【課題】スラストフォイル軸受の負荷容量を高める。
【解決手段】回転部材（フランジ部４０）及び固定部材（スラスト部材２１）にそれぞれ磁石２３、２４を取り付け、磁石２３、２４間に生じるスラスト方向の斥力により、回転部材と固定部材とのスラスト方向に支持力を補助する。 （もっと読む）

【課題】案内面の損傷を低減させるステージ装置を提供する。
【解決手段】
本発明のステージ装置は、ステージ部４と、ステージ部４の移動を案内する案内面を含む静圧軸受ガイド５と、ステージ部４に保持され且つ案内面に向けて気体を噴出するエアパッド２と、ステージ部４に保持され且つ案内面に対向した永久磁石３とを有するステージ装置であって、 静圧軸受ガイド５は、磁性体を含み且つ永久磁石３に対向した突出部を含む金属部７と、金属部７の硬度より高い硬度を有し、金属部７を被覆し、且つ案内面を有するセラミック部６とを含む。 （もっと読む）

【課題】高い応答性を有する可変自成絞りにより、広い周波数領域にわたり高剛性化を実現した静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】軸受面の一部に、可撓性を持つ可撓部材７による可撓性軸受面１を有し、前記可撓部材に、自成絞りを形成する給気孔３を設け、可変自成絞りとして作用させる。軸受隙間Ｃｒ内の気体の圧力変化を、ダイレクトに可撓性軸受面１に伝えることができ、また、可動物体を持たないために、高い応答性を有する可変自成絞りを実現できる。これにより、広い周波数領域にわたり高剛性化を実現した静圧気体軸受を提供できる。 （もっと読む）

【課題】インペラをスムーズに回転起動させることが可能な小型の遠心式ポンプ装置を提供する。
【解決手段】この遠心式血液ポンプ装置は、血液室７内に設けられたインペラ１０と、インペラ１０の一方面に設けられた永久磁石１５と、血液室７の内壁に設けられた永久磁石１６と、インペラ１０の他方面に設けられた永久磁石１７と、モータ室８内に設けられ、隔壁６を介してインペラ１０を回転駆動させる磁性体１８およびコイル２０とを備える。インペラ１０に対向する隔壁６および血液室７の内壁にそれぞれ動圧溝２１，２２を形成する。したがって、コイル電流を制御することにより、インペラ１０をスムーズに回転起動させることができる。 （もっと読む）

【課題】真空中で使用される静圧気体軸受において、移動体の移動中におけるガス放出量増加を少量に抑えた静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】ガイド軸表面に、気体分子付着確率の低い材質でコーティングを行う等の気体分子付着量低減処理を施すことで、移動中のガス放出量を低減した。 （もっと読む）

【課題】酸性ガスなどの腐食環境に適合可能である、動作中のロータシャフト支持用に磁気軸受を配したロータアセンブリおよびステータアセンブリを提供する。
【解決手段】前記ロータアセンブリおよびステータアセンブリには、酸性ガス環境に適合可能なＮＡＣＥ規格準拠の磁気軸受が含まれる。一実施形態において、磁気軸受を配するロータシャフトアセンブリ１００は、ロータシャフト１０２およびバリヤ層１０６を有する。前記ロータシャフト１０２は、強磁性材料製であって、その上に複数のロータ積層体１０４を有する。また、前記バリヤ層１０６は、前記ロータシャフト１０２の所望の露出表面領域上に形成され、担体表面を効果的に防食する。 （もっと読む）

気体または空気軸受（２）のための軸受面（１１，１３）を製作する方法が説明される。方法は、少なくとも一つの軸受面領域を有するばらの軸受部分（３０，４４）を取得することと、少なくとも一つのガスポケット（３４，４０）を画成すべく、軸受面領域にコーティング（３２，４２）を設けることとを含む。少なくとも一つのガスポケット（３４，４０）は、コーティング（３２，４２）の厚さと実質的に等しい深さを有する。一例において、コーティング（３２，４２）の部分を除去してガスポケット（３４，４０）を形成するため、レーザー除去が用いられる。コーティング（３２，４２）は陽極酸化処理されたコーティングであってもよく、ばらの軸受部分（３０）はアルミニウムから形成されてもよい。この方法を用いて形成された空気軸受部品も説明される。
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鉄含有の母材から成る少なくとも１つの支持部材（２５）、軸受ブシュ（２４）を備えた滑り軸受であって、コーティング材料からなるコーティング（８．２６）がその受け面上に施されており、このコーティングは、融着された層として形成されそしてＦｅＳｎ₂を含む接合領域（９）によって母材と冶金的に接合されおり、そして前記のＦｅＳｎ₂含有接合領域（９）の厚さが最大でも１０μｍであることによって長い耐用年数を達成することができる、滑り軸受け。
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本発明は、気体軸受が硬質層でコーティングされている真空ポンプ、及び、真空ポンプのそのような気体軸受の製造方法に関するものである。
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【課題】自励振動が発生しにくい多孔質気体軸受を提供する。
【解決手段】ハウジング１内に回転軸３が挿通されており、この回転軸３は、ハウジング１の内周面に設けられた多孔質気体軸受４によって回転自在に支持されている。
多孔質気体軸受４を構成する多孔質グラファイト製の軸受部材５は、多孔質グラファイトの空孔を小さくする２つの処理が施されていて、軸受面の表面層９のみが芯部よりも空孔率が低くなっている。この２つの処理とは、多孔質グラファイトを形成するグラファイト粒子にガラス状カーボンを被覆して空孔率を低下させる処理と、空孔内に封孔材を配して空孔率をさらに低下させる処理である。 （もっと読む）

【課題】 回転体の回転損失および温度上昇を抑制できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置は、回転体1を制御型ラジアル磁気軸受3,4により径方向に非接触支持する磁気軸受装置であって、ラジアル磁気軸受3,4を構成する電磁石9,10に対向する回転体1の外周部に複数の円環状の珪素鋼板15が積層されたコア11,12が固定されているものである。コア11,12を構成する各珪素鋼板15が、表面に絶縁被膜がコーティングされたものであり、コア11,12の外周面に研磨加工が施されていない。 （もっと読む）