【課題】セラミックスからなる加熱部材の径方向中央部を径方向外側部よりも低い加熱温度に設定しても、高温加熱時に加熱部材が破損を起こすおそれのない加熱部材及び基板加熱装置を提供する。
【解決手段】被処理物を加熱する加熱面７を有し、セラミックスから形成された板状の基体３を備えた加熱部材において、前記基体３の径方向中央部１１に、常温状態で圧縮残留応力が作用していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】バルブを減圧による封止部を有するハロゲンランプを簡単に耐熱性のベース部材に取り付けるための形状を実現する。
【解決手段】石英バルブ１２内に挿入したタングステンコイル１３の両端に一端をそれぞれ溶接した一対のモリブデン箔１６１，１６２の他端に電力供給用の導入線１７１，１７２をそれぞれ溶接し、モリブデン箔１６１，１６２の上部のバルブ１２を減圧封止により封止部１５１，１５２でハロゲンランプ１１を構成する。封止部１５１，１５２の外周には、雄ネジ１８１，１８２を一体的形成した。 （もっと読む）

【課題】セラミックヒータやホルダにクラックや割れが発生するのを有効に防止し、かつ急速昇温を可能として短時間で半導体ベアチップの電極を配線基板の配線導体に効率よく接合させることができるヒータ装置を提供する。
【解決手段】ホルダと、該ホルダ上に載置されるセラミックヒータと、前記ホルダに取着され前記セラミックヒータをホルダに固定する固定用部材とを備えるヒータ装置であって、前記ホルダの上面は、前記セラミックヒータが載置される複数の載置領域と、前記ホルダとセラミックヒータとが接触しない凹部とを備えており、前記セラミックヒータは、前記固定用部材により、前記凹部の上方に位置するセラミックヒータ表面を、前記複数の載置領域に押圧することによってホルダに固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】様々なサイズの窓ガラスに容易に設置することができ、比較的安価で暖房効率の良い伸縮性窓面ヒーターを提供する。
【解決手段】本発明の伸縮性窓面ヒーターは、伸縮自在の本体ケース内に２本のヒーターが納められ、第一のヒーター１に接続された第一のコード７の外側を、第二のヒーター２に接続された第二のコード（以下、カールコードと称する）８が螺旋状に取り巻き、本体ケースの伸張時には、第一のコード７がカールコード８の螺旋部９から引き出され、本体ケースの収縮時には、カールコード８の螺旋部９が伸びて該螺旋部９に第一のコード７が納められることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 ヒータが加熱されるときの熱の影響を抑え、ヒータの均熱性に優れ、且つ耐久性に優れたヒータ用容器、特にフォトリソグラフィー工程で用いるコータデベロッパなどに好適に使用されるヒータ用容器を提供する。
【解決手段】 半導体を加熱するためのヒータ２を収容支持する容器１であって、ヒータ２を設置する開口部の反対側の底面又は側面に少なくとも一つの貫通孔３を有し、その貫通孔３の直径が容器１の高さよりも小さい。また、各貫通穴３の間の最短距離をＡ（ｍｍ）及び容器１の板厚をＢ（ｍｍ）としたとき、Ａ×Ｂ≧１.０の関係式を満たすことが好ましい。容器１を支持台４に設置するとき、容器１と支持台４の間に容器支持足５により空隙を設けることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】接合時の熱によるセラミックス部材の変形や変質を防止した接合体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】接合体１０は、第１のセラミックス部材１１と、第２のセラミックス部材１２と、軟質金属を含み、その軟質金属の液相線未満の接合温度において熱圧接することにより、第１のセラミックス部材１１及び第２のセラミックス部材１２を接合する接合層１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】過剰電力が投入された時に、ヒーターの抵抗発熱体間でリークが発生することによる熱応力割れの発生を低減する。
【解決手段】ヒーター１００の複数の抵抗発熱体１０２間に空隙Ｓを形成するように各抵抗発熱体を絶縁層１０４によって被覆する。 （もっと読む）

【課題】 窓ガラスの結露防止用ヒータにおいて、各種異なる横幅の窓ガラスへの対応が可能なヒータを提供することを目的とする。
【解決手段】 第１帯板状体２ａと第３帯板状体２ｂとをその左端部において第１主コネクタ部２ｃに固定すると共に右端部において第１従コネクタ部２ｄに固定して形成した第１発熱ユニット２と、第２帯板状体３ａと第４帯板状体３ｂとをその右端部において第２主コネクタ部３ｃに固定すると共に左端部において第２従コネクタ部３ｄに固定して形成した第２発熱ユニット３とからなり、前記第１従コネクタ部２ｄが有する透孔２ｄ１、２ｄ２に前期第２帯板状体３ａと前記第４帯板状体３ｂを摺動自在に挿通すると共に前記第２従コネクタ部３ｄの透し孔にも前記第１帯板状体２ａと第３帯板状体２ｂを摺動自在に挿通して、長手方向の長さの調節が可能なヒータ１を形成した。 （もっと読む）

【課題】一枚当りの重量削減しても変形を有効に防止でき、しかも加熱のための電気容量を低減できる大面積加熱板を用いた加熱装置を提供する。
【解決手段】発熱体２を第一発熱体保持板３及び第二発熱体保持板１で挟持し、更に、第一発熱体保持板側に格子状支持板４を組み付けて保持して大面積加熱板を構成することにより、加熱板の変形を防止するとともに、加熱板の軽量化及び電気容量の低減化を可能とした。保温体で囲まれた保温室内に、この大面積加熱板少なくとも一枚を、大面積加熱板の少なくとも片面側に空間が残されるように取り付けて熱処理装置とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、水などの液体から飽和ガスより加熱された過熱ガスあるいは過熱蒸気等の生成等に用いる加熱器に関し、効率的に液体を蒸発させ、気体とする加熱器を提供する。
【解決手段】内部に発熱源となる加熱体と、その加熱体の周辺に介在させた多孔質材２とを備えた加熱部５８と、加熱部５８の周辺に予熱部５５とを備え、加熱対象物は予熱部５５から加熱された後、加熱部５８で加熱される構造であるので、従来一般的に利用されている安価な加熱体を利用でき低コストとなるばかりでなく、加熱体と最外郭との間に予熱部、多孔質材２が介在し、外部への放熱によるロスが低減する。これにより、小型高効率で安価となる。 （もっと読む）

【課題】この発明は、反射ミラーで覆われた白熱ランプヒータを持つ白熱ランプヒータユニットにおいて、該白熱ランプの発光部を該反射ミラー焦点に正確に配置調整でき、且つ、白熱ランプヒーターユニットを、該反射ミラーで覆われた該白熱ランプへの冷却を可能にし、高い効率で点灯しても長寿命である白熱ランプヒータユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】この発明の白熱ランプヒータユニットは、管状白熱ランプと、該管状白熱ランプを取り囲む樋状の反射ミラーとより成る白熱ランプヒーターユニットにおいて、前記反射ミラーの頂部に該フィラメントを臨む位置調整用のスリット部が設けられ、該反射ミラーの長手方向に沿った側面部に、該フィラメントが貫通して見える一対の調整孔が設けられ、該調整孔を結ぶ仮想線上に該反射ミラーの第1の焦点があることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】第１に、ヒーターエレメントの突出移動，ズレが防止され、安全性や耐久性が向上すると共に、第２に、しかもこれが簡単な構成により、コンパクトかつ容易に実現され、取り扱いも簡単容易化される、ハニカムヒーターを提案する。
【解決手段】このハニカムヒーター１０は、中心電極棒２と外筒電極３との間に、ハニカム構造のヒーターエレメント４が収納されている。ヒーターエレメント４は、帯状をなす導電箔製の波板５と平板６とが多層に巻き付けられると共に、各層７間に絶縁被膜８が介装されている。又、中心電極棒２と波板５や平板６の巻始め端部との間が、ろう付け接合され、外筒電極３と波板５や平板６の巻終り端部との間が、ろう付け接合されている。そして、中心電極棒２に接続された電極接続部材１２が、絶縁材１５で被覆されると共に、ヒーターエレメント４の端面Ｂに当接され、かつ外筒電極３に取付け固定されている。 （もっと読む）

【課題】 加熱板の構造を変更することによって、加熱板一枚当りの重量を削減し同時に電気容量を低減させ、大面積のＬＣＤ基板の熱処理や、ハードディスク用基板、プラズマディスプレイパネル用ガラス基板等の被加熱物の熱処理に効果的に利用される大面積加熱板と、それを用いた熱処理装置を提供する。
【解決手段】 平板状被加熱物を加熱する加熱板において、加熱板を発熱体、伝熱板および板状支持体で構成して大面積加熱板とすることにより、伝熱板の厚さを増大させることなく変形を防止することができ、加熱板一枚あたりの重量を削減し、同時に電気容量を低減させることができる。板状物を加熱する熱処理装置であって、加熱炉内に、加熱板間に板状物を配置するための間隙を開けて複数の加熱板が多段に取り付けられている熱処理装置。 （もっと読む）