【課題】 パーティクルの発生を極力低減させることができ、特にウエハのフォトリソグラフィー工程に使用されるコータデベロッパー等に特に好適に使用することができる、ウエハ加熱用ホットプレートを提供する。
【解決手段】 ウエハ加熱用ホットプレートは、セラミックスと半導体及び／又は金属との複合体１からなる。また、複合体１との間に絶縁層３を介して、金属箔をパターニングした発熱体２を有すると共に、可動式の冷却モジュール５を備えることができる。複合体１の材質としては、Ｓｉ−ＳｉＣ、Ａｌ−ＳｉＣ、Ａｌ−ＡｌＮのいずれかが好ましい。また、複合体１の熱伝導率は１５０Ｗ／ｍＫ以上、熱膨張係数は１２×１０^−６／Ｋ以下であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】電気伝導性層を含む積層構造のフィルム又はシートの形をした新しい電気発熱体を提供すること。
【解決手段】本発明の発熱体は、新しい発熱体（８）であって、少なくとも一つの基材（１）と、融解温度が当該発熱体の動作温度より高くそして当該基材へ薄い層として付着させることができる少なくとも１種のポリマーの分散液、溶液又は粉体から得られた結合剤（３）により当該基材へ付着している少なくとも一つの電気抵抗層（４）とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高温で連続使用が可能で、極めて均一な発熱領域を有し、発熱層および絶縁層が強固に一体化されたフレキシブルな面状発熱体及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る面状発熱体は、発熱層、電極、および絶縁層を積層してなる。発熱層では、ポリイミドからなるマトリックス樹脂中にカーボンナノ材料及びフィラメント状金属微粒子からなる導電性物質が実質的に均一に分散されて存在している。電極は、発熱層に電力を供給するためのものである。絶縁層は、発熱層および電極を被覆する。 （もっと読む）

【課題】着座時の衝撃を吸収し、かつ長時間快適に着座でき、しかも便座の暖房に無駄な電力を使用しない快適で省エネ性の高い便座装置を提供することを目的とする。
【解決手段】便器１０上面に装着される便座７において、少なくとも一部に使用者の体形に沿うように変形する弾性体層１３を備え、便座６内に面状便座ヒータ１２を設置することにより、便座６を暖房する面状便座ヒータ１２が使用者の臀部に違和感を与えることがなく、長時間快適に着座できるとともに面状便座ヒータの電力消費を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 Ａｕ、ＡｇやＰｔのような金属の単体を発熱抵抗体として使用したウエハ加熱装置は、発熱抵抗体の抵抗温度係数が４０００／℃以上と大きいため、ウエハ交換や設定温度変更のために急速昇温させようとした際、温度調節がうまくできずウエハの温度バラツキを低減できないという課題があった。
【解決手段】 ウエハ加熱装置の均熱板上に形成する発熱抵抗体の一部の抵抗値を小さくすることによって前記発熱抵抗体の抵抗値分布を調製する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造工程でウエハを処理する高温域においてウエハ載置面の平面度を高め、加熱処理時におけるウエハ表面の均熱性を高めた半導体製造装置用セラミックスヒーターを提供する。
【解決手段】 セラミックス基板２ａ、２ｂの表面又は内部に抵抗発熱体３を有する半導体製造装置用セラミックスヒーター１であって、非加熱時（常温）のウエハ載置面の反り形状が０.００１〜０.７ｍｍ／３００ｍｍの凹状である。セラミックスヒーター１は、セラミックス基板２ａ、２ｂの表面又は内部に、更にプラズマ電極が配置されていても良い。また、セラミックス基板２ａ、２ｂは、窒化アルミニウム、窒化珪素、酸窒化アルミニウム、炭化珪素から選ばれた少なくとも１種が好ましい。 （もっと読む）

【課題】 高温で熱効率の向上した発熱塗料及び発熱素子を得る。
【解決手段】 粉砕した竹炭と菜種油、重油等のすすからなるファインカーボンとの混合物に、灯油等の油成分と植物性のニスを加えて発熱塗料とし、これをセラミックス板上に塗布して発熱素子とする。また、セラミックの筒体１０内に竹炭のカーボンとファインカーボンとを充填してその両端部を電極端子１１で閉塞して発熱素子とする。 （もっと読む）

【課題】 ヒータについて温度の均一性を向上させることができ、特に加熱保持中はもちろんのこと、加熱開始から冷却終了までの間においても、ヒータ温度の高い均一性が得られる半導体加熱ヒータ用容器を提供する。
【解決手段】 開口部にヒータ２を設置する半導体加熱ヒータ用の容器１であって、容器１の構成部材の表面粗さがＲａで１０μｍ以下、好ましくはＲａで５μｍ以下である。この容器１は、ヒータ２と共に、冷却モジュール４を具備することができ、冷却モジュール４は流体が流通可能であることが好ましい。また、ヒータ２は、窒化アルミニウム、窒化珪素、炭化珪素、酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウムのいずれかを主成分とするセラミックスヒータが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 冷却開始から冷却終了までの間の温度分布をより均一にできるセラミックスヒータを提供する。また、ヒータの冷却に用いる冷却モジュールについて、使用時に流体の漏れが起こさず、長期間使用しても冷却能力が低下せずに性能を維持でき、併せて製造コストの低減を図る。
【解決手段】 セラミックス製の加熱体と加熱体を冷却する冷却モジュール３とを具備するセラミックスヒータであり、冷却モジュール３が板状構造物４に形成した溝にパイプ７を配置した構造となっている。その溝の深さをパイプ７の外周半径以上とすること、あるいは溝の幅とパイプ７の外径との差を０.２〜１.０ｍｍとすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】自己制御温度域は低温域であるが、高温域に曝されても耐える大きな正抵抗温度特性を示す抵抗体を形成する。
【解決手段】抵抗体は、最高環境温度よりも高温域に融点を持つ第１の結晶性重合体と正抵抗温度特性による自己制御温度近傍に融点を持つ第２の結晶性重合体を併用し、前記結晶性重合体に親和性補強処理がなされた導電性微粉末を分散して形成する。これにより抵抗体は、導電性微粉末に親和性補強処理を施すことによって、融点の異なる結晶性重合体を併用したときの正抵抗温度特性の低下を解消するもので、自己制御温度域で大きな正抵抗温度特性を示すとともに、より高温の環境温度に耐える正抵抗温度特性抵抗体を構成できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、面状発熱体の発熱部の分割して、高分子抵抗体が覆い被さる部分の電極を流れる電流を小さくし、安全性を向上することを目的とする。
【解決手段】本発明の面状発熱体１は、主電極３ａ、３ｂあるいは副電極３ｅ、３ｆから異極で相対する相手側に向かって交互に導出した複数の櫛形形状の枝電極３ｇ、３ｈを配設し、前記枝電極３ｇ、３ｈを覆うように高分子抵抗体４を設けて、発熱部分を分割して形成してあるので、必ず高分子抵抗体４が覆い被さる部分である枝電極３ｇ、３ｈを流れる電流が、発熱部分を分割した分だけ下がり、何らかの原因によって、枝電極３ｇ、３ｈの一部が断線しても、その部分で発熱して発煙・発火するという心配が軽減される。 （もっと読む）

【課題】 冷却中、特に急速冷却中の被加熱物の均熱精度をさらに改善ヒータユニットを提供する。
【解決手段】 本発明のヒータユニットは、被加熱物を搭載して加熱処理するためのヒータ基板と、該ヒータ基板を冷却するための冷却モジュールを備えたヒータユニットにおいて、前記ヒータ基板と冷却モジュールの間に介在物を配置することで、介在物の変形能を利用して、介在物が配置されない場合に比べて非接触部分の割合を少なくすることができ、冷却時のヒータ基板の温度均一性を向上させることをできる （もっと読む）

【課題】本発明は、柔軟・伸縮性と難燃性を有する信頼性の高い発熱体を提供することを目的としている。
【解決手段】反応性樹脂を用いてその反応生成物によりバリアー性を確保した難燃性バリアーフィルムを難燃性ベース不織布、難燃性カバー不織布に設けた構成とする。これにより、柔軟・伸縮性と難燃性と高い信頼性が確保できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、面状発熱体に柔軟性を有する電気絶縁性基材を用いながら、電気絶縁性基材に伸縮性を制限する手段を付与することにより、ものづくりをしやすくするとともに、形状を安定させて面状発熱体の性能・品質性能を向上させることにある。
【解決手段】柔軟性を有する電気絶縁性基材１２に前記電極及び高分子抵抗体１４のスクリーン印刷方向と同一方向の伸縮性を制限する手段、あるいは、ロール状の電気絶縁性基材１２に該ロール方向と同一方向の伸縮性を制限する手段を有する保護層を配設してあるので、電気絶縁性基材１２は柔軟性を有する素材を用いることができるようになり、柔軟性を保持しつつ、ものづくり性を向上することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】 ガス経路毎の噴出口から噴出されるガス噴出量を均一にし、反応膜の堆積を低減する加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１００は、ガス噴出口１２ｈが形成された基板加熱面１０ａと、ガスが供給されるガス供給口１８とを有し、抵抗発熱体１１が埋設されたセラミックスを含む材料によって構成される基体１０と、ガス供給口１８からガス噴出口１２ｈまで連通し、基体１０内に形成されたガス経路１２と、ガス経路１２の断面積を可変とする調整部とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、柔軟・伸縮性を有するとともに信頼性の高い発熱体を提供する。
【解決手段】柔軟性を有するベース不織布２と、ベース不織布２に貼り合わされた柔軟・伸縮性を有するバリアー性ベースフィルム５と、バリアー性ベースフィルム５上に形成された電極８と、電極８により給電される高分子抵抗体９と、柔軟性を有するカバー不織布１３と、柔軟・伸縮性を有し、カバー不織布１３に貼り合わされ、電極８、高分子抵抗体９、及びバリアー性ベースフィルム５と接着性を有するバリアー性カバーフィルム１０と、電極８及び高分子抵抗体９をバリアー性ベースフィルムとバリアー性カバーフィルム間に熱融着より密封され、前記バリアー性ベースフィルムが、少なくとも２層の積層フィルムよりなり、前記ベース不織布側に配置されたフィルムＡの成分である樹脂Ａと、印刷面のフィルムＢ中の成分である樹脂Ｂとが反応性を有する組合せとしてなる発熱体。 （もっと読む）

【課題】急速昇温時や高温環境下でも優れた耐久性を有するセラミックヒータおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】セラミック絶縁層１中に、発熱部２ａと、該発熱部２ａに電流を供給するためのリード部２ｂと、発熱部２ａとリード部２ｂが接合された接合部２ｃとを有し、接合部２ｃは、その両端部に隣接する発熱部２ａおよびリード部２ｂよりも厚み方向の両側に突出した形状を有している。また、セラミックグリーンシートで構成される積層体の内部で、かつ、該積層体の厚み方向の中央よりも積層体の一方の主面側の位置に、発熱部用の導体パターンとリード部用の導体パターンを、これらの導体パターンの端部同士が重なるように形成し、積層体の両側の主面に緩衝層を配置した状態で、積層体を押圧する工程を備えている。 （もっと読む）

【課題】 低コストかつ簡単な構成で装置のスペックを低下させることなく非通紙部昇温を防止することができ、より信頼性の高い加熱装置及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 基板と、基板上に形成された負の抵抗温度特性を有する抵抗発熱体と、抵抗発熱体に給電する電極とからなる加熱体によって被加熱材を加熱する加熱装置において、抵抗発熱体を長手方向において3個以上の部分に分割し、分割した抵抗発熱体の各ブロックは被加熱材搬送方向に電流が流れるように給電され、かつ分割した抵抗発熱体の各ブロックは電気的に直列に接続する。抵抗発熱体の加熱面から見た形状は長方形、もしくは平行四辺形と台形とする。各ブロック間の隙間近傍で抵抗発熱体の抵抗を高くして、隙間部分の発熱量低下を補う構成をとってもよい。 （もっと読む）

【課題】 板状セラミックス体に抵抗発熱体を備えたウエハ支持部材の載置面における温度バラツキを抑える。
【解決手段】 板厚が１〜７ｍｍ、１００〜２００℃のヤング率が２００〜４５０ＭＰａである板状セラミック体２の一方の主面側を、ウエハを載せる載置面３とするとともに、上記板状セラミック体２の下面に帯状抵抗発熱体５を有するウエハ支持部材１において、上記帯状抵抗発熱体５の厚みを５〜７０μｍとし、かつ上記板状セラミック体２の一方の主面に平行な投影面で見て、上記帯状抵抗発熱体５を囲む外接円Ｐ１の面積に対し、上記外接円Ｐ１内に占める帯状抵抗発熱体５の面積の比率が５〜５０％となるようにする。 （もっと読む）

【解決手段】本発明ではヒーター全面に均等に熱を発生させることができるように設計されたプレート型ヒーターが提供される。かかるプレート型ヒーターは、相互に接合された第１外側カバーおよび第１中間層を含む上側要素と、相互に接合された第２外側カバーおよび第２中間層を含む下側要素とを有して成る。また、かかるプレート型ヒーターでは、上側要素と下側要素との間に加熱要素が設けられており、かかる加熱要素の２つの端部面上に配線が積層されている。
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