【課題】本発明は、主に半導体ウェーハ処理装置に用いるための加熱装置に関する。
【解決手段】バッチ加熱／ウェーハ処理に用いるための加熱処理装置が提供され、ウェーハボートを受けるためのプロセスチャンバと、少なくとも１つの加熱ゾーン用の電気加熱回路を形成するように構成され、連続オーバーコート層内に封入された基板本体を含む少なくとも１つの加熱素子と、ウェーハボート内のウェーハを加熱するために少なくとも１℃／秒の温度変化率を有する加熱素子上に配置された熱反射面を含む熱リフレクタとを備える。 （もっと読む）

【課題】 半導体チップを搭載し、加熱するヒータの発熱量を大きくすることができ、かつ短時間で加熱、冷却しても破損しない加熱冷却モジュールを提供する。
【解決手段】 本発明の加熱冷却モジュールは、被処理物を搭載し加熱するためのセラミックスヒータと、該セラミックスヒータを冷却するための冷却機構と、前記セラミックスヒータと冷却機構との間に支持体を有する加熱冷却モジュールにおいて、前記セラミックスヒータが、内部に１層以上の発熱体層を有する窒化アルミニウムヒータであることを特徴とする。セラミックスヒータと支持体との間に介在層を有することが望ましい。また、支持体と冷却機構との間に介在層を有することが望ましい。 （もっと読む）

【課題】 導電性、密着性、耐屈曲性に優れ、低比抵抗にもかかわらず優れたＰＴＣ特性を発揮する導電性ペーストを提供する。
【解決手段】 貴金属で表面コートした無機微粒子（Ａ）及び有機樹脂（Ｂ）を含み、かつそのＦ値が２５％〜６０％である導電性ペーストに関する。好ましくは貴金属で表面コートした無機微粒子（Ａ）の形状がフレーク状である上記の導電性ペーストに関する。またこれを用いた印刷回路および面状発熱体に関する。 （もっと読む）

【課題】定着ヒータの全長より小さいサイズを通紙する場合、通紙部のみを定着に必要な温度になるよう均一に発熱させ、通紙部以外の部分での異常発熱は防ぎながらも、グリースによるローラの潤滑性を阻害させないようにする。
【解決手段】耐熱・絶縁性の材料で形成された絶縁基板１１上に、比抵抗の大きい発熱抵抗体１２，１３の両端に、発熱抵抗体１１，１２の比抵抗より小さく発熱抵抗体１２１，１２２と１３１，１３２を直列接続して形成する。直列接続された１２１，１２，１２２と直列接続された１３１，１３，１３２に対し電極１４，１５から電力を供給する。これにより、各発熱抵抗体は発熱を始めるが、通紙部以外の発熱抵抗体１２１，１２２，１３１，１３２の比抵抗を発熱抵抗体１２，１３の比抵抗より小さくしたことで、発熱抵抗体１２１，１２２，１３１，１３２の異常昇温を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 温度上昇による電気抵抗値の変化率が低い面状発熱体を与えることができる、導電性組成物、導電性塗料、前記導電性組成物を有してなる適度な電気抵抗値と導電性とを有する導電性繊維材料、及びその製造方法を提供すること。また高電圧を付加する場合でも、過不足のない適度な発熱性を有する面状発熱体を提供すること。
【解決手段】 ポリウレタンと、ジブチルフタレート吸油量が１００〜２５０ｍｌ／１００ｇのカーボンブラック及びジブチルフタレート吸油量が２５０ｍｌ／１００ｇを超えるカーボンブラックからなるカーボンブラック混合物と、１次平均粒子径が１〜２０μｍのタルクと、からなる導電性組成物。更に溶媒を含有してなる導電性塗料。前記導電性組成物を、繊維材料に被覆してなることを特徴とする導電性繊維材料。前記導電性繊維材料を有してなることを特徴とする面状発熱体。 （もっと読む）

【課題】可撓性部材が接触しつつ移動するガラスコート層を有する加熱体について熱効率の向上と摺動性の確保を両立できるようにする。
【解決手段】被加熱材Ｐを可撓性部材２を介して加熱する加熱装置１０７に用いられる加熱体であって、基板と、前記基板の基板面上に形成された発熱体と、前記基板７面上に形成され前記可撓性部材が接触しつつ移動するガラスコート層８の熱伝導率が２Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、前記ガラスコート層の表面粗さが十点平均粗さＲｚで０．７μｍ以上１．４μｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】基板補強部材を用い、かつ基板補強部材の使用を効率的に行うことでコストダウンを達成し、かつ、本体ＣＰＵ暴走等の緊急時の安全性と非通紙部昇温の抑止を達成した、長手方向に発熱分布が異なる加熱体を提供する。
【解決手段】一方向に延在した細長形状の基板３０と、基板３０の片面側に設けられ、基板３０の長手方向に沿って配置された複数本の発熱体３１、３２と、複数本の発熱体３１、３２の少なくとも１本の発熱体は、長手方向の単位長さ当たりの発熱量が異なる発熱領域を有する加熱体２３において、基板３０の片面側に設けられた発熱体３１、３２の高発熱領域に対応した基板３０の他方面側に基板補強部材３８、３９を設ける。 （もっと読む）

【課題】電熱膜の酸化に対する抵抗が強く、寿命の長い新しい構造と性能を持つ石英電熱管を提供する。
【解決手段】内壁表面に１層の電熱膜が塗布により設けられた管本体と、管本体の両端部にそれぞれ取り付けられ、管本体を密封するプラグと、各プラグに取り付けられ、電熱膜と電気的に接続された２つの電極と、管本体を排気した後、封入された不活性ガスとを含み、この不活性ガスにより、電熱膜を外部の空気から隔離し、その酸化を防止して、耐久性を改良した石英電熱管を提供する。 （もっと読む）

【課題】炭素ナノチューブを利用した発熱体の提供を目的とする。
【解決手段】上記課題を達成するため、耐熱性を有する耐熱基材と、耐熱基材の少なくとも一面に形成される炭素ナノチューブ（ＣＮＴ、Ｃａｒｂｏｎ Ｎａｎｏ ｔｕｂｅ）コーティング層と、炭素ナノチューブコーティング層に電気的に接続され、電源に接続するときに前記炭素ナノチューブコーティング層の発熱を誘導する１対の電極と、を含むことを特徴とする発熱体を採用する。本発明によれば、耐熱基材に、炭素ナノチューブをコーティングする簡単な製造工程の採用が可能で、全体的な製造時間の短縮化ができ、製品形状及び寸法の変更が容易でに行え、従来の材質の発熱体に比べ、発熱効率が優れるものとなる。 （もっと読む）

本発明は、電気エネルギーを熱に変換する少なくとも１つの加熱導体（４、４′）及び加熱導体（４、４′）の耐熱性の担体（５、５′）を含んで構成され、空気流（Ｌ）中に配置して少なくとも１つの空気流路（１４、１４′、１４″）を備えた加熱抵抗（３、３′）を配置した熱風装置の加熱素子（１）であって、加熱素子（１）は完全にセラミック製であり、担体（５、５′）は絶縁性セラミック製で加熱導体（４、４′）は導電性セラミック製であり、担体（５、５′）及び加熱導体（４、４′）のセラミックは互いに強固に結合していることを特徴とする。
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【課題】 窒化アルミニウム焼結体の粒界強度の低下を極力防ぐことにより、パーティクルの発生の少ない、すなわち発塵性の少ないサセプタを提供する
【解決手段】 本発明の窒化アルミニウム焼結体は、含有するゲルマニウムとイオウの量を一定値以下に制御する。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする窒化アルミニウム焼結体において、窒化アルミニウム焼結体中のゲルマニウムの含有量が１００ｐｐｍ以下であり、かつイオウの含有量が２００ｐｐｍ以下であることを特徴とする。前記窒化アルミニウム焼結体に、抵抗発熱体が形成されていることが好ましく、半導体加熱用部品として使用されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】金属基材の表面に絶縁耐力が大きく安定な絶縁層と、剥がれることのない発熱層とを設けた発熱体を提供する。
【解決手段】金属基材の表面をアルマイト処理し、金属基材の表面にフッ素樹脂を塗布して焼成し、フッ素樹脂の表面をエッチングまたは化学処理し、フッ素樹脂の表面に導電体からなる発熱層を形成する。 （もっと読む）

【課題】加熱ヒータのオーバーコート層表面の平滑性を向上させ、定着不良の発生を抑える。
【解決手段】窒化アルミニウム等高熱伝導特性を有する長尺平板状の絶縁基板１１の一面に、銀・パラジウム等の通電により発熱が得られる発熱抵抗体１２１，１２２と電力を供給させるための銀、銀白金等の単位面積当たりの抵抗値が低く通電しても大きな発熱現象が起こりにくい給電用の下層の電極１４１，１５１とこの上に上層の電極１４２，１５２を絶縁基板１１に形成する。電極１４１，１５１に一端がそれぞれ一体形成された下層の接続導体１６１，１７１を形成し、電極１４２，１５２に一端がそれぞれ一体形成された上層の接続導体１６２，１７２を形成する。接続導体１６１，１７１は発熱抵抗体１２１，１２２とにギャップを置く。上層の接続導体１６２，１７２はギャップ間も埋める形で発熱抵抗体１２１，１２２上の一部にも形成する。 （もっと読む）

【課題】 ウェハ支持部材の温度がばらつき、必要な均熱性や温度応答性が得られないという課題があった。
【解決手段】 厚みが２〜５ｍｍで１００〜２００℃のヤング率が２００〜４５０ＭＰａである板状セラミックス体の一方の主面にＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、ＰｔおよびＲｈの少なくとも一種の金属粒子とガラスと金属酸化物とからなる抵抗発熱体を備え、他方の主面にウェハ加熱面を備えたウェハ支持部材であって、前記抵抗発熱体に電力を供給する給電部と、該給電部を囲む金属ケースとを有し、該金属ケースの開口部の外周に接触部材を介して前記板状セラミックス体の周辺部を接続してあり、前記板状セラミックス体の外周部に位置する前記抵抗発熱体は同心円状の円弧状パターンを有し、前記抵抗発熱体の外接円の直径を前記板状セラミックス体の直径の９２〜９５％とする。 （もっと読む）

【課題】 周囲を暖める立ち上がり速度が速く、即ち、短時間の中に温度上昇が得られ、かつ、エネルギー効率が高く、しかもハロゲンランプや赤外線ランプの如くに周囲を明るくし過ぎることが無い暖房装置を提供することである。
【解決手段】 セラミック製のハニカム体と、
前記ハニカム体の両端面に設けられた導電性塗膜Ｘと、
前記導電性塗膜Ｘと電気的に接続されて前記ハニカム体の孔内面に設けられてなる導電性塗膜Ｙと、
前記ハニカム体の孔に向かって送風する送風手段
とを具備する温風装置。 （もっと読む）

【課題】 被処理物保持面の加工が安価で部品コストの低減を図ることができ、且つ被処理物保持面における均熱均熱性に優れ、必要に応じて急速昇温及び急速冷却が可能な半導体製造装置用の保持体を提供する。
【解決手段】 抵抗発熱体７を有する板状でＡｌＮ等からなるセラミックスヒータ５の上に、被処理物９を保持するＡｌ等からなる金属製保持部１０を備えている。金属製保持部１０内には、冷却媒体が中央付近から放射状に移動し、外周縁に排気されるように流路１２が形成されている。この保持体１０は、コータデベロッパでのフォトリソグラフィー用樹脂の加熱硬化又は半導体絶縁膜の加熱焼成に用いられる。 （もっと読む）

【課題】 ウェハ支持部材の温度がばらつき、必要な均熱性や温度応答性が得られないという課題があった。
【解決手段】 本発明によれば、板状セラミックス体の一方の主面に複数の抵抗発熱体ゾーンを備え、他方の主面にウェハを載せる載置面を備えたウェハ支持部材であって、前記抵抗発熱体ゾーンの抵抗発熱体に独立して電力を供給する給電部と、該給電部を囲む金属ケースとからなり、中心部に円形の抵抗発熱体ゾーンと、その外側に同心円の３つの円環内に抵抗発熱体ゾーンを備える。 （もっと読む）

【課題】ヒータに必要な剛性を確保しつつ、ヒータ全体の熱容量を低減して、消費電力を低減することができるヒータ、また、低消費電力で、ウォーミングアップ時間の短縮化を図ることができる定着装置、さらに、この定着装置を備える画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のヒータ９３は、通電により発熱する帯状または板状をなす発熱体９３Ａと、発熱体９３Ａ上に形成された絶縁層９３Ｂとを有し、発熱体９３Ａは、絶縁層９３Ｂを介して複数積層されてなる。本発明において、複数の発熱体９３Ａは、直列に接続されているのが好ましく、複数の発熱体９３Ａは、一体的に形成された１つの帯状部材で構成され、この帯状部材を折り畳むようにして積層されているのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】断線がなく、電気抵抗値の調整が容易でかつ、蓄熱効果もある、安価で安全なセラミック発熱体、およびそれを利用した融雪屋根瓦を提供する。
【解決手段】粘土素地を混練、脱気した後、焼成して所定形状の素焼き基板を生成し、この素焼き基板上に、所定の周回パターンを描くようにマスキング剤を塗着してから、その表面全体に炭素質膜を形成し、その後、マスキング剤を塗着した部分の炭素質膜をマスキング剤とともにエッチングして、少なくとも１以上の孤立した炭素質膜セグメントを素焼き基板上に形成し、最後に、それらの孤立した炭素質膜セグメントを通電路で接続した構造にしている。 （もっと読む）

【課題】電気カーペット等の面状発熱体に関するもので、廃棄時に、容易に第一の発熱体を取り外せる面状発熱体を提供することで、リサイクルを促進する。
【解決手段】面状発熱体は、第一の発熱体１の近傍に、表布２を溶融するための第二の発熱体を設け、リサイクル時に容易に第一の発熱体を取り外せるように構成することで、第一の発熱体をリサイクルできるとともに、表布２と断熱材３をサーマルリサイクルしても、ダイオキシンの発生の無い面状採暖具を提供することができるようになる。 （もっと読む）