【課題】移動ステージを比較的高い精度で停止させるとともに、移動ステージや固定軸体に生じた微振動を高い精度で抑制する。
【解決手段】一方向に延びた固定体と、前記固定体と離間して前記一方向に沿って移動する可動体とを備え、前記可動体には、前記固定体と対向して配置された板部材によって閉塞された空洞領域が設けられており、前記板部材が、前記空洞領域内の気圧と外部の気圧との差に応じて変形することを特徴とする移動装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 溶射セラミックスで形成されたステージはセラミックス層の気孔やマイクロクラックによってエアがリークしてステージの剛性が確保できないため、ステージの制御性能が低下していた。
【解決手段】 ガイド面がセラミックス溶射されたガイドおよびステージを有し、前記ガイドと前記ステージとの間のギャップをエアによる圧力と予圧マグネットによる吸引力とによって制御しながら前記ガイド面に沿って前記ステージを移動させる位置決め装置であって、前記ガイド面は、封孔処理された後に研磨されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安定性の低下を抑制し、不測の挙動を抑制できる流体軸受を提供する。
【解決手段】流体軸受は、第１部材の第１面に形成された第１凹部と、第１凹部の内側に形成された第２凹部と、第２凹部の内側に配置された流体吹出口とを備える。 （もっと読む）

【課題】
加圧空気の圧力損失を低減し、加圧気体の流量及び圧力の増大を抑制するエアスライダー装置を提供する。
【解決手段】
ガイドが形成され、本体ベースに固定される固定子と、前記ガイドに沿って移動される可動子と、を有し、前記可動子は、前記ガイドに対向して配置される複数の永久磁石と、隣接する前記複数の永久磁石の間に配置され、前記ガイドに向けて第１の加圧気体を噴出する第１の気体噴出部と、を有し、前記第１の加圧気体の静圧により前記可動子を、前記ガイドに対して非接触に浮上して支持するエアスライダー装置において、前記固定子に設けられ、前記可動子に向けて第２の加圧気体を噴出する第２の気体噴出部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】密度が銅又は鋼の約１／３であり、粒子径は約０．１ｍｍ程度であるアルミニウム粉又はアルミニウムを主成分とする合金粉末を出発原料とし、通気性が高く、接着剤などの使用によりバックメタルへの接合が可能である軽量エアベアリング用多孔質焼結体を安価に製造できる方法を提供する。
【解決手段】平均直径が０．０５〜０．７ｍｍであり、９９．５％以上の純度を持つアルミニウム粉末又はシリコンを１〜１５質量％含有するアルミニウムシリコン合金粉末に、同径の水素化チタン粉末をアルミニウム１に対して０．０５〜０．２（質量比）となるように添加及び混合し、この混合粉末を黒鉛型に充填して加圧力２．５〜５ＭＰａで加圧成形し、さらにこれを真空中、焼結温度５００〜６５０°Ｃで焼結することを特徴とするアルミニウム又はアルミニウムシリコン合金を主成分とするエアベアリング２用多孔質焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ピストンとシリンダとが接触するおそれを低減すること。
【解決手段】スターリングエンジン１００の高温側シリンダ３０Ｈは、スリーブ３０ＨＲと、シリンダブロック３０ＨＢとで構成される。スリーブ３０ＨＲは、内部を高温側ピストン２０Ｈが往復運動する。そして、スリーブ３０ＨＲは、スターリングエンジン１００の作動流体を加熱するヒータ１０５に接続され、ヒータ１０５の熱が伝えられるように構成される。シリンダブロック３０ＨＢは、スリーブ３０ＨＲの外側に配置される。そして、スリーブ３０ＨＲとシリンダブロック３０ＨＢとの間には、所定の間隔が設けられて空気層が形成される。 （もっと読む）

【課題】ピストンとシリンダとが接触するおそれを低減すること。
【解決手段】ピストン２０は、シリンダ３０内を往復運動する。ピストン２０とシリンダ３０との間には、気体軸受ＧＢが形成される。ピストン２０は、頂面２０Ｔｔから頂面反対側端部２０Ｂｔに向かってピストン側段差部Ｋｐまでの外径が、ピストン側段差部Ｋｐから頂面反対側端部２０Ｂｔまでの外径よりも小さく形成される縮径部２１を備える。そして、この縮径部２１には、環状部材５０が嵌め合わされる。環状部材５０は、ピストン２０の縮径部２１の材料よりも熱膨張率が小さい材料で作られる。 （もっと読む）

【課題】ピストンとシリンダとが接触するおそれを低減すること。
【解決手段】ピストン２０の側周部２０Ｓであって、ピストン側段差部Ｋｐからピストン２０の頂面反対側端部へ向かって所定の距離Ｌ３の範囲には、ピストン側クリアランス徐変部２０Ｊが設けられる。ピストン側クリアランス徐変部２０Ｊは、ピストン側段差部Ｋｐを起点Ｖｓとし、ピストン側段差部Ｋｐからピストン２０の頂面反対側端部２０Ｂｔへ向かって所定の距離Ｌ３の位置を終点Ｖｆとする。ピストン側クリアランス徐変部２０Ｊは、ピストン側段差部Ｋｐからピストン２０の頂面反対側端部へ向かって、ピストン２０の直径が徐々に小さくなるように形成される。 （もっと読む）

【課題】移動部材と支持体との間が所定のクリアランスに保たれたスライド式半浮上案内装置を提供する。
【解決手段】スライド式半浮上案内装置は、移動部材１を案内する案内部２１が支持体２の移動方向に延在して形成され、移動部材１と案内部２１の上面２１ａとの間にノズルを介して潤滑油が供給されて、移動部材１が案内部２１に対して半浮上した状態で支持される。また、案内部２１には、下方に面した裏案内面２１ｂが摺動方向に延在して形成され、移動部材１に固定された裏板１２の対向面１２ａには、潤滑油供給装置から潤滑油がノズル６１を介して夫々供給される静圧ポケット１５が摺動方向に少なくとも３個並設され、少なくとも３個の静圧ポケット１５のうち、摺動方向の両端部に位置する静圧ポケット１５に発生する支持力が、他の静圧ポケット１５に発生する支持力よりも小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エアシリンダを作動する高圧エアを用いながら強い調芯作用が得られるエア軸受にてピストンを支持したエアシリンダを提供する。
【解決手段】シリンダ本体３１と、シリンダ本体３１内に摺動自在に収容されたピストン３２と、シリンダ本体３１内のピストン３２の摺動方向の少なくとも一側に配設され、高圧エアが供給される圧力室３３ａ、３３ｂとを備えたエアシリンダ１２であって、圧力室３３ａ、３３ｂ内の高圧エアの一部が導かれる高圧エア吹出口３４をピストン３２の外周でのピストン摺動方向の中央位置に配設し、ピストン３２の外周でのピストン摺動方向の両側部に大気圧開放部である環状溝３６ａ、３６ｂを配設した。 （もっと読む）

【課題】流体軸受け面の圧力分布を任意に調整し、浮上時の変形を抑制することを可能としたスライダーを実現する。
【解決手段】底面よりステージに向かって流体を噴出させて形成される流体軸受けを介して前記ステージ上を浮上して移動するスライダーにおいて、前記底面に形成された複数個の流体抜け穴と、前記流体抜け穴から流出する流体量を個別に調整する流体調整手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】（１）スライダ−ステージ間の圧力分布を制御することができるスライダ、（２）スライダの浮上量や姿勢を制御することができるスライダ、（３）気体軸受けの剛性を制御することができるスライダを実現する。
【解決手段】ステージ側の面に設けられた複数の気体噴出穴から気体を噴出し、前記ステージ上で浮上するスライダにおいて、前記気体噴出穴の面積を、設けられた位置によって変化させたことを特徴とするスライダ。 （もっと読む）

【課題】パーティクルが装置周辺に飛散することを防止することができる静圧軸受を提供する。
【解決手段】滑走面２ａ上を浮上するために噴出面１１ａから滑走面２ａに対して空気Ａ１を噴出し、ステージ２の表面に形成されている微細な孔部に入り込んだパーティクルＰ又はステージ表面上に付着したパーティクルＰに空気Ａ１が吹き付けられた場合であっても、吹き付けられた空気Ａ１の一部である空気Ａ２を、噴出部１１の外周側に配置された吸引面１２ａで、パーティクルPごと吸引して回収する。また、吸引面１２ａを、噴出面１１ａの下端より後退して配置して、パーティクルＰの吸引と空気の噴出とをバランスさせ易く、これによって、静圧軸受１０を滑走面２ａ上で浮上させ非接触で滑走させながら、ステージ装置１周辺へ飛散するパーティクルＰを確実に捕捉する。 （もっと読む）

【課題】可動部が固定部に対して空気軸受で支持された軸受装置において、軸受装置全体の空間体積の増加を抑えることができ、かつ、既存の駆動機構を備えていない軸受装置に後付けによる設置が容易な駆動機構を有する軸受装置を提供すること。
【解決手段】長尺状の固定部２と、固定部２に沿って案内される可動部３とを備える。可動部３は、可動部３を固定部２に対して浮上させた状態で案内可能な空気軸受によって支持される。可動部３は、可動部３を駆動するモータユニット４を備え、モータユニット４は、モータと、モータの駆動力によって回転するとともに固定部２に接する車輪８とを有して構成される。従って、モータユニット４を備えることにより軸受装置１全体の空間体積の増加を抑えることができ、モータユニット４が可動部３に取り付けられているので、既存の軸受装置に対して後付で容易に取り付けることもできる。 （もっと読む）

【課題】磁石による吸引力を利用する静圧案内装置において、軸受面積を広く確保することである。
【解決手段】静圧案内装置１０は、案内台１２と、移動台２０と、移動台２０に取り付けられた浮上量センサ３８と、制御部８０とを含む。移動台２０は、ヨーク３０と電磁石３２を含む磁気吸引部が埋めこまれる内側部と、内側部の側面と上面とを覆っている外殻部を有する。内側部は、ヨークと電磁石３２とを収納した後で、その周囲等の隙間空間が適当な強度を有する材料で充填され、外殻部と一体化され、移動面２２が一体として平坦化される。移動台２０の周囲には囲み溝２６が設けられ、ここに供給された加圧流体が案内台１２に向けて噴出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は可動側球面軸受け部材のθｚ方向の動きを規制すると共に、θｘ方向及びθｙ方向の動きを許容することを課題とする。
【解決手段】静圧球面軸受装置１００は、固定側球面軸受け部材１２０と、可動側球面軸受け部材１３０と、可動側球面軸受け部材１３０の外周よりＸ方向に延在する四角形状の被規制部材１４０と、被規制部材１４０のθｚ方向の動きを規制すると共に、θｘ方向及びθｙ方向の動きを許容する規制機構１５０とを有する。規制機構１５０は、被規制部材１４０のＹ方向の側面に対する動きを規制するストッパ部材１６０と、ストッパ部材１６０をθｘ方向に回動可能に支持するストッパブッシュ１７０と、ストッパブッシュ１７０を保持するストッパスライダ１８０と、ストッパスライダ１８０をＹ方向にスライド可能に支持するストッパガイド１９０とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】用力供給用のチューブ等を引きずること無く、ウエハステージＷＳＴを高精度に移動させる。
【解決手段】ウエハステージＷＳＴに対する用力供給用の管路（１１０Ａ〜１２４Ａなど）が内部に形成された本体部１０３に固定された給気パッド１０６Ａ，１０６Ｂが、ウエハステージの下面と受け渡しブロック１４０Ａ，１４０Ｂの上面との間に所定間隔を維持する気体静圧軸受と、受け渡しブロックの上面に開口端が形成された管路（１３０Ａなど）に対し、前記所定間隔を介して用力を供給する管路（１２６Ａなど）とを有している。この場合、ウエハステージの下面と給気パッドとの間、及び受け渡しブロックの上面と給気パッドとの間は、非接触に維持されているので、各管路を経由して、ウエハステージＷＳＴへの用力供給を非接触にて行うことが可能である。 （もっと読む）

【課題】より簡単な構造を有し、作動操作やメンテナンスも簡単であると共に、各種検査による微調整にも対応できるエアフローティング機能を備えた車輌検査用エアフローティング装置を提供すること。
【解決手段】ベースプレートとこの上に配置されるエアフローティングテーブルとを含み、該フローティングテーブルが、その下部にテーブル支持手段を有しており、該テーブル支持手段が、該フローティングテーブルを上記ベースプレート上でフローティングさせるためのエアベアリング機能及び該テーブルを該ベースプレート上に固定させるための吸着機能を備えていることを特徴とする車輌検査用エアフローティング装置。 （もっと読む）

【課題】固定体上を浮上して案内される可動体を有するスライダであって、固定体を複数のセラミック焼結体で構成した場合、各セラミック焼結体の間が平滑で、変形しにくい構造とすることによって、可動体を高精度の位置で案内移動させることができるスライダを提供する。
【解決手段】複数のセラミック焼結体が連結して案内面を形成した固定体と、該固定体の案内面に沿って移動する可動体とを備え、前記案内面における各セラミック焼結体間に亘る連結部上の凹部には、シロキサン結合による網目構造を有したガラス質材が補充されているスライダとする。 （もっと読む）

【課題】ピストンとシリンダとの間に気体を供給して気体軸受を形成するピストン装置において、ピストンとシリンダとの接触をより確実に回避するとともに、前記気体軸受を形成するための気体の消費量を抑制すること。
【解決手段】スターリングエンジン１は、シリンダ１１と、シリンダ１１の内部で往復運動するピストン１０とを備える。ピストン１０は、ピストン頂部１０Ｔとピストン側部１０Ｓとピストン底部１０Ｂｏとで囲まれるピストン内空間１０ＩＮを備える。前記空間１０ＩＮには、ポンプ２５及び蓄圧タンク２４を介して空気Ｇが供給され、この空気Ｇは、ピストン１０とシリンダ１１との間に流出して気体軸受を形成する。そして、ピストン１０とシリンダ１１との間に介在する空気Ｇの圧力は、ピストン１０とシリンダ１１とが接触したか非接触であるかによって変更される。 （もっと読む）