【課題】被案内可動体を案内軌道に沿って移動させる際、被案内可動体の移動速度に係わらず、被案内可動体を任意の目標停止位置に停止可能な磁気ダンパーを備えたエアスライド装置を提供する。
【解決手段】被案内可動体１２を案内軌道面に対して非接触形態で支持する静圧気体軸受と、該案内軌道に沿って走行中の被案内可動体に対して制動力を負荷する磁気ダンパー２０とを有するエアスライド装置１０であって、前記磁気ダンパー２０は、一対の磁石ユニット２６の各々が、該導電性ダンパープレート２４の対応する側面に対して間隔を隔てて配置され、それにより、前記被案内可動体１２が前記案内軌道に沿って走行中に、該導電性ダンパープレート２４が前記磁石ユニット２６を横切ることにより、前記導電性ダンパープレート２４に生じる渦電流に基づいて、前記被案内可動体１２に対して制動力を負荷することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】剛性自動補償静圧平面軸受装置とその方法の提供。
【解決手段】本剛性自動補償静圧平面軸受装置は、スロットル、第１チャンバ及び第２チャンバを包含し、スロットルは載置台に設置され、且つスロットルの一端よりフレキシブルで変形可能な支持手段が延伸され、第１チャンバは該支持手段のスロットルと反対の一端に形成され、且つスロットルを貫通する給液管路と連通し、第２チャンバは支持手段と載置台の間に形成され、並びに第２チャンバは支持手段上の連通孔を介して第１チャンバと連通する。負荷が変化する時、第１チャンバの圧力がそれにより変化し、並びに連通孔を介して第２チャンバに伝導され、第２チャンバの圧力変化により支持手段が微量変形し、これにより第１チャンバの容積が変化してその平均圧力が変化することで軸受の剛性自動補償が行われる。 （もっと読む）

【課題】高い応答性を有する可変自成絞りにより、広い周波数領域にわたり高剛性化を実現した静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】軸受面の一部に、可撓性を持つ可撓部材７による可撓性軸受面１を有し、前記可撓部材に、自成絞りを形成する給気孔３を設け、可変自成絞りとして作用させる。軸受隙間Ｃｒ内の気体の圧力変化を、ダイレクトに可撓性軸受面１に伝えることができ、また、可動物体を持たないために、高い応答性を有する可変自成絞りを実現できる。これにより、広い周波数領域にわたり高剛性化を実現した静圧気体軸受を提供できる。 （もっと読む）

【課題】高速回転時における安定性を確保できるとともにスピンドルの湾曲に対してスピンドルの損傷等をより低減することができる軸受装置を提供する。
【解決手段】所定の回転軸ＴＺ回りに回転する回転部材１１と、回転部材１１のスピンドル１２を収容して支持している軸受本体部２０と、を備え、軸受本体部２０の内壁における少なくとも一部の周回面には軸受油が充填されて流体軸受にてスピンドル１２を回転自在に支持する静圧ポケット２１が形成されて、静圧ポケット２１への軸受油の流路２２が設けられている軸受装置１であって、軸受本体部２０には外輪３１と内輪３３を有するベアリング３０が収容されており、外輪３１は軸受本体部２０の内壁に固定されている。そして、内輪３３とスピンドル１２との間には所定幅の間隙Ｄが設けられており、間隙Ｄには静圧ポケット２１から流出した軸受油が充填されている。 （もっと読む）

【課題】簡素な制御により、迅速でスムーズな加減速により高速度化を実現できる、直線案内軸受装置などに用いられると好適なアクチュエータを提供する。
【解決手段】第１駆動モータ１０９を目標速度に追従する速度制御とし，第２駆動モータ１１０は、第１駆動モータ１０９の実際の速度に追従するような速度制御を行うことにより，相互の動作が干渉しない形で２つの駆動モータ１０９，１１０をともにフィードバック制御することが可能となる。さらに第２駆動モータ１１０の速度制御において、第１駆動モータ１０９の指令値をフィードフォワードとして加えることで，制御による位相遅れを少なくしている。これにより制御の応答性，減衰性が向上するという利点がある。 （もっと読む）

【課題】 ステージの高さを抑え、かつ安定した位置決精度を保証できるようにする。
【解決手段】 互いに対向するガイド溝１１を持つ一対のガイドレール１０をＸ軸方向に設ける。一対のガイドレール１０の間に平板状のＸ軸スライダ２０を設けて、ガイド溝１１に沿ってＸ軸方向の移動が許容され、Ｙ軸方向の動きが規制されるようにする。Ｘ軸スライダ２０を囲むように略コ字型のＹ軸スライダ３０を装着する。Ｘ軸スライダ２０に対してＸ軸方向の動きが規制されてＸ軸スライダ２０がＸ軸方向に移動するとそれに伴ってＸ軸方向に移動し、Ｘ軸スライダ２０に対してＹ軸方向の動きが許容されて、Ｘ軸スライダ２０に対してＹ軸方向に移動できるようにする。一対のガイドレールのガイド溝１１とＸ軸スライダ２０との間、及びＸ軸スライダ２０とＹ軸スライダ３０との間にガスを供給して、そのガス圧によってＸ軸スライダ２０及びＹ軸スライダ３０を支持する静圧ガス軸受４０、５０をそれぞれ設ける。 （もっと読む）

【課題】平行運動学などの駆動装置の運動学が従来技術と異なり、正確な位置決めが可能になる真空適用のためのテーブル装置を提供する。
【解決手段】真空適用のためのテーブル装置は空気静力学的軸受ユニットによりガイドされた移動テーブルとベースプレートを有する。軸受ユニット（１０）が、軸受ユニットの作動に必要なガスを供給及び排出する供給ライン及び吸い込みラインに連結し、各場合に少なくとも１つの段を有する、吸い込みチャネルと真空に対してシールするシーリングギャップとを有するシーリング装置を具備する。テーブル装置の特徴として、軸受ユニットが少なくとも部分的に回り継手として構成され、移動テーブルを横にガイドするドライブ（５）によって作動されるプッシュロッド（４）が、それぞれの回り継手の回転部品（２１）に連結し、プッシュロッドが中空であり、作動ガスを排出するための吸い込みラインの構成部品を構成する。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受パッドの隙間調整を容易に行なうことが可能な静圧軸受ユニットを提供する。
【解決手段】直動案内装置は、圧縮空気を供給するための複数の給気管２１〜２４と、それぞれ給気管２１〜２４を流れる圧縮空気の圧力および流量を制御する複数組の圧力制御部２５〜２６および流量計２９〜３２と、それぞれ給気管２１〜２４を介して供給された圧縮空気をレール２，３に向けて噴出し、可動テーブル４を非接触で支持する複数の静圧軸受パッド６〜９とを備える。したがって、圧縮空気の圧力および流量を各静圧軸受パッド毎に個別に制御できる。 （もっと読む）

【課題】長尺な部材や横断面サイズが大きくなっても自重たわみを改善することができるガイド部材を備え、製造コストの低減化を図ることができる静圧空気軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】案内方向に延在するガイド部材４と、ガイド部材に沿って案内方向に移動する可動体５と、この可動体を気体によって支持・案内する空気軸受部１３ａ〜１３ｈと、を備えた静圧気体軸受直線案内装置である。ガイド部材は、長尺方向が案内方向に平行に延在する一対の側板ガイド部材４ａ，４ａと、一対の側板ガイド部材の案内方向に直交する短尺方向の一端に結合し、案内方向に沿って延在する底板ガイド部材４ｂとを備えた横断面コ字状の部材である。 （もっと読む）

【課題】支持する被支持体の質量の変化に応じて静圧を制御することにより、被支持体の質量に関わらず安定に支持する静圧軸受パッドを提供する。
【解決手段】静圧軸受パッド１１０において、第１の給気溝５１および第２の給気溝５２とは互いに独立しており、互いに不連続となっている。軸受面２１に供給するための加圧気体は、第１の給気溝５１については加圧気体供給部としての第１の給気管４１から、そして第２の給気溝５２については加圧気体供給部としての第２の給気管４２から、互いに独立に供給される。 （もっと読む）

【課題】 車両が曲線を通過する場合にも台車のスムーズな回転を行わせることができる鉄道車両用回転抵抗可変台車を提供する。
【解決手段】 鉄道車両用回転抵抗可変台車において、まくら装置Ａを備えた台車Ｂの車体・台車間の心皿５の左右に配置され車体の荷重を受けるとともに、前記台車Ｂに適度な回転抵抗を与えて前記台車Ｂの蛇行動を抑制する側受２４，２５の摺動部６，７に、空気静圧案内機構を設ける。 （もっと読む）

【課題】鉄道車両用台車の振子装置に空気静圧案内機構を設けることにより、スムーズな振子動作を実現できる振子装置を備えた鉄道車両用台車を提供する。
【解決手段】振子はり２１をＲガイド２７で支持し、変位計付き振子制御シリンダ３０を動作させて車体を傾斜させ、Ｒガイド２７やコロ機構の代わりに、台車Ａから圧縮空気を供給して振子はり２１を浮上させる。振子はり２１の支承部が圧縮空気により非接触状態となり、また、圧縮空気が振子装置Ｂの荷重を一部負担するので、振子はり２１の回転抵抗を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 補足的な重りを必要としない高度に予圧された静圧気体装置であって、単純な設計によって、特に電子ビームリソグラフィー用に予圧が設けられ、電子ビーム上にいかなる負の影響も与えない、静圧気体軸受装置をもたらすことである。
【解決手段】 提案した、特に真空環境内において基部構造体上の装置を動かすための静圧気体軸受装置は、荷重負担区域と吸引領域を有する軸受本体を備えて構成される少なくとも一つの静圧軸受要素を有している。少なくとも一つの電極を有する静電予圧ユニットは少なくとも一つの静圧気体軸受要素と関連付けられ、且つ、静圧軸受要素の軸受本体の垂直面方向に力要素が生じるように電圧が加えられ得る、静圧気体軸受装置によって解決される。 （もっと読む）

【課題】静止安定性を有する位置決め装置。
【解決手段】スライド装置１００は、ガイドレール１０６と、前記ガイドレール１０６に沿って移動するスライダ１０８と、前記スライダ１０８を前記ガイドレール１０６に対して空圧により浮かせて支持する浮遊支持状態と、前記スライダ１０８を前記ガイドレール１０６に対して空圧により圧接させて支持する圧接支持状態とに切り替え可能なエアベアリング１１０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エネルギーの利用効率を高めることができると共に、搬送部品の汚染を防止し、外側移動体の取り付け位置の調整作業を簡素化する。
【解決手段】本発明は、シリンダ１１の内部に給排される駆動用エアにより往復動する内側移動体１４と、内側移動体１４との間で作用する磁石３２，３７ａ，３７ｂの吸引力により内側移動体１４と共に往復動する外側移動体１６と、外側移動体１６の両端部においてシリンダ１１の外周面に覆設される蛇腹１８と、シリンダ１１の外周面と外側移動体１６との間の隙間１５に浮上用エアを供給する浮上用エア供給設備１９と、浮上用エア供給設備１９によって隙間１５に供給された浮上用エアをシリンダ１１の外周面と蛇腹１８との間のエア流路１７を介してタンク２０に戻す浮上用エア回収設備２１とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置寸法を拡大することなく、Ｚテーブルが搭載されたベースプレートの定盤の基準平面からの浮上量が圧縮空気の圧力変動やベースプレートに作用する外力等の外乱の影響により変化することを防止する。
【解決手段】三次元位置決め装置１０では、複数個のコイルスプリング１５０が、静圧パッド１３０を通して供給される圧縮空気によりガイドプレート７８に生じる浮上力よりも、小さい反浮上力Ｆによりガイドプレート７８を定盤１２の基準平面１４側へ付勢する。これにより、反浮上力Ｆがガイドプレート７８に作用しない場合と比較して、定盤１２の基準平面１４からのガイドプレート７８の浮上量Ｒを反浮上力Ｆの大きさに応じて減少させると共に、ガイドプレート７８と基準平面１４との間に形成された空気層（空気軸受）をＺ軸方向に沿って圧縮し、この空気軸受のＺ軸方向に沿った剛性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第１の支持面１３ａの凹部１３ｄと第２の支持面１３ｂの凹部１３ｆとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第１通路１３ｈ、第２通路１３ｉを介して、圧縮空気源Ａ，Ｂに接続されているので、例えばバルブＶ２を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第２の支持面１３ｂと第２の案内面１２ｂとの隙間を維持しつつ、第１の支持面１３ａが第１の案内面１２ａに着座することができ、或いはバルブＶ３を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第１の支持面１３ａと第１の案内面１２ａとの隙間を維持しつつ、第２の支持面１３ｂが第２の案内面１２ｂに着座することができ、これによりスライダ１３を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】被支持体の急速な動きに対しても、被支持体の位置または姿勢を修正可能な静圧軸受装置および静圧軸受装置による被支持体の支持方法の提供。
【解決手段】静圧軸受装置の制御装置は、位置センサ５ａ〜５ｃによる検出結果に基づき、スライドテーブル２の基台１に対する変位速度が所定値Ｇよりも大きい場合には、容積変更装置４のピエゾアクチュエータを作動させて、ポケット部２７ａ、２７ｅの容積を増減させポケット部２７ａ、２７ｅ内の圧力を変更することにより、スライドテーブル２の基台１に対する位置または姿勢を修正する。また、スライドテーブル２の基台１に対する変位速度が所定値Ｇ以下の場合には、油圧装置によってポケット部２７ａ〜２７ｆ内に供給する油圧の圧力または量のうちの少なくともいずれかを変化させて、スライドテーブル２の基台１に対する位置または姿勢を修正する。 （もっと読む）

【課題】中空構造を形成するのに中空域成形のための型に頼らないで、より簡単な手順で中空域を形成する静圧空気軸受式直線案内用ガイドの製造方法およびガイドを提供する。
【解決手段】本発明の製造方法は泥漿を型内に流し込み、相手の一面に相対する空域と、空域を間に分離した２つの接合面とを有する第１成形体および第２成形体を成形する工程、第１および第２成形体を焼成して第１焼結ピース１５および第２焼結ピース１６を焼結する工程（図２（ａ））、第１焼結ピース１５および第２焼結ピース１６の接合面１４を平坦に仕上げる工程（図２（ｂ））、第１焼結ピース１５および第２焼結ピース１６の接合面を突き合わせて一体のレール材１７に組み立てる工程（図２（ｃ））、レール材１７を加工して決められた寸法を有するガイドレールに仕上げる工程（図２（ｄ）（ｅ））を含む。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造にもかかわらず、被駆動体の移動を高精度に制御することができる非接触アクチュエータ及びその制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】被駆動体３０を移動させるための第１非接触リニアアクチュエータ１０であって、環状をなし、その一端と他端との距離が増減するように伸縮する第１ベローズ１１と、第１ベローズ１１の一端を気密的に閉塞する第１天壁部１２と、第１ベローズ１１の他端を気密的に閉塞する第１底壁部１３と、第１ベローズ１１を伸縮させるため、第１ベローズ１１と第１天壁部１２と第１底壁部１３とで封止される気密空間１４ｂ内に流体を供給且つ気密空間１４ｂ内から流体を排出する第１導入導出部１４ａと、被駆動体３０に面して第１天壁部１２に形成され、被駆動体３０を非接触で支持する第１静圧軸受１５とを備える。 （もっと読む）