ステージ装置１００は、基準面１１ａ、１１ｂと案内面１２ａ、１２ｂを有する定盤１と、基準面１１ａ、１１ｂに対向する面と案内面１２ａ、１２ｂに対向する面を有するスライドテーブル２１を有するＸ軸ステージ２と、スライドテーブル２１を基準面１１ａ、１１ｂ及び案内面１２ａ、１２ｂに沿ってＸ軸方向に移動させるリニアモータ３と、スライドテーブル２１の基準面１１ａ、１１ｂ及び案内面１２ａ、１２ｂに対向する側に設けた複数のエアースライド部材４と、Ｙ軸方向に移動するスライドテーブル５１を有するＹ軸ステージ５を備え、エアースライド部材４はエアーを吹き出すエアーパッド４１ａ〜４１ｈと、これらのエアーパッドを基準面１１ａ、１１ｂ又は案内面１２ａ、１２ｂに向って移動させるエアーシリンダ４３と、連通孔４５を有する。 （もっと読む）