【課題】 ＡｌＮ基板の熱伝導の良さを最大限に生かした発熱面積のより大きな加熱体とその製造方法を提供する。
【解決手段】ＡｌＮ基板１と、上記ＡｌＮ基板１の表面もしくは裏面に、上記ＡｌＮ基板１の長手方向に沿って帯状に延びるように形成された発熱抵抗体３と、上記発熱抵抗体３を覆うように形成された保護膜とを有する加熱体であって、上記保護膜は、少なくとも発熱抵抗体をその土台の一部として覆う第１保護膜４ａと、この第１保護膜４ａを覆う第２保護膜４ｂとを有しており、上記ＡｌＮ基板１の表面および裏面に形成される酸化膜２の厚みがいずれも上記ＡｌＮ基板１の厚みの２％以内であり、上記発熱抵抗体３および上記第１保護膜４ａがいずれもポーラスな膜に形成されており、上記第２保護膜４ｂは非ポーラスな膜に形成されている。 （もっと読む）

【課題】耐久性、安全性、耐薬品性の高い高分子発熱体及び該発熱体の製造方法を提供する。
【解決手段】ベース側樹脂フィルム２とカバー側樹脂フィルム５に狭持してなる一対の電極３と、該一対の電極間に形成された高分子抵抗体４とを備え、前記ベース側樹脂フィルム２及び／または前記カバー側樹脂フィルム５が、熱可塑性ポリエステルを含む樹脂成分からなることを特徴とする高分子発熱体１。前記ベース側樹脂フィルム２及び／または前記カバー側樹脂フィルム５が、異なる二種以上の多層構造体からなる。 （もっと読む）

【課題】 軽くて持ち運びが簡単で場所を取らない、携帯用の調理シートであり、食べ物をにたり、飲み物を沸かしたり出来るようにする。
【解決手段】 発熱膜と、前記発熱膜を保護する保護膜とで構成された発熱シートであって、前記発熱シートに電圧を印加する電圧印加手段としての電池を備えている。 （もっと読む）

【課題】給電部材が発熱した場合に周辺部材の損傷を軽減することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１００は、電圧が印加される抵抗発熱体２２及び高周波電極２１と、これらの抵抗発熱体２２及び高周波電極２１に電力を供給する抵抗発熱体用給電部材１６及び高周波電極用給電部材１１と、これらの給電部材１１，１６の周囲に近接して配置された周辺部材１４と、給電部材１１，１６と周辺部材１４との間に配置され、少なくとも２５０℃よりも高い温度に対する耐熱性を有する断熱材１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 被処理物を保持する面を有するセラミックスヒータの被処理物保持面の均熱性を高めたセラミックスヒータおよびそれを搭載した半導体あるいは液晶製造装置を提供する。
【解決手段】 被処理物を保持する面を有するセラミックスヒータにおいて、抵抗発熱体が前記保持面以外の表面又は内部の一面に形成され、該抵抗発熱体に給電するためのリード回路を、前記抵抗発熱体が形成された面とは別の面に形成すれば、セラミックスヒータの均熱性を高め、被処理物表面の温度分布を均熱化することができる。 （もっと読む）

【課題】セラミックヒーターにおけるリード部材の接合部の冷熱サイクルに対する耐久性を向上させ、長期間にわたり使用できるセラミックヒーター及びこれを用いた加熱用こてを提供する。
【解決手段】発熱抵抗体２と該発熱抵抗体２に接続する引き出しパターン３を埋設したセラミック体１と、該セラミック体１に形成されたスルーホール４と、該スルーホール４の少なくとも内周に形成されたスルーホール導体層５と、セラミック体１表面にスルーホール導体層５と接続された電極パッドパターン６を有し、少なくとも上記電極パッドパターン６にリード部材７を接続してなり、導体層５と引き出しパターン３の間に金属材料９が充填されている。 （もっと読む）

【課題】摺動性を阻害させることなく良好な定着性が得られるとともに、装置の耐久性を向上させたセラミックヒータを実現する。
【解決手段】窒化アルミニウム等高熱伝導特性を有する長尺平板状の絶縁基板１１の一面に、銀・パラジウム等の通電により発熱が得られる発熱抵抗体１２１，１２２と電力を供給させるための銀、銀白金等の単位面積当たりの抵抗値が低く通電しても大きな発熱現象が起こりにくい給電用の電極部１４，１５を形成する。発熱抵抗体１２１，１２２上には、これらを覆うガラス等で、電気的、機械的、化学的な保護を行うオーバーコート層１８を形成する。発熱抵抗体１２１，１２２が形成された絶縁基板１１の反対面にはポリイミド、ポリイソイミド、ポリアミドイミド等イミド系樹脂にフィラーを含有させ、このフィラーの含有量を絶縁基板１１から表面に向かって漸次低くなり、その表面を摺動面とした樹脂皮膜層２１を形成する。 （もっと読む）

【課題】押出性に優れた押出成形用坏土を製造する方法を提供すること。
【解決手段】セラミック原料粉末成分と水系バインダ成分とを含む配合物を形成する配合工程と、密封かつ冷却可能な混練容器２を有する混練機１を用い、前記配合物を前記混練容器２内で密封かつ冷却しながら混練して押出成形用坏土とする坏土調製工程と、冷却可能な押出成形機１０を用い、前記押出成形用坏土を冷却しながら押出す押出工程とを有するもの。 （もっと読む）

【課題】本発明は、暖房、加熱、乾燥などの熱源として用いることのできる面状発熱体において、折り曲げに対する耐久性等の信頼性を向上することを目的とする。
【解決手段】面状発熱体１の一部に折り曲げ部７を設けるとともに、上記折り曲げ部７の電気絶縁性基材上に形成される電極３は他の部分より幅を広く形成してあるので、折り曲げ部７を規定し、折り曲げに対する耐久性等の信頼性を向上することができるようになり、面状発熱体１を収納時などにコンパクトに折りたためることができ、使い勝手が大幅に向上するようになる。 （もっと読む）

本発明は、層加熱板素子に関する。より具体的には、本発明は、コネクタ（９、１０）を用いて電圧を印加することにより加熱可能な導電性コーティング（３）と、コーティングから電気的に絶縁され、少なくとも１つの特定の電気コネクタ（５Ｅ）を設けられる少なくとも１つの導電性部分面（５、５Ｔ）とを保持する少なくとも１つの剛体板ガラス（２）、特に窓ガラスを有する、板素子（１）に関する。本発明によると、部分面（５、５Ｔ）は、接地電位との接続のために設けられる。
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【課題】 ウェハ搭載面を有するウェハ保持体のウェハ保持面の均熱性を高めた半導体製造用ウェハ保持体およびそれを搭載した半導体製造装置を提供する。
【解決手段】 ウェハ搭載面を有するウェハ保持体のウェハ搭載面に平面部を有する多数の突起が形成され、前記突起の平面部の面積を、１個あたり７０ｍｍ^２以下にすれば、搭載したウェハ表面の温度分布を±１．０％以内にすることができる。更に、前記面積は、３０ｍｍ^２以下であれば温度分布を±０．５％以内にすることができる。また、突起の平面部の総面積を搭載するウェハの面積の４０％以下にすれば、ウェハ脱着時の問題発生を抑制することができるので好ましい。 （もっと読む）

【課題】 窒化アルミニウムメタライズ基板の製造工程の途中において、最終的に得られるメタライズ層の抵抗値を非破壊により簡単に検査できるメタライズ脱脂中間体を提供する。また、このメタライズ脱脂中間体を焼成することにより、抵抗値のバラツキが低減された窒化アルミニウムメタライズ基板を提供する。
【解決手段】 有機化合物を含有するメタライズペースト層を非酸化性雰囲気中にて脱脂して、その全体及び部分的な明度がＪＩＳ Ｚ ８７２１に規定する明度でＮ６以下、好ましくはＮ４以下のメタライズ脱脂中間体を得る。このメタライズ脱脂中間体を非酸化性雰囲気中で焼成することにより、窒化アルミニウムメタライズ基板が得られ、このメタライズ基板は抵抗値のバラツキが小さいためヒータとして好適に使用することができる。 （もっと読む）

【課題】装置の耐久性を向上させることが可能な給電部材及びそれを用いた加熱装置を提供する。
【解決手段】給電部材１００は、給電対象に接続する第１棒状部材１０１と、電源に接続する第２棒状部材１０３と、第１棒状部材１０１と第２棒状部材１０３との間に設けられ、第１棒状部材１０１と第２棒状部材１０３と比較して、軸方向の断面積が小さく、且つ、表面積が大きい熱機能部材１０２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ヒーター全体を均一に加熱することができ、昇温速度を増大させることができるとともに、トナー画像の定着性に優れたヒーターの構造を提供する。
【解決手段】 セラミックヒーター１０は用紙９の表面上に形成されたトナー画像を定着させる。セラミック基板１は、トナー画像が形成された用紙９の一方の表面に対向するように配設される。発熱体２は、用紙９の一方の表面に対向するセラミック基板１の表面と反対側の表面に形成されている。 （もっと読む）

【課題】通風性を有するＰＴＣ面状発熱体、およびこれを備えた車両用シートを提供する。
【解決手段】薄板状のベース部１と、このベース部１に間隔を設けて配設された、負電極３と正電極４とならなる一対の電極と、負電極３と正電極４との間に電気的に接続するように橋架け状に配設されたＰＴＣ抵抗体２、２Ａとを備え、前記一対の電極およびＰＴＣ抵抗体２が配設されていないベース部１において、複数の貫通孔５を形成してＰＴＣ面状発熱体６を構成するとともに、このＰＴＣ面状発熱体６が、乗員が座る着座部３９、乗員の背中を支持する背もたれ部４１のうち、少なくとも一つの部位に設けられる車両用シートの構成とする。 （もっと読む）

【課題】遠赤外線のエネルギー強度及び放射量が多く、機械的及び熱的強度が強く、さらに、使用環境の制限がない遠赤外線ヒーターを提供する。
【解決手段】本遠赤外線ヒーターは、カーボンまたは炭化珪素からなるロッド状の発熱体２と、この発熱体２が気密的に収容された透光性アルミナセラミックス製筒形状の保護管３を備え、この保護管３は肉厚が０．５〜５ｍｍであり、０．４〜６μｍの波長の電磁波の全透過率が８０％以上である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、熱的衝撃による基板破損を防止することができ、基板の熱伝導率が低く抵抗発熱体の発熱量を効果的に定着処理に用いることができ、さらに非通紙部昇温を制御できる面状ヒータを提供することを目的とする。
【解決手段】面状ヒータは、絶縁基板、発熱体、電極、および耐熱絶縁層を備える。絶縁基板は、ポリイミド樹脂から成る。発熱体は、導電性物質が混合分散されたポリイミド樹脂から形成されており、絶縁基板上に設けられる。電極は、発熱体に電力を供給するためのものである。耐熱絶縁層は、絶縁基板と発熱体とを覆うように形成される。 （もっと読む）

電熱手段と、この電熱手段を電源に接続する導電材料の少なくとも１個のバスバー（１１）とを具える車輌用積層グレイジング（１０、３０）を開示する。グレイジング材料の少なくとも２個のプライ（２１、２２）と、これ等のプライ間に延在する中間層材料のプライ（２３）とから、グレイジング（１０、３０）を構成する。この電熱手段は配列するワイヤ（１２）、又は導電コーティング（３１）を有することができる。この導電材料は内部に分散した導電粒子（好適には銀フレーク）を有している重合体材料（好適には熱可塑性材料）である。更にａ）として車輌用積層グレイジング（１０、３０）の製造方法を開示する。この方法はグレイジング（１０、３０）の表面に導電材料を加える際、この導電材料に熱を与える工程を有し、これにより両者間を接着する。また、ｂ）として車輌用積層グレイジング（１０、３０）を製造する装置（７０）を開示する。この装置はグレイジング（１０、３０）の表面に導電材料を分配する手段（７２）と、導電材料が分配される前に、グレイジング（１０、３０）の表面を予熱する手段（７３）とを具える。
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【課題】 抵抗発熱体の配線間距離を最適化することによって、加熱処理時に損傷が発生せず、しかもウエハ表面の均熱性を高めた半導体製造装置用セラミックスヒーターを提供する。
【解決手段】 セラミックス基板２ａ、２ｂの表面又は内部に抵抗発熱体３を有する半導体製造装置用セラミックスヒーター１であって、抵抗発熱体３の互いに隣り合う配線間の距離を０．１〜５ｍｍ、好ましくは１．０〜５ｍｍとする。セラミックスヒーター１は、セラミックス基板２ａ、２ｂの表面又は内部に、更にプラズマ電極が配置されていても良い。また、セラミックス基板２ａ、２ｂは、窒化アルミニウム、窒化珪素、酸窒化アルミニウム、炭化珪素から選ばれた少なくとも１種が好ましい。 （もっと読む）

【課題】優れた均熱性を有するセラミックス部材を提供する。
【解決手段】セラミックス部材１０は、セラミックス焼結体１１と、セラミックス焼結体１１に接して形成された、金属元素を含む金属部材１２とを備える。セラミックス焼結体１１における金属部材１２周辺の変質層１１ａの厚さｔは３００μｍ以下に抑えられている。 （もっと読む）