【課題】
大気環境等で使用した場合や、異常事態が生じた場合でも、動作が阻害されることが抑制される直線案内を提供する。
【解決手段】
ガイドレール３の上面に異物が落下したような場合、ケース１５ａの下面に侵入しようとする異物を排気溝１５ｃで回収し、排気配管１５ｅを介して外部へと排出することができる。又、万が一排気溝１５ｃで異物が回収されなかった場合でも、供給溝１５ｂから吐出された空気によりエアカーテンを形成し、それ以上内部へと異物が侵入することを抑制できる。加えて、供給溝１５ｂから供給された気体の殆どは、排気溝１５ｃを介して吸引されるので、異物を外部に排出するのに都合が良く、更に供給溝１５ｂから供給された気体は、ケース１５ａから外部へと漏れ出ることが抑制され、例えば特殊ガスの環境下で用いられるような場合にも、かかる環境の破壊を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 基部に対する被支持体の支持剛性を高めることができる非接触支持装置を得る。
【解決手段】 静圧気体スラスト軸受１０は、固定ガイド体１２と可動テーブル１４との間に空気を供給することで、可動テーブル１４を固定ガイド体１２に対し非接触で保持する。この静圧気体スラスト軸受１０は、可動テーブル１４に設けられ長溝２６Ａから供給された空気を固定ガイド体１２との対向面に分散して排出するガス分散部材２６と、一端をガス分散部材２６の長溝２６Ａに向けて開口させて固定ガイド体１２に設けられたガス流路１６と、ガス流路１６を通じてガス分散部材２６の長溝２６Ａに空気を供給するためのガス供給手段と、ガス流路１６に設けられたオリフィス３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】
コーティングなどに頼ることなく、移動時の気体放出量を低減できるガイド装置を提供する。
【解決手段】
プロセス室Ｐ内の圧力を１０^-4Ｐａ以下としており、さらに３段排気の差動排気シール１５０，１６０を用いているので、差動排気シールからのリークを抑え、プロセス室Ｐ内の圧力上昇を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】軸方向の推力を生じさせるロッドを静圧軸受構造を用いて支持してなるエアベアリングシリンダであって、静圧軸受構造を構成する軸受部材と軸受装着部との間のシール性を確保しつつ、軸受部材の着脱を容易とする。
【解決手段】マニホールドシリンダ１０は軸方向の推力を生じさせるロッド１１を非接触で支持する静圧軸受構造を用いて構成されており、その静圧軸受構造を構成する軸受部材３１に一対のＯリング３６，３７が周方向に環状に装着される。この場合、軸受部材３１の両端部には環状にそれぞれテーパ面３１ｂ，３１ｃが形成されており、それらテーパ面３１ｂ，３１ｃとロッド収容孔２１の大径孔部２１ａの内周面との間において押圧変形させた状態でＯリング３６，３７が配設されている。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトな構成を有しながらも、剛性を高めることができる位置決め装置を提供する。
【解決手段】
左下パッドＬＬＰと左上パッドＬＵＰ、及び右下パッドＲＬＰと右上パッドＲＵＰが、テーブル１３Ｃの移動方向に交差する方向に並べて配置されているので、テーブル１３Ｃの移動方向に交差する方向における傾き剛性を高めることができる。又、駆動装置ＤＲが、第１のスライダ部１３Ａと第２のスライダ部１３Ｂとの間に配置されているので、外部に駆動装置を設ける必要がなく、構成のコンパクト化を図れる。 （もっと読む）

【要約書】
【課題】 密度が銅又は鋼の約１／３であり、粒子径は約０．１ｍｍ程度であるアルミニウム粉又はアルミニウムを主成分とする合金粉末を出発原料とし、通気性が高く、焼結と同時にバックメタルへの接合が可能である軽量エアベアリングを安価に製造できる方法を得る。
【解決手段】 平均直径０．２ｍｍ未満の原料アルミニウム粉末又はアルミニウム合金粉末を、アルゴンガス雰囲気中でメカニカルミリングを行って平均直径０．３〜０．７ｍｍの焼結用アルミニウム粉末又はアルミニウム合金粉末とした後、この粉末をアルミニウム合金製バックメタルの上に充填し、さらにこれを真空中で、焼結温度４５０〜４７５°Ｃ、加圧力２．４〜５ＭＰａで加圧焼結するとともに、バックメタルに接合することを特徴とするエアベアリングの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ワークの搬送に際してワークの浮上量の変動を好適に抑制することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置１は、検査ステージ２及び浮上ステージ４を備え、これらの上方において略水平に搬送されるワークＷを非接触にて支持する。検査ステージ２には、加圧エアを噴出する浮上パッド３０と、周辺のエアを吸引する吸引パッド４０とがそれぞれ複数個配置されている。これら吸引パッド４０と浮上パッド３０とは、ワークＷの搬送方向に沿って５列ずつ互いに平行に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 可動台の上下方向の自励振動を効果的に抑えることができると共に可動台の走行方向の振動を低減できて短時間で可動台の位置決め停止を行い得、しかも、静圧気体軸受の利点を生かし得るエアスライド装置を提供すること。
【解決手段】 エアスライド装置１は、可動台２と、可動台２の走行を案内する案内基台３と、案内基台３と可動台２との間に空気層４を形成して案内基台３に対して可動台２を空気層４を介して可動に支持する静圧気体軸受５と、案内基台３により案内されて走行する可動台２を制動する制動手段６とを具備しており、制動手段６は、可動台２に設けられた磁界発生手段３１と、磁界発生手段３１により発生された磁界により渦電流を生じるように案内基台３に設けられた導体手段３２とを具備している。 （もっと読む）

【課題】
安価でありながら、積載物をロック可能に位置決めできる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】
静圧軸受１２の静圧パッド１２ｂがベースプレート１２ｇに着座していることを検出する検出装置Ｓが設けられているので、かかる検出装置Ｓからの信号により、基盤１０に対してテーブル１３がロックされたか否かを精度良く判別することができる。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトでありながら、重量物を微動回転できる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】
テーブル１３が受ける比較的小さい半径方向力は、容量が低い接触式のアンギュラコンタクト玉軸受１４，１４で支持することができ、従って軸受のサイズを小さくできるため、位置決めテーブル装置の軽量化・コンパクト化を図れる。一方、テーブル１３が受ける比較的大きい軸線方向力は、非接触式の静圧軸受１２で支持することができる。なお、テーブル１３を微小回転させた後、電磁弁１２ｃを制御して、３つの静圧軸受１２の静圧パッド１２ｂへの空気の供給を遮断し、静圧パッド１２ｄをベースプレート１２ｇに着座させることで、静圧パッド１２ｄとベースプレート１２ｇとの間に作用する摩擦力によって、テーブル１３は基盤１０に対して相対移動不能に保持されることとなる。 （もっと読む）

【課題】 常に非接触で極めて低い摩擦抵抗のみを伴って回転することが可能な信頼性の高いエアベアリングを提供すること、およびこのエアベアリングを備えたリング状モータを提供する。
【解決手段】 回転リング１１と回転リング支持体２１とによりリング状モータ１のエアベアリングの主要部が構成されている。回転リング支持体２１は円筒状の多孔質体リング２２を備えている。多孔質体リング２２と回転リング１１の円筒状の本体、および回転リング１１に設けられたフランジ１４，１５同士の対向する２つの面それぞれとの間には所定の大きさのエアギャップ３０が設けられている。回転リング支持体２１にはガス通路２３が設けられている。外部からのガスは、このガス通路２３から多孔質体リング２２を通ってエアギャップ３０へと導通される。 （もっと読む）

【課題】 高精度浮上部における浮上に変化があった場合でも、それに対応することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】 浮上吸引混合部５に浮上量を非接触で検出するレーザ変位計を含む検出用ブロック３６を設けて、実際の浮上量を把握するようにした。これを利用すれば、作業精度の向上や、より高精度な浮上の実現に寄与できる。その結果、周囲の環境、ワークＧの形状、大きさ、重量等が変化した場合でも、その変化に対応することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 高精度浮上部においてワークの高精度な浮上を安定して維持すること。
【解決手段】 もともと浮上精度が高い浮上吸引混合部５にレーザ変位計を設けて実際の浮上量を検出し、それに基づいてガラス基板Ｇの浮上量をフィードバック制御する。これにより、ガラス基板Ｇは規定の浮上量に自動制御されることになり、浮上精度をより高精度とすることができる。これにより、周囲の環境、ワークの形状、大きさ、重量等が変化した場合でもそれに対応でき、高精度な浮上を安定して維持できる。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールと可動体との間に焼付きが発生することを防止することのできるエアースライド装置を提供する。
【解決手段】ガイドレール１２の上面部１２１に向けて静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１から噴出する気体により可動体１４をスライド可能に支持するエアースライド装置において、静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１が可動体１４のパッド取付面１４１よりもガイドレール側に突出するようにパッド取付面１４１の両端部に逃げ面１８を設けた。 （もっと読む）

【課題】１００，０００ｒｐｍ以上の超高速回転下でも数十ｎｍオーダの回転精度を達成することが可能なエアタービンスピンドルを提供すること。
【解決手段】駆動系にエアタービン、軸受にエアベアリングを用いたスピンドルにおいて、タービンの排気流路とエアベアリングの排気流路をそれぞれ独立に設けるように構成し、又、スラスト板の周上に、当該スピンドルの駆動源となるエアタービンを構成し、且つ、回転軸に垂直な方向で、且つ、スラスト板外周接線方向から当該エアタービンへの給気を行い、スラスト板両面に形成した静圧空気軸受の更に外周に、大気開放のための通気部を配置し、その更に外周に、狭いすきまによる非接触ラビリンスシールを設け、タービンの排気流路と多孔質静圧の排気流路を独立に構成する。 （もっと読む）

【課題】
主軸の振動を抑えて高精度な加工を行えるスピンドル装置を提供する。
【解決手段】
主ハウジング１０１Ａにおいて供給通路１０１ａの吐出口を周溝１０１ｃにつなげており、副ハウジング１０１Ｂにおいて供給通路１０１ｂの吐出口を周溝１０１ｄにつなげているので、例え主ハウジング１０１Ａ、副ハウジング１０１Ｂ又は主軸１０２の断面が真円でない場合でも、周溝１０１ｃ、１０１ｄが供給通路１０１ａ、１０１ｂから供給される空気が全周にわたりほぼ均一な圧力の一時的な蓄積領域となって、回転に伴う静圧スキマと吐出口との位置関係によらず圧力の急激な変動を抑えることができ、それにより主軸１０２の外周面に付与される圧力変動を抑えて、その振れや振動を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 ２本のレールの平行度にずれが生じた場合及び／又はレールに多少の撓みが生じた場合であっても、これらの不具合を解消することができて、テーブルを低摩擦で移動可能とすることができるエアスライド装置を提供すること。
【解決手段】 エアスライド装置１は、互いに所定の間隔を保持して平行に配置されていると共に夫々丸棒からなる２本のレール２及び３と、レール２及び３の夫々の外周面４に装着されていると共に外周面４との間でしかも外周面４と協同して環状隙間を形成する内周面２６を有したエアベアリング５と、エアベアリング５の夫々に固定された弾性支持体６と、各弾性支持体６に固定されていると共にエアベアリング５同士を連結しているテーブル７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 軸受剛性及び負荷容量が大きく、自励振動の発生を抑制することのできる多孔質静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体軸受２０は、裏金２１と、裏金２１の一方の面２２に形成された円形の凹部２３と、裏金２１の円盤状面２４に形成された環状凹溝２５〜２８と、環状凹溝２５〜２８の夫々に連通している行き止り孔３０と、裏金２１の凹部２３に配されている多孔質金属焼結層３４とを具備しており、環状凹溝２５〜２７は、半密閉チャンバーとなっていると共に、最外側に位置する環状凹溝２８は、行き止り孔３０から多孔質金属焼結層３４の気孔への圧縮気体の供給源となっている。 （もっと読む）

【課題】 オーガスクリュー軸の下部を非接触状態で確実に支持することで、騒音防止を図る。
【解決手段】 粉流体を貯留する逆円錐形状のホッパ１０と、当該ホッパ１０の下端頂部に連通された円筒状のファネルチューブ２０と、このファネルチューブ２０内の中心軸上に配設されたオーガスクリュー軸３０を備えている粉流体充填装置に、稼働中のオーガスクリュー軸３０の振れをなくすための軸受部６０を設ける。この軸受部６０は、カップ状の構造で内部に気体を噴出することにより、非接触の空気軸受を形成する。気体は、軸受部６０を支持する支持枠７０の内部を通って給排気する構成になっている。この空気軸受により、オーガスクリュー軸３０は軸支持されるため、ファネルチューブ２０に接触することがなく騒音が防止される。 （もっと読む）

【課題】 長尺であっても、気体膜を形成する空気をその滞留を避けるように適宜に外部に逃がし得て当該空気の発熱を抑えることができ、軸受面側及び可動体側の熱膨張を回避できて軸受面に対する可動体のより高速な移動、特に回転を可能にする多孔質静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体ラジアル軸受１は、裏金２と、裏金２の内面３に環状隙間５を挟んで並置された多孔質金属焼結層６ａ及び６ｂと、多孔質金属焼結層６ａ及び６ｂの夫々に高圧気体を供給する供給手段１２と、多孔質金属焼結層６ａ及び６ｂの端面１３及び１３ａ並びに１４及び１４ｂに一体に接合された封止材１５ａ、１５ａｂ及び１５ｂと、封止材１５ａｂに設けられている径方向の貫通孔１６と、貫通孔１６を裏金２の外部に連通させる貫通孔１７とを具備している。 （もっと読む）