【課題】環境温度が低温になっても、スピンドルが回転不能に陥るのを防止できる空気静圧軸受スピンドル装置、これを用いた回転霧化装置および塗装装置を提供する。
【解決手段】軸部２２およびフランジ部２３を有するスピンドル２１、軸受本体３１、軸部２２との間にラジアル隙間４３を有するラジアル軸受部材４１Ａ，４２Ａ、および、フランジ部２３との間にスラスト隙間４５を有するスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂを備えた空気静圧軸受スピンドル装置２０において、環境温度が２０℃の状態においてスラスト隙間が４０μｍ以下に形成され、環境温度が０℃の状態においてスラスト隙間が１０μｍ以上確保されるように、軸受本体３１およびスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂに用いる材料の線膨張係数が選択されている。 （もっと読む）

【課題】コスト低下を図り得ると共に、多孔質金属焼結体の細孔に気体を供給できる領域を広くできて、スラスト軸受として機能する気体噴出をも所望になし得る多孔質静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】多孔質静圧気体軸受１は、円筒状の多孔質金属焼結体２と同じく円筒状のハウジング８とを具備しており、多孔質金属焼結体２の内部には、当該多孔質金属焼結体２の細孔に気体を供給する気体供給通路３が設けられており、また多孔質金属焼結体２には、一端４が多孔質金属焼結体２の円筒状の外周面５で開口し、他端６が気体供給通路３に開口して当該気体供給通路３に高圧空気を導入する気体導入通路７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 焼付きを生じ得る程度の被軸受部材と静圧気体軸受との接触を未然に防止することのできる静圧気体軸受装置及びこれに用いられる限界荷重検知装置を提供すること。
【解決手段】 静圧気体軸受装置１は、回転軸２の被軸受面３と協働して軸受隙間４を形成する軸受面５から被軸受面３に向かって噴出する高圧気体に基づく軸受隙間４における気体圧力により回転軸２を支える導電性の多孔質静圧気体軸受７と、回転軸２及び多孔質静圧気体軸受７に電気的に接続されると共に、軸受隙間４における回転軸２と多孔質静圧気体軸受７との電気的接触に基づいて回転軸２から多孔質静圧気体軸受７に加えられる負荷荷重が限界に至った旨を検知する限界荷重検知装置８と、回転軸２を回転駆動させる駆動手段９と、限界荷重検知装置８による検知に基づいて駆動手段９による回転軸２の回転駆動を制御する駆動制御手段１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】回転スピンドルを回転規制を多数回実施しても回転スピンドルの回転バランスを損なうことがない回転工具を装着するスピンドルユニット機構を提供する。
【解決手段】スピンドルユニット２のラジアル軸受６およびスラスト軸受８に高圧流体を供給する高圧流体供給手段１０とを具備する回転工具を装着するスピンドルユニット機構であって、ラジアル軸受６は弾性変形が可能な材料によって形成され内周面に該高圧流体供給手段１０と連通する複数の流体噴出孔６２が開口された円筒状の軸受スリーブ６からなっており、円筒状の軸受スリーブ６を選択的に弾性変形することにより縮径して内周面を回転スピンドル４の外周面を押圧せしめるスリーブ縮径手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】ラジアル軸受の内周面と回転スピンドルの外周面との隙間を、回転スピンドルの回転速度に対応して適正な隙間に形成することができる回転工具を装着するスピンドルユニット機構を提供する。
【解決手段】スピンドルハウジング３に配設され回転スピンドル４の外周面との間に、流体層を形成して流体支持するラジアル軸受６およびスラスト軸受８と、スピンドルユニット２のラジアル軸受およびスラスト軸受に高圧流体を供給する高圧流体供給手段１０とを具備するスピンドルユニット機構であって、ラジアル軸受は弾性変形が可能な材料によって形成され、内周面に高圧流体供給手段と、連通する複数の流体噴出孔が開口された円筒状の軸受スリーブからなり、円筒状の軸受スリーブを回転スピンドルの回転速度に対応して弾性変形することにより、縮径して該円筒状の軸受スリーブの内周面と該回転スピンドルの外周面との隙間を調整する隙間調整手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】パーティクルが装置周辺に飛散することを防止することができる静圧軸受を提供する。
【解決手段】滑走面２ａ上を浮上するために噴出面１１ａから滑走面２ａに対して空気Ａ１を噴出し、ステージ２の表面に形成されている微細な孔部に入り込んだパーティクルＰ又はステージ表面上に付着したパーティクルＰに空気Ａ１が吹き付けられた場合であっても、吹き付けられた空気Ａ１の一部である空気Ａ２を、噴出部１１の外周側に配置された吸引面１２ａで、パーティクルPごと吸引して回収する。また、吸引面１２ａを、噴出面１１ａの下端より後退して配置して、パーティクルＰの吸引と空気の噴出とをバランスさせ易く、これによって、静圧軸受１０を滑走面２ａ上で浮上させ非接触で滑走させながら、ステージ装置１周辺へ飛散するパーティクルＰを確実に捕捉する。 （もっと読む）

【課題】機械加工を施した後も良好に多孔質静圧気体軸受として使用することができる通気性を保持し得る軸受素材を提供すること。
【解決手段】軸受素材は、裏金１と、裏金１の面に焼成された多孔質焼結金属層２とを具備しており、多孔質焼結金属層２の粒界には無機物質粒子が含有されている。多孔質焼結金属層は、錫、ニッケル、燐及び銅を含んでおり、無機物質粒子は、黒鉛、窒化ホウ素、フッカ黒鉛、フッカカルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つからなる。 （もっと読む）

エアベアリングアセンブリは、その中を通る複数の空気供給・真空ラインを有する上部、下部、および上部と下部との間に配置され、それらを間隔の置かれた関係に維持する複数のスペーサを備え、空気供給・真空孔の密度が、基板のためのエアベアリングを提供するのに十分に高いが、下部に対して上部の実質的に均一な平面度を維持するように、（ｉ）十分な数のスペーサが用いられる、および（ｉｉ）スペーサが十分に近接するように近くに配置される、ことのうちの少なくとも１つが成立するように十分に低い。
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【課題】
安価でありながら、積載物をロック可能に位置決めできる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】
静圧軸受１２の静圧パッド１２ｂがベースプレート１２ｇに着座していることを検出する検出装置Ｓが設けられているので、かかる検出装置Ｓからの信号により、基盤１０に対してテーブル１３がロックされたか否かを精度良く判別することができる。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトでありながら、重量物を微動回転できる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】
テーブル１３が受ける比較的小さい半径方向力は、容量が低い接触式のアンギュラコンタクト玉軸受１４，１４で支持することができ、従って軸受のサイズを小さくできるため、位置決めテーブル装置の軽量化・コンパクト化を図れる。一方、テーブル１３が受ける比較的大きい軸線方向力は、非接触式の静圧軸受１２で支持することができる。なお、テーブル１３を微小回転させた後、電磁弁１２ｃを制御して、３つの静圧軸受１２の静圧パッド１２ｂへの空気の供給を遮断し、静圧パッド１２ｄをベースプレート１２ｇに着座させることで、静圧パッド１２ｄとベースプレート１２ｇとの間に作用する摩擦力によって、テーブル１３は基盤１０に対して相対移動不能に保持されることとなる。 （もっと読む）

一方の部品はスピンドルシャフトからなり、他方の部品は軸受面を有し且つ気体を軸受ギャップへ導くことができる材料からなる相対的に回転する２つの部品を有する気体軸受に対して、上記軸受面にガスを導く孔を形成する方法であって、（ａ）上記軸受面に向けて照射される高エネルギビームにより、経験から計算された最終的な数の孔よりも少ない所定数の第１の孔を上記軸受面に形成して上記軸受面の上記第１の孔を通る一次的な空気の流れを形成し、（ｂ）上記予備的な空気の流れを計測し、（ｃ）上記計測された空気の流れに基づいて、所望の必要な空気の流れを得るために形成すべき追加の第２の孔の必要な正確な数を計算し、（ｄ）上記計算された数の追加の第２の孔を上記軸受面に形成することを特徴とする。
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【課題】 多孔質金属焼結層への切削加工又は研削加工の施工後のエポキシ樹脂又はフェノール樹脂からなる封止材による封止作業工程を必要とすることなく、多孔質金属焼結層の端面の確実な封止を長期にわたって維持することができる多孔質静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体ラジアル軸受１Ａは、裏金２と、裏金２の内面３に内面３に形成された接合層４を介して一体に接合された多孔質金属焼結層５と、多孔質金属焼結層５に高圧気体を供給すべく、裏金２の内面３に形成されている環状溝６及び７を有した供給手段９と、裏金２の軸方向の各端部の内面に接合層４を介して接合されていると共に多孔質金属焼結層５の軸方向の環状の端面１０及び１１の夫々に一体に接合された純銅からなる封止材１２とを具備している。 （もっと読む）

【課題】シール部の隙間の変化を抑えることができるスピンドルシール装置を提供する。
【解決手段】軸受１１と、当該軸受１１を介してハウジングに相対的に回転可能に支持された回転軸１３とを備えたスピンドル装置に静圧の気体軸受１５を配し、前記気体軸受から吹出される圧縮空気３０の圧力及び流れによって、スピンドル装置１０の内部と大気側との間を密封可能にしてなるスピンドルシール装置１であって、前記気体軸受１５の外周側に軸１３と同一若しくは近似の熱膨張係数を有する金属製のリング部材３１を嵌装してなる。 （もっと読む）

【課題】 ねじ等を用いないでも静圧気体軸受パッドに隙間調節部材を脱落しないように連結できて、而して、コスト低下を図り得る静圧気体軸受パッドと隙間調節部材との組み合わせ構造、それに最適な静圧気体軸受パッド及び隙間調節部材並びにそれを用いた静圧気体軸受機構を提供すること。
【解決手段】 可動体１を固定体２に対してＸ方向に移動自在に保持すベく可動体１と固定体２との間に介在させる静圧気体軸受パッド３と、静圧気体軸受パッド３と可動体１との間の隙間４を調節する隙間調節部材５との組み合わせ構造６は、静圧気体軸受パッド３に設けられていると共にリング装着溝７を有する凹所８と、リング装着溝７に装着された拡径自在な弾性Ｏリングからなるリング９と、隙間調節部材５に設けられていると共に凹所８を規定する静圧気体軸受パッド３の凹所規定面１０から部分的に突出するリング９を受容する受容溝１１とを具備している。 （もっと読む）