【課題】 抵抗加熱ヒータの劣化に起因する抵抗値の変化を高い分解能で検出することにより、抵抗加熱ヒータの交換時期を正確に予測できる電力供給システムを提供する。
【解決手段】 電力供給システム１００は、抵抗加熱ヒータ１０６、供給電力調節器１１０、温度調整用調節計１３０、抵抗検出装置１４０、及び熱電対１３１、１４１を備えている。供給電力調節器１１０は、入力側フィルタ回路１１１、ＩＧＢＴ変換器１１２、カレントトランス１１３、電圧測定ライン１２３、電源変動検出手段フィードフォワード回路１１４、周波数変換回路１１５、出力側フィルタ回路１１６、カレントトランス１１７、電圧測定ライン１１８、及び負荷変動検出手段フィードバック回路１１９を備えている。抵抗検出装置１４０は、演算器（ＣＰＵ）１４４、ヒータ製作時基準テーブル１４５、及びヒータ温度係数テーブル１４６を備えている。 （もっと読む）

【課題】加熱速度の上昇と温度制御の安定性を向上させた面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】導電性材料を含有した高分子抵抗体４と、電極３Ａ，３Ｂと、電気絶縁性基材２と、基準抵抗体７と、定電圧電源６とを備え、前記高分子抵抗体４の抵抗値をＴＣ特性を利用して計測することによって、設定温度に到達する前では電圧を印加し、設定温度付近では印加電圧を減少させることにより、加熱速度の上昇と温度制御の安定性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】電力使用系に対する電圧及び電流を正確に測定して精度の高い抵抗値を求め、断線の予測を精度良く行うことができる電力使用系の断線予測装置を提供する。
【解決手段】電力使用系４２Ａ〜４２Ｅに対して個別に各給電ライン４６Ａ〜４６Ｅを介して供給される電力を制御するようにした電力供給回路系２４に設けた断線予測装置２６において、各給電ライン毎に設けられ、異なる周波数のパルス波をオフ期間に対応させて発生するパルス波発生手段５２Ａ〜５２Ｅと、自己のパルス波発生手段にて発生したパルス波を混合させるパルス波混合手段５４Ａ〜５４Ｅと、伝送される自己のパルス波を検出するパルス波検出手段５６Ａ〜５６Ｅと、パルス波検出手段にて検出されたパルス波に基づいて電力使用系の断線予測を判断する判断手段５８とを備える。 （もっと読む）

【課題】ヒータを通電加熱して半導体ウェハ上に薄膜を形成するなどの半導体製造プロセスの熱処理実行中に連続した状態でヒータ断線の予知情報を得て適切な対策を講じることができる半導体製造装置を実現すること。
【解決手段】加熱処理用のヒータを備えた半導体製造装置において、前記ヒータの駆動電流波形をサンプリングする手段と、このサンプリングデータに基づきヒータの抵抗値を求める手段と、駆動電流に重畳するノイズ成分の振幅を求める手段と、これらヒータ抵抗値とヒータ抵抗値上昇の傾きとノイズ成分の振幅に基づきヒータ断線予知アラームを判定する手段、を有することを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】便座温度の急峻な温度上昇を行う温度制御において、最適なフィードバック制御を行うことを目的とする。
【解決手段】便座を加熱する便座ヒータと、電圧検知手段と、電流検知手段と、ヒータ抵抗とヒータ温度との相関関係を記憶する記憶手段と、便座ヒータへの通電量を制御する制御手段とを備え、電圧検知手段が検知した電圧と電流検知手段が検知した電流により算出される抵抗と記憶手段に記憶された相関関係から算出されるヒータ温度に従って便座ヒータへの通電量を制御することにより、瞬間加熱式の暖房便座においても、ヒータ温度の検知データに基づいて便座ヒータの通電を制御するフィードバック制御を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】抵抗ヒータの温度制御において、消費電力を抑えるようにすることと、抵抗ヒータの電圧等の測定に関して分解能の低下や誤差の増大を抑えるようにする。
【解決手段】温度制御装置５は、温度依存性抵抗ヒータ１１と、ＰＷＭコントローラ７１と、ＰＷＭスイッチＳＷ１と、差動増幅器５５と、ＡＤＣ５６と、を備える。ＰＷＭコントローラ７１のＰＷＭ信号がオン状態である場合に、ＰＷＭスイッチＳＷ１によって電流が温度依存性抵抗ヒータ１１に流れる。ＰＷＭコントローラ７１のＰＷＭ信号がオフ状態である場合、ＰＷＭスイッチＳＷ１によって温度依存性抵抗ヒータ１１に電流が流れない。ＰＷＭコントローラ７１は、ＰＷＭ信号がオン状態の場合における差動増幅器５５及びＡＤＣ５６の信号に基づき、温度依存性抵抗ヒータ１１の温度を設定温度に近づけるようにＰＷＭ信号のデューティ比を新たに設定する。 （もっと読む）

【課題】透明導電膜の抵抗値の経時変化にかかわらず、光学部品の十分な防曇効果を達成する。
【解決手段】光を反射または透過する光学部品Ｘの表面を被覆する透明導電膜２と、該透明導電膜２の抵抗値を検出する抵抗値検出部５と、透明導電膜２の電気的な温度特性を記憶する特性記憶部４と、特性記憶部４に記憶された電気的な温度特性と、抵抗値検出部５により検出された抵抗値とに基づいて透明導電膜２に供給する電源を制御する制御部７と、特性記憶部４に記憶された透明導電膜２の温度特性を更新する温度特性更新部８とを備える光学部品Ｘの防曇システム１を提供する。 （もっと読む）

【課題】比較的高価な部品であるフォトカプラを使用しないで、市販の安価な部品である通常型のダイオードを使用した低価格のヒータ異常検知回路を提供する。
【解決手段】ヒータ異常検知回路１は、交流電源１０からヒータ２０に供給される電力をオンオフするヒータスイッチ２２と交流電源１０との間に接続されて極性が互いに逆になるように並列接続された二つの通常型のダイオード３０，４０と、ヒータスイッチ２２をオンオフ制御するとともにダイオード３０，４０に印加された直流定電圧Ｖｃｃがダイオード３０，４０のヒータスイッチ接続側から出力された順方向電圧を抵抗６０，７０で分圧した検出電圧Ｖａに基づいてヒータ２０の異常，正常を判断するマイコン５０とを備えることである。 （もっと読む）

【課題】負荷電流の制御を行う電流制御手段で消費される損失が絶対定格値を超えないようにする。
【解決手段】車載バッテリと直列に電界効果トランジスタＦＥＴとヒータとを直列に接続した電力制御装置において、ヒータに流れる電流ＩＤをＦＥＴ（素子電圧＝ＶＦＥＴ）により漸増する場合、ＦＥＴの損失ＷＤ＝ＩＤ×ＶＦＥＴが定格値である許容損失ＰＤを超えないように、ヒータ電圧ＶＨが第１の電圧Ｖ１に達したら、それよりも大きい第２の電圧Ｖ２へ段階的に増加させ、その後再びＶＨを漸増させる。また、ＩＤの漸減時も、ＶＨをＶ２からＶ１へ段階的に減少させる。これにより、ＦＥＴの損失ＷＤがＰＤを上回ることなく、ヒータの電力を徐々に増加、または減少させることができる。 （もっと読む）

【課題】 温度変化に応じて抵抗値が大きく変化するヒータを並列接続しても、ヒータの断線を確実に検知できるようにする。
【解決手段】 事前にヒータＨＩ〜Ｈ３を常温の加熱開始点から最大加熱点まで加熱制御し、その間を所定のタイミングでヒータＨ１〜Ｈ３の電流値を取得する。加熱開始点から最大加熱点を結んだ直線的基準特性に対する事前加熱制御時の各電流値の偏差のうち最大偏差点を変曲点として求める。その加熱開始点から変曲点を経て最大加熱点へ至る「く」字状の直線的特性を検知基準特性として求める。この検知基準特性に許容範囲を設け、実際にヒータＨＩ〜Ｈ３を加熱制御したときの電流値が許容範囲を超えるとき、ヒータＨ１〜Ｈ３の何れかが断線したと検知する。 （もっと読む）

表面を加熱するヒーター・システム及び関連する方法を本発明により提供する。本発明は、一実施例では、加熱面を形成する表面と、加熱面に接して設けた積層ヒーターとを含んでいる。また、加熱面に沿って複数接続点が配置され、該接続点が、複数リード線に接続されているのに加えて、積層ヒーターの抵抗発熱層と電気接触している。一実施例では、複数リード線を介してマルチプレクサが複数接続点と接続され、制御装置がマルチプレクサと接続されている。その場合、マルチプレクサは、抵抗を複数接続点から制御装置へ順序付けて伝送し、制御装置は、接続点間の抵抗差に基づいて複数接続点の各々へ供給される電力量を制御する。
（もっと読む）