【課題】簡単な構成で電極部の温度上昇を防止することが可能な加熱用窒化アルミニウム基板、加熱装置および加熱用窒化アルミニウム基板の製造方法を提供する。
【解決手段】加熱用窒化アルミニウム基板１００は、相対的に高い熱伝導率を有する高熱伝導部分１１０と、相対的に低い熱伝導率を有する低熱伝導部分１２０とを備える。高熱伝導部分１１０は、少なくとも発熱体の一部が形成されるべき平面領域に配置されている。低熱伝導部分１２０は、少なくとも電極の一部が形成されるべき平面領域に配置されている。セラミックヒーター１は、加熱用窒化アルミニウム基板１０と、高熱伝導部分１１に形成された発熱層２０と、低熱伝導部分１２に形成された電極層３０とを備える。酸化雰囲気中で窒化アルミニウム基板を部分的に酸化して、酸化アルミニウムを含む部分を窒化アルミニウム基板内に形成することによって低熱伝導部分１２０を形成する。 （もっと読む）

【課題】長さ方向に電気抵抗が安定している発熱線を用い、不使用時の折り畳み性と使用時の形状復元性の両方を容易に満足させ得る可撓性発熱体及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】所定の形状に形状記憶処理した形状記憶合金線を基材中に配置してなり、不使用時に基材中の形状記憶合金線がオーステナイト相からマルテンサイト相に変態することでその縦弾性係数が使用時の値よりも小さくなった状態で折り畳みし、使用時に基材中の形状記憶合金線がジュール熱で逆変態完了温度以上にまで加熱され、マルテンサイト相で与えられていた折り畳みによる塑性変形がオーステナイト相へと変態する際に除かれ、元の形状に戻る可撓性発熱体及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】加熱可能な物品（例えば、現在利用可能な風防の制限を有さない加熱可能な風防）を提供する、より具体的には、電磁スペクトルの周波数を通過する領域を有するかまたは有さない、エネルギーをかけられた場合に風防の表面を均一に加熱する、導電性部材を提供する。
【解決手段】加熱可能な物品であって、第一母線；第一母線から間隔をあけた第二母線；母線の各々の間でかつ電気的に接触する、導電性部材１６であって、ここで、第一母線に隣接した伝導性部材は複数の別個の電気的に絶縁された複数の導電性セグメント１８を有し、少なくとも１つのセグメントは、第一母線が第二母線へ向けて間隔を増加させるに従って幅を変動させる導電性部材を備える物品。 （もっと読む）

【課題】ヒータの発熱量のバラツキをなくし、被処理基板の面内温度の均一性を向上させた熱板及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】被処理基板を載置し該被処理基板を加熱するための熱板４１であって、基材となるシリコン基板４２と、シリコン基板の裏面に成膜された金属の電気抵抗体からなるヒータ４３と、シリコン基板の裏面又は表面に成膜された金属の電気抵抗体からなる温度センサ４７と、被処理基板を下方から支えて熱板の上に昇降するための支持ピンを挿通させるべくシリコン基板に設けられたピン孔４９と、シリコン基板４２の表面に形成され、熱板の上に載置される被処理基板との間に隙間を形成するためギャップ用突起５０とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】 ２５０℃〜１０００℃の高温の領域を含む広い温度領域で使用することが可能で、しかも所望の曲面形状及び大きさで容易に製造することができる面状発熱体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 複数枚のマイカシートのいずれかの間隙に可撓性を有する発熱素子が挟持された複合シートを、曲面状に保持された状態で加熱することにより、マイカシートを硬化させるとともに該複合シートを一体成形して面状発熱体を製作する。 （もっと読む）

【課題】機械的負荷に対して強く、安全かつ寿命の長い発熱体を提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも部分的に相互接触によって上下に電気的に直接又は間接的に互いに接続し、許容最大温度を超える場合少なくとも一時的にその導電性を少なくとも部分的に消失する少なくとも一つの発熱導体（１１，１１’，１１’’）又は発熱導体部分（１３）とを有する、少なくとも一時的にユーザと接触する面を加熱するための発熱体（１）に関する。少なくとも二つの発熱導体（１１，１１’，１１’’）又は発熱導体部分（１３）の電気抵抗は、少なくとも部分的にその機械的負荷に依存しており、前記発熱導体（１１，１１’、１１’’）又は発熱導体部分（１３）は電気的に互いに並列接続されており、スペーサゾーン（２２）においてそれらの間の電気接続を防ぐために前記発熱導体又は発熱導体部分はスペーサゾーン（２２）によって少なくとも部分的に互いに離間される。 （もっと読む）

【課題】絶縁性のある高容量なヒータを提供することを目的とする。
【解決手段】発熱材６と、発熱材６を覆う耐熱絶縁材７と、耐熱絶縁材７の外側に熱溶着可能な絶縁材にてなる熱溶着材８を形成したことにより、ヒータを高容量にしても耐熱絶縁材が溶けなくなり、非加熱物に溶着可能で絶縁性の高いヒータができる。 （もっと読む）

【課題】融解によって２個のポリマー部品を溶接するための装置と方法を提供する。
【解決手段】融解は、絶縁ワニスによって被覆された抵抗線で編まれた発熱体シート（１）によって得られ、発熱体シート（１）は、前記電圧または電流強度が調整可能で短絡に対する耐性を有する自動装置によって電力供給されるようになっている。発熱体シート（１）は、直径が０．２ｍｍ〜０．３ｍｍの抵抗線から得られ、寸法（ａ、ｂ）が１．５×３ｍｍ²〜２．５×４．５ｍｍ²のほぼ平行六面体の網目（Ｍ）を示す。 （もっと読む）

【課題】 高温下でも絶縁性に優れており、かつ、他の諸特性にも優れている絶縁シートを提供する。
【解決手段】 アルコキシド縮合脱水物からなるバインダーと、酸化チタン、アルミナ及びジルコニアの少なくとも一つを含む顔料と、溶媒とからなる塗料が、シート形状又は非シート形状の基材または発熱体の表面に設けられて膜を形成している絶縁構造体であって、アルコキシド縮合脱水物が、トリメチルメトキシシラン又はトリメチルエトキシシランと、テトラメトキシシラン又はテトラエトキシシランとを５対２以下の割合で含む。 （もっと読む）

【課題】機械的負荷によっても作動が妨害されない発熱体を提供する。
【解決手段】発熱体（１）は加熱すべき面の近傍に配置するための少なくとも一つの平坦な発熱抵抗（１８）と、少なくとも縦長の接触領域（２００）において少なくとも部分的に互いにかつ発熱抵抗（１８）と接続している少なくとも二つの接触導体線（３，３’）を有する発熱抵抗（１８）に電流を供給するための少なくとも一つの電極（４）とを有する。電極（４）及び／又は接触領域（２００）に沿った接触導体線（３，３’，３’’，３’’’，３’’’’，３’’’’’）の少なくとも一つが少なくとも部分的に電極（４）及び／又は接触領域（２００）の延伸方向に対して平行である延伸方向を有する少なくとも一つの箇所において少なくとも一つの別の接触導体線（３，３’，３’’，３’’’，３’’’’，３’’’’’）が少なくとも部分的に前記延伸方向に対し角度をなす延伸方向を有する。 （もっと読む）

【課題】面状発熱体を連続的に効率よく製造する。
【解決手段】複数の導電性繊維が幅方向に配列された導電性繊維シート１０を連続的に繰り出しながら、導電性繊維シート１０の両面に繊維強化プリプレグ２０および絶縁性樹脂フィルム３０が順次積層される。導電性繊維シート１０には、その両耳部に、導電性繊維シート１０の導電性繊維と電気的に接続される導体が設けられる。繊維強化プリプレグ２０および絶縁性樹脂フィルム３０で覆われる導体の一部が露出するように、繊維強化プリプレグ２０および絶縁性樹脂フィルム３０に貫通穴が形成され、これによって、導電性繊維シート１０への電圧印加用のリード線を接続するための電極部が設けられる。 （もっと読む）

【課題】連結部に発熱部を形成する構成として、連結部の温度低下を極力少なくさせ、使用感の向上を図った長尺の面状発熱体を提供することにある。
【解決手段】連結部は高分子抵抗体４の重ね代による抵抗値の低下分を補うように、前記連結部を挟む枝電極間３ｃ、３ｄ距離を大きくしてあるので、簡単な構成で連結部もとぎれなく発熱部を形成することができるとともに、連結部に位置する発熱部は、高分子抵抗体４の重ね代による抵抗値の低下分を補うようにしてあり、所定温度より高くなり不安全になる心配がなくなる。したがって、連結部に発熱部を形成することができるので、面状発熱体１を連結して長尺にしても、連結部の温度低下を極力少なくさせ、使用感の向上を図ることができるようになる。 （もっと読む）

【課題】セラミックス製の基体と、この基体の中に埋設されている発熱体とを備えており、基体に被加熱物を処理するべき加熱面が設けられている加熱装置において、加熱装置の各部分における動作状態を安定化する。
【解決手段】基体２内において、所定のセラミックスの体積抵抗率よりも高い体積抵抗率を有する他のセラミックスからなる抵抗制御部２ｃが設けられている。所定のセラミックスが、マグネシウムおよびリチウムを実質的に含有していない窒化アルミニウム質セラミックスであり、他のセラミックスが、マグネシウムを酸化物に換算して０．５重量％以上含有する窒化アルミニウム質セラミックスであるか、または、所定のセラミックスが、マグネシウムおよびリチウムを実質的に含有していない窒化アルミニウム質セラミックスであり、他のセラミックスが、リチウムを１００ｐｐｍ以上、５００ｐｐｍ以下含有する窒化アルミニウム質セラミックスである。 （もっと読む）

【課題】被焼成体を搬送するための搬送路を上下方向に複数有する多段構造の焼成炉において、前記搬送路間に設置した場合に、その上方及び下方の搬送路内を搬送される被焼成体を同時に加熱できるとともに、搬送路を仕切る薄型の隔壁としても機能し、組み立てが容易で、リード線の破断が生じにくいパネル状のヒータを提供する。
【解決手段】パネル状のヒータであって、当該ヒータの両方の面が各々その表面近傍に発熱線が埋設された発熱面４となっており、かつ、前記両方の面が各々独立して温度制御できるように構成された両面ヒータ１。 （もっと読む）

【課題】セラミックス基体やリング状部材に電荷が残留するのを抑制して、アーキングが発生することを効果的に防止することができる加熱装置を提供する。
【解決手段】被加熱物を加熱する加熱面１１ａを有する絶縁性セラミックス基体１１と、この絶縁性セラミックス基体１１の加熱面１１ａ近傍に埋設された高周波電極１３と、この高周波電極１３よりも前記加熱面から離れて当該絶縁性セラミックス基体に配設された抵抗発熱体１２と、この絶縁性セラミックス基体１１の加熱面１１ａの一部に露出し、かつこの絶縁性セラミックス基体１１内に設けられた導電性部材としての高周波電極１３と接続する低抵抗セラミックス部材１６とを備える加熱装置。 （もっと読む）

ヒータ構造の製造方法および対応するヒータ構造が開示される。上記方法は、ガラスクロスのような多孔質の補強材料を準備することと、スプレーによって上記多孔質の補強材料に金属を付着させることと、その構造を堅くするために金属を付着させた上記多孔質の補強材料に樹脂を付着させることからなる。樹脂を付着させる前に多孔質の補強材料に金属を付着させることは、多孔質の補強材料と付着される金属層の間の剪断強度を向上させたり、樹脂を付着させる前に金属を付着させた多孔質の補強材料の形状を操作しうるというような多くの利点がある。ヒータ構造は、上記したような多くの用途で使用することができる。
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【課題】 載置台と背面プレートを備えるヒータユニットについて、均熱性を維持向上させながら、昇温速度及び降温速度の高速化を図ると共に、そのヒータユニットを搭載することで、高いスループットを達成し得る半導体やフラットディスプレイパネルの製造検査装置を提供する。
【解決手段】 ヒータユニット１０の載置台１１と背面プレート１２の間に高熱伝導シート１４を挿入することにより、熱移動を載置台１１の処理面１１ａと平行方向に広げ、優れた均熱性を確保する。また、載置台１１の厚みを薄くしてヒータユニット１０の熱容量を低減し、冷却ブロック３をヒータユニット１０の背面プレート１２に当接又は分離させて、昇温速度及び降温速度の高速化を図る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、主に半導体ウェーハ処理装置に用いるための加熱装置に関する。
【解決手段】バッチ加熱／ウェーハ処理に用いるための加熱処理装置が提供され、ウェーハボートを受けるためのプロセスチャンバと、少なくとも１つの加熱ゾーン用の電気加熱回路を形成するように構成され、連続オーバーコート層内に封入された基板本体を含む少なくとも１つの加熱素子と、ウェーハボート内のウェーハを加熱するために少なくとも１℃／秒の温度変化率を有する加熱素子上に配置された熱反射面を含む熱リフレクタとを備える。 （もっと読む）

【課題】定着ヒータの全長より小さいサイズを通紙する場合、通紙部のみを定着に必要な温度になるよう均一に発熱させ、通紙部以外の部分での異常発熱は防ぎながらも、グリースによるローラの潤滑性を阻害させないようにする。
【解決手段】耐熱・絶縁性の材料で形成された絶縁基板１１上に、比抵抗の大きい発熱抵抗体１２，１３の両端に、発熱抵抗体１１，１２の比抵抗より小さく発熱抵抗体１２１，１２２と１３１，１３２を直列接続して形成する。直列接続された１２１，１２，１２２と直列接続された１３１，１３，１３２に対し電極１４，１５から電力を供給する。これにより、各発熱抵抗体は発熱を始めるが、通紙部以外の発熱抵抗体１２１，１２２，１３１，１３２の比抵抗を発熱抵抗体１２，１３の比抵抗より小さくしたことで、発熱抵抗体１２１，１２２，１３１，１３２の異常昇温を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】透水性および通気性を有する線面タイプの面状発熱体を確実かつ効率的に製造する方法を提供すること。
【解決手段】導電性糸を有する横糸２と、絶縁性の縦糸３と、電極線４，４と、が織り込まれた平織の織布５を有する面状発熱体１を製造する方法であって、前記導電性糸の両端部を除く部分に絶縁性ポリマー８との密着性を高めるための表面処理を施す工程と、行列状に目開き孔が形成されるように、横糸２、縦糸３および電極線４，４を織り込んで織布５を作製する工程と、織布５に織り込まれた電極線４，４の表面に接着剤を塗布する工程と、目開き孔が塞がれることなく表裏面を貫通する貫通孔９となるように、織布５に絶縁性ポリマー８を含む被覆液を塗布して乾燥することにより、導電性糸および電極線４，４の周囲を絶縁被覆する工程とを有する。 （もっと読む）