【課題】エアの圧縮性に起因するエアハンマーの発生を確実に抑制すること。
【解決手段】ハウジング１２に、スピンドル１４が多孔質空気軸受２６、２８を介して回転自在に支持され、スピンドル１４がフランジ１８を介して電動モータ３８のモータ回転軸４４に連結され、ハウジング１２には、給気口３４から導入したエアを多孔質空気軸受２６、２８を介して排気口３６から排出するエア通路３０、３２が形成され、多孔質空気軸受２６、２８は、ラジアル軸受とスラスト軸受とが一体化されて構成され、多孔質空気軸受２６、２８には、多孔質空気軸受２６、２８のスラスト受面２６ｂ、２８ｂを流れるエアを導入して貯留するポケット５０、５２と、ポケット５０、５２に貯留したエアをエア通路３２に導くエア排出路５４、５６と、エア排出路５４、５６を通過するエアの流量を調整する絞り５８、６０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】エアの圧縮性に起因するエアハンマーの発生を確実に抑制すること。
【解決手段】ハウジング１２に、スピンドル１４が多孔質空気軸受２６、２８を介して回転自在に支持され、スピンドル１４がフランジ１８を介して電動モータ３８のモータ回転軸４４に連結され、ハウジング１２には、給気口３４から導入したエアを多孔質空気軸受２６、２８を介して排気口３６から排出するエア通路３０、３２が形成され、多孔質空気軸受２６、２８は、ラジアル軸受とスラスト軸受とが一体化されて構成され、多孔質空気軸受２６、２８には、多孔質空気軸受２６、２８のスラスト受面２６ｂ、２８ｂを流れるエアを導入して軸受外部に導くエア排出路５４、５６と、エア排出路５４、５６を通過するエアの流量を調整する絞り５８、６０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】エアの圧縮性に起因するエアハンマーの発生を確実に抑制すること。
【解決手段】ハウジング１２に、スピンドル１４が多孔質空気軸受２６〜２９を介して回転自在に支持され、スピンドル１４が電動モータ３８のモータ回転軸４４に連結され、ハウジング１２には、給気口３４から導入したエアを多孔質空気軸受２６〜２９を介して排気口３６から排出するエア通路３０〜３３が形成され、多孔質空気軸受２６、２７は、ラジアル軸受として構成され、多孔質空気軸受２８、２９は、スラスト軸受として構成され、スピンドル１２のフランジ１６、には、軸受隙間を流れるエアや多孔質空気軸受２８、２９を通過したエアを導入して軸受外部に導くエア排出路５２と、エア排出路５２を通過するエアの流量を調整する絞り５４、５５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】エアの圧縮性に起因するエアハンマーの発生を確実に抑制すること。
【解決手段】ハウジング１２に、スピンドル１４が多孔質空気軸受２６、２８を介して回転自在に支持され、スピンドル１４がフランジ１８を介して電動モータ３８のモータ回転軸４４に連結され、ハウジング１２には、給気口３４から導入したエアを多孔質空気軸受２６、２８を介して排気口３６から排出するエア通路３０、３２が形成され、多孔質空気軸受２６、２８は、ラジアル軸受とスラスト軸受とが一体化されて構成され、スピンドル１２のフランジ１６、１８には、多孔質空気軸受２６、２８を通過したエアを貯留するポケット５０、５２と、ポケット５０、５２に貯留したエアをスピンドル外に導くエア排出路５４、５６と、エア排出路５４、５６を通過するエアの流量を調整する絞り５８、６０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】使用条件によらずエアハンマーの発生を確実に抑制すること。
【解決手段】ハウジング１２に、スピンドル１４が空気軸受１６、１８を介して回転自在に支持され、スピンドル１４がフランジ２２を介して電動モータ３８のモータ回転軸４４に連結され、モータ回転軸４４の軸方向端部にはゴムリング５４を介して制振リング５２が装着され、スピンドル１４の振動に伴うエアハンマーが制振リング５２によって吸収される。 （もっと読む）

【課題】パーティクルが装置周辺に飛散することを防止することができる静圧軸受を提供する。
【解決手段】滑走面２ａ上を浮上するために噴出面１１ａから滑走面２ａに対して空気Ａ１を噴出し、ステージ２の表面に形成されている微細な孔部に入り込んだパーティクルＰ又はステージ表面上に付着したパーティクルＰに空気Ａ１が吹き付けられた場合であっても、吹き付けられた空気Ａ１の一部である空気Ａ２を、噴出部１１の外周側に配置された吸引面１２ａで、パーティクルPごと吸引して回収する。また、吸引面１２ａを、噴出面１１ａの下端より後退して配置して、パーティクルＰの吸引と空気の噴出とをバランスさせ易く、これによって、静圧軸受１０を滑走面２ａ上で浮上させ非接触で滑走させながら、ステージ装置１周辺へ飛散するパーティクルＰを確実に捕捉する。 （もっと読む）

【解決手段】 基板処理方法および装置が開示される。該装置は、表面にガス流を供給するように構成される、一つあるいはそれ以上のガス流開口を備えた表面を有するチャックを含む。前記表面は、表面に亘って分散された一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを含む。真空チャンネルは、それを通って真空を引くことを可能にする。本方法では、基板は、基板の裏面でチャック表面の近傍に、チャック表面に充分に接近して支持されるので、ガス流と真空が基板の裏面とチャック表面とを隔置された関係に維持することができる。ガス流は、ガス流開口を通して供給され、真空は、一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを通して引かれる。基板は、基板表面に実質的に垂直な方向に沿って移動される。 （もっと読む）

【課題】機械加工を施した後も良好に多孔質静圧気体軸受として使用することができる通気性を保持し得る軸受素材を提供すること。
【解決手段】軸受素材は、裏金１と、裏金１の面に焼成された多孔質焼結金属層２とを具備しており、多孔質焼結金属層２の粒界には無機物質粒子が含有されている。多孔質焼結金属層は、錫、ニッケル、燐及び銅を含んでおり、無機物質粒子は、黒鉛、窒化ホウ素、フッカ黒鉛、フッカカルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つからなる。 （もっと読む）

【課題】軸受剛性及び負荷容量が大きく、自励振動の発生を効果的に抑制することのできる多孔質静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】多孔質静圧気体軸受２０は、円盤状の裏金本体部２１と、裏金本体部２１の一方の円形の面２２の外周縁に立設された円形の環状立壁部２３と、環状立壁部２３と同心状であって環状立壁部２３に囲まれて裏金本体部２１の一方の面２２に立設された円形の環状突出部２４とを一体的に備えたステンレス鋼からなる裏金２５を具備しており、環状立壁部２３の環状内壁面２６に囲まれた円形の凹部２７は、環状立壁部２３の環状内壁面２６及び環状突出部２４の環状外壁面２８に囲まれた円環状の外側凹部２９と環状突出部２４の環状内壁面３０に囲まれた円形の内側凹部３１とに二分されて当該外側凹部２９と内側凹部３１とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】製造効率を高めつつ加圧気体の排出ルートを確保することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置１０は、加圧エア供給用のエア供給通路２４を有するベース１１と、ベース１１上に設置され、エア供給通路２４を介して加圧エアが供給されることにより表面であるエア噴出面から加圧エアを噴出する多孔質体１２とを備える。多孔質体１２はベース１１上に複数離間して配置されており、その一部がベース１１の上面から上方へ突出するように設置されている。ベース１１の上面には、各多孔質体１２が設置される凹部２１がそれぞれ形成され、当該各凹部２１の深さが多孔質体１２の高さよりも小さくなるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】非接触支持される板状ワークの平面度の低下を抑制することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置１０は、加圧エア供給用のエア供給通路２１を有するベース１１と、ベース１１上に設置され、エア供給通路２１を介して加圧エアが供給されることにより表面であるエア噴出面から加圧エアを噴出する多孔質体１２とを備える。ベース１２上には、エア噴出面が長尺状となるように多孔質体１２が設置されており、エア噴出面には、その長手方向と当該長手方向に直交する方向とのいずれにも交差するエア抜き溝３３が形成されている。エア抜き溝３３は、直線状の溝であり、非接触支持装置１０の長手方向に等間隔をおいて複数形成されている。 （もっと読む）

【課題】比較的高い剛性と優れた高速安定性とを得ることができる浮動ブッシュの特長を利用でき、しかも、より高い１次共振速度とすることができて、安定限界速度を更に向上させることができると共に簡単な構造とし得る静圧気体軸受機構並びにこれを用いた軸回転装置及びスピンドルモータを提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受機構２は、中空体１１と、中空体１１に対して隙間１３をもって当該中空体１１の内部１４に配されている浮動ブッシュ１５と、中空体１１及び浮動ブッシュ１５に対して隙間１６をもって中空体１１の内部１４に配されていると共に中空体１１に対して回転自在であるスピンドル１７と、中空体１１の外部１８から中空体１１の内部１４への高圧空気の給気のための給気通路１９と、中空体１１の内部１４から中空体１１の外部１８への高圧空気の排気のための排気通路２０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】静圧気体軸受のラジアル軸受性能やスラスト軸受性能を低下させることなく軸受剛性や負荷容量の増大を図ることのできる静圧気体軸受装置を提供する。
【解決手段】第１の静圧気体軸受３のスラスト軸受面寄りの回転軸１の外周面に第３の排気用環状溝１７を設けるとともに、第２の静圧気体軸受５のスラスト軸受面寄りの回転軸１の外周面に第４の排気用環状溝１８を設けた。 （もっと読む）

【課題】振動、騒音等の発生を防止し、高速かつ高精度の回転を維持可能なエアスピンドル用駆動装置を提供する。
【解決手段】空気軸受６Ａ〜６Ｃにより本体２に浮動状態に支承される回転軸３、第１の板状部材４及び第２の板状部材５と、本体の外表面から中空部まで貫通する第１の空気供給路２ｇと、本体の外表面から各空気軸受の各々に貫通する第２の空気供給路２ａ〜２ｃと、各々の空気軸受６から本体の外表面に貫通する第１の空気排出路２ｄ〜２ｆと、回転軸の外周面上の溝部３ａと、溝部の底部から回転軸の一端まで貫通する第３の空気供給路３ｂ、３ｃと、第１の板状部材に、第３の空気供給路と連通する第２の空気排出路４ａ、４ｂとを備え、空気が第１の空気供給路、溝部、第３の空気供給路、第２の空気排出路の順に通過後、外部に噴出し、第１の板状部材等が回転するエアスピンドル用駆動装置１。 （もっと読む）

【課題】少ない流量の気流でも高速回転で回転駆動可能なスピンドル装置を提供する。
【解決手段】スピンドル装置は、ハウジング１と、気体軸受により回転自在に支持された回転軸２と、回転軸２に同心に取り付けられたタービン羽根車７と、気流を噴出する複数のタービン用気流噴出口８と、を備えている。ハウジング１にはその周方向に連続する環状空間１１が設けられており、エアタービン用給気路１０を通った気流が導入口１３から環状空間１１内に導入され、環状空間１１内を周方向に移動し、導出口１４から導出されてタービン用気流噴出口８へと至るようになっている。そして、タービン羽根車７の周囲に形成された複数の羽根７ａにタービン用気流噴出口８から気流が吹き付けられることにより、回転軸２が回転駆動される。複数の導出口１４が周方向に等配に配されており、導入口１３は隣接する２つの導出口１４，１４の間の周方向中間位置に配されている。 （もっと読む）

【課題】適切な負荷容量および軸受剛性を確保し、円滑かつ高精度な相対運動を可能とする静圧軸受装置を低コストに提供する。
【解決手段】軸部材２の外周面２ａとの間にラジアル軸受隙間４を形成する軸受部材３に、加圧流体の流体圧で軸部材２の側に弾性変形可能な部分を有する電鋳部５を設けた。かかる構成によれば、流体圧を調整することにより、ラジアル軸受隙間４の幅を最適な負荷容量および軸受剛性を確保し得る隙間幅とすることができる。 （もっと読む）

【課題】負荷容量や剛性の低下を抑制できる静圧軸受を提供する。
【解決手段】静圧軸受ＳＢの軸受面ＢＰにおいて、その凹面の最大くぼみ量Δが０＜Δ≦３μｍであるので、ニューマティックハンマを生じさせることなく、第２の部材２を支持することができる。又、静圧軸受ＳＢは、多孔質部材ＰＲの半径方向外方で第１の部材１に取り付けられているので、静圧により円板Ｃの中央が第１の部材１に接近するような撓みが生じ、それにより軸受面ＢＰの中央が更に凹状に変形し、効率が高まるという効果もある。 （もっと読む）

【課題】剛性や負荷容量を大きく且つニューマチックハンマの不安定振動を発生しにくくすることができ、剛性と安定性との両立を可能とする。
【解決手段】多孔質部材１の軸受面中央部の座ぐり５と貫通孔６とを設けて、そこにねじ部材７を挿通し、当該ねじ部材７のねじ部を本体２のねじ孔８に螺合し締め付けて多孔質部材１を本体２に取り付けると共に、本体２と多孔質部材１との間には円環状の給気キャビティ３を設けて、給気孔４から給気キャビティ３に給気された気体が多孔質部材１の軸受面から噴出するように構成した静圧軸受パッドにおいて、多孔質部材１の軸受面外径ｄ_０と座ぐり径ｄ_１との比ｄ_１／ｄ_０を０．２以上０．６以下とすることで、動剛性と減衰係数を高くすると共に負荷容量を大きくする。 （もっと読む）

【課題】ダスト発生による清浄度低下抑制と、駆動速度向上が両立する真空用直線搬送装置を提供する。
【解決手段】一端側が真空プロセス室１内に挿入される搬送ロッド２を２つの静圧気体軸受３１，３２により支持し、該搬送ロッド２をマグネットカップリング式の駆動機構５で駆動し、該搬送ロッド２及び該搬送ロッド２の他端側に連結された上記駆動機構５の内部移動体５２を排気手段１３を備えたロッド収納筒部２０内に移動可能に収納し、該排気手段１３により低下する該ロッド収容筒部２０内の圧力を上記真空プロセス室１の圧力よりも低くした真空用直線搬送装置。 （もっと読む）

【課題】自励振動が発生しにくい多孔質気体軸受を提供する。
【解決手段】ハウジング１内に回転軸３が挿通されており、この回転軸３は、ハウジング１の内周面に設けられた多孔質気体軸受４によって回転自在に支持されている。
多孔質気体軸受４を構成する多孔質グラファイト製の軸受部材５は、多孔質グラファイトの空孔を小さくする２つの処理が施されていて、軸受面の表面層９のみが芯部よりも空孔率が低くなっている。この２つの処理とは、多孔質グラファイトを形成するグラファイト粒子にガラス状カーボンを被覆して空孔率を低下させる処理と、空孔内に封孔材を配して空孔率をさらに低下させる処理である。 （もっと読む）