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【課題】輻射暖房機において、面状ヒーターの強度を高めつつ、表面温度を下げて、発光させることにある。
【解決手段】熱透過性のガラスプレート1cに複数の開口部を有する金属の発熱体1aを接着して面状ヒーター1を構成し、さらに面状ヒーター1の背面側に発光部6を設けたたことで、発熱体1aがガラスプレートの強度体となり、ガラスプレートの表面積を大きくして、表面温度を下げても輻射量を確保することができるとともに、発熱体1aの複数の開口部から発光させることで発熱体1aの通電状態が視認しやすくなる。 (もっと読む)


【課題】 並列接続されたPTCの抵抗発熱体が発する熱を長手方向により均一な温度分布の得られるセラミックヒータを実現する。
【解決手段】 セラミック製の長尺平板状基板11上の長手方向に所定の間隔を置いて正の温度係数を有する抵抗発熱体16,17を形成する。抵抗発熱体16の短手方向の一端と配線パタン14を電気的に接続した状態で基板11上で接続する。抵抗発熱体17の短手方向の一端配線パタン15を電気的に接続した状態で基板11上で接続する。抵抗発熱体16の短手方向の他端と配線パタン18を基板11上で電気的に接続する。抵抗発熱体17の短手方向の他端と配線パタン19を基板11上で電気的に接続する。一端が開放された配線パタン14,15の長手方向の他端と電極12を接続する。一端が開放された配線パタン18,19の長手方向の他端と電極13を電気的に接続する。 (もっと読む)


本発明は、伝導性組成物であり、質量比が100:1〜15である液状シリコンゴムと導電性カーボンブラックとの混合物からなるか、あるいは、質量比が100:10〜150である液状シリコンゴムと黒鉛粉末との混合物からなる。また、カーボン柔軟性発熱構造体は、液状シリコンゴムと充填剤とからなる伝導性組成物を混合する段階と、液状シリコンゴムと導電性カーボンブラックとの混合物に、液状シリコンゴムの質量対比1〜100%の割合で稀釈剤を添加して攪拌する段階と、一定の形状に成形した後に、これを硬化させる成形及び硬化段階と、により製造される。
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【課題】帯状の抵抗発熱体を備えたウエハ加熱装置において、加熱冷却を繰り返しても抵抗発熱体の剥離やクラックの発生を防止する。
【解決手段】板状セラミック体2の一方の主面をウエハを載せる載置面3とするとともに、他方の主面に1または2回路以上の帯状の抵抗発熱体4を備えると共に、前記抵抗発熱体またはそれを覆う絶縁層の表面を凹凸面を形成する。 (もっと読む)


【課題】PTC抵抗発熱体を用いながら長手方向により均一な温度分布を有するヒータを実現する。
【解決手段】セラミック製の長尺状基板11上に形成された電極12,13からそれぞれ基板11の長手方向に配線パタン14,15を形成する。配線パタン14,15にはそれぞれ基板11の長手方向に沿ってPTC抵抗発熱体16,17の一端を接続する。発熱抵抗体16の他端は配線パタン14,15同材料で同時に形成された基板11の長手方向に延びる配線パタン18に接続する。発熱抵抗体17の他端は配線パタン14,15同材料で同時に形成された基板11の長手方向に延びる配線パタン19に接続する。配線パタン18,19は電極12,13から離れた位置の結合部20で電気的に接続する。これにより、抵抗発熱体16,17の特定箇所に異常があっても幅が大きいことから発熱への影響を極力抑え、均一な温度分布を得ることが可能となる。 (もっと読む)


【課題】基板表面温度の均熱化が可能な基板加熱装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】一方の面に基板を載置する加熱面を有する板状のセラミックス基体と、セラミックス基体に埋設された抵抗発熱体とを有し、加熱面が中央部が最も低く周辺部へ近づく程高い凹面形状である、基板加熱装置である。抵抗発熱体が埋設された板状のセラミックス基体を形成する工程と、加熱面となる、セラミックス基体の一方の面を、中央部が最も低く周辺部へ近づく程高い凹面形状に研削加工する工程と、セラミックス基体の他方の面の中央領域に筒状部材を接合する工程とを有する基板加熱装置の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】加熱体の耐久性・信頼性の向上。
【解決手段】被加熱材を加熱する加熱体において、細長い基板104面上に長手方向に沿って形成された3本以上の発熱パターン101a−1・101a−2・101bを有し、前記発熱パターンのうち少なくとも1本の発熱パターンは、基板の長手方向における単位長さ当りの発熱量分布が当該発熱パターン以外の発熱パターンと異なる。そして、前記発熱パターンのうち少なくとも2本の発熱パターン101a−1・101a−2は、それぞれ基板の短手方向における一端側と他端側に配設されて直列ないしは並列で接続される第1の導通経路をなし、前記発熱パターン101bは、基板の短手方向における前記第1の導通経路の形成領域より内側に形成されて第2の導通経路をなす。 (もっと読む)


中実材料の放射率を増大させるシステム及び方法が開示される。ここでは、材料の表面は、まず、微視的レベルの欠陥を生成するように機械加工され、次いで、深い微視的粗さの表面形態を生成するようにエッチングされる。このようにして、これらの改質された材料が加熱要素に用いられるとき、より高い効率とより低いエネルギー消費を得ることができる。従って、このプロセスによって作製された加熱要素は、これらの改良された加熱要素が種々の加熱装置と共に用いられるとき、より低い温度で操作され、その結果、より長い寿命を得る。
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【課題】加熱体の耐久性・信頼性の向上。
【解決手段】基板20aと、前記基板の長手方向に沿って設けられている発熱抵抗体20bと、を有し、被加熱材を加熱する加熱装置に用いられる加熱体20において、前記基板には前記基板の短手方向の略中央Cを基準に複数本の前記発熱抵抗体20b−1−1,20b−1−2・20b−2−1,20b−2−2が略対称に配置されており、前記基準に対し対称の位置関係にある第1の発熱抵抗体と第2の発熱抵抗体の電気的端部に設けられた電極22a,22b,22c同士が両端共に共通電極になっていることを特徴とする。 (もっと読む)


本発明は、加熱用の少なくとも1個の電気導体素線(1)が配置されている少なくとも1つの加熱ゾーン(100)と、加熱ゾーン(100)を加熱するための前記少なくとも1個の導体素線(1)に電気エネルギーを供給するための少なくとも1個の他の導体素線(2)と、電気エネルギーを供給するための前記導体素線(2)が加熱ゾーン(100)を加熱するための前記少なくとも1個の導体素線(1)と導電結合されている接触領域(200)とを備えた加熱要素(20)、特に車両の車室の利用者接触面を加熱するための加熱要素(20)に関する。本発明によれば、前記導体素線(1,2)の少なくとも一方が局所的に機能不全を起こした場合に、機能不全部位を橋絡する電気橋絡導線の少なくとも一部を前記機能不全部位に形成させる少なくとも1個の補助導体(3)が設けられている。
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第1の端および第2の端を有する電気抵抗物質のほぼ平坦な層と、電気抵抗物質のほぼ平坦な層の第1の端に電気的に接続される第1の導電体と、電気抵抗物質のほぼ平坦な層の第2の端に電気的に接続される第2の導電体と、電気抵抗物質のほぼ平坦な層を取り囲み電気抵抗物質のほぼ平坦な層の第1の端を電気抵抗物質のほぼ平坦な層の第2の端から絶縁する電気絶縁物質とを含むヒーターである。ヒーターは流体要素の表面に実装され、流体要素を加熱するのに用いられてよく、ヒーターが電気絶縁物質を通じて延在する開口を含む場合には、ヒーターは流体要素と流体基板の間に配置され、両方を加熱できる。
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開始された本発明は、精密な抵抗値を有するように PCB型ヒーターを利用し、リンゲル輸液や輸血時に血管に入る輸液及び血液の温度を体温と一致させるためのPCB型ヒーターを有する加熱装置に関するものであり、特に点滴室から流体を供給されるチューブが連結される第1連結部と、前記流体が流れるようにするための螺旋形ねじ山形状の通路と、前記通路に流れる流体を注射針で供給するための第2連結部で構成されたボディ; 前記ボディに嵌合されて所定の接着方式によって前記ボディに付着、固定されて前記流体が外部に流出しないようにするための手段の内カバー; 前記ボディと内カバーを密着、固定させる中間カバー; 前記中間カバーの上部面内部及び下部面内部に挿入され、前記通路に流れる流体に熱を加えて流体が一定温度に保たれるようにするPCB型ヒーター; 前記ヒータ及び中間カバーが結合されたボディを収納することができる函部を有する下部ケース; 及び前記下部ケースと結合される上部ケース;で構成されたことを特徴とする。

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ここに開示したのは、断熱板上に設置したPCBプロセスによる正確な抵抗値を持つヒーターを設計することによって、使用目的に適した温度で発熱するヒーターを提供するためにPCBプロセスを利用する、ヒーター及びヒーター製造方法である。本発明の方法は、下記の工程を含む。断熱板の片側に供給される電力に応じて発熱する物質コーティングすることによって薄板を形成する工程と、該断熱板の上部側面に、一定の抵抗値を持つように設計されている発熱エレメント、該発熱エレメントに電力を供給するための電力供給端子、該発熱エレメント所定部位周囲の加熱温度を測定するためのセンサーが装着されるセンサーマウントの接続端子、及び外部が該センサから測定される温度を読み取ることを引き起こすセンサー接続端子を有するように作られている回路パターンを形成することを特徴とする、マスクパターンを形成する工程と、該マスクパターンで形成される該断熱板を侵食させ、該回路パターンを持つヒーターを作成するためのエッチング工程と、該断熱板の上部側面に形成されるパターンを保護するための断熱保護フィルムを形成する工程。

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腐食的な製造環境での製作中に、半導体ウェハーを加熱するための改良された加熱システム(10)が開示されている。前記システム(10)は、新規なセラミックヒータ(12)を備えており、前記セラミックヒータ(12)は、該セラミックヒータ(12)のセラミック基板(16)内部に完全に直接埋め込まれている多数の加熱素子(44)と温度センサ配置(38)を有している層状のセラミック基板(16)から作成されている。前記複数の加熱素子(44)と温度センサ配置(38)は、前記セラミックヒータ(12)の作動効率を改良する低い温度抵抗係数を備えているモリブデンと窒化アルミニウムの複合物から構成されている。作動時に、前記温度センサ配置(38)は、前記半導体ウェハーの全表面に渡って一定で一様な温度分布を供給するような方法で前記加熱素子(44)を制御すること可能であるマイクロプロセッサー(14)に温度示度を伝達する。 (もっと読む)


【目的】 高い熱放射効率を保持する遠赤外線パネルヒータ装置を提供する。
【構成】 少なくとも遠赤外線放射板と面状発熱体と押さえ板を重ね合わせた発熱パネルユニットを備える遠赤外線パネルヒータ装置であり、前記面状発熱体に配設された発熱源である抵抗線15の配線パターンが面状発熱体17の中央部領域Cが周辺部領域よりも先に高温になるようにパターニング若しくは加熱制御されており、遠赤外線放射板全体がこれに当接する面状発熱体側に凸に反って隙間なく密着して高い熱放射効率を維持する構成である。 (もっと読む)


【課題】セラミックスからなる板状体の一方の主面に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を具備してなるセラミックヒーターにおいて、板状体の厚みを薄くすると、発熱抵抗体で発生した温度分布が十分緩和されず、載置したウエハの温度がなかなか均一にならないという課題があった。
【解決手段】上記発熱抵抗体の少なくとも一部を、周囲のパターンの抵抗値に対し3倍以内の抵抗値にトリミングした抵抗調整部を形成する。 (もっと読む)


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