【課題】開放した状態で扱う容器や装置への周囲環境からの水分などの浸入を防ぐ。
【解決手段】有機ＥＬパネルの製造設備６０は、クリーンルーム３２内に有機材料保管ストッカ３４、金属電極材料保管ストッカ３６、封止材料保管ストッカ３８、基板保管ストッカ４０、基板前処理室４２、発光材料蒸着室４４、金属電極蒸着室４６、封止室４８などを有する。製造設備６０は、清浄空気を除湿してドライエアにする除湿機６２を備えている。除湿機６２の吐出したドライエアは、給気配管６４を介してクリーンルーム３２内の各ストッカ、各室に供給できるようにしてある。各ストッカを開放して原材料の搬入出、または各室を開放して装置に原材料の搬入し若しくは装置の保守行なう際に、給気配管６４、分岐管６６ａ〜６６ｈを介して対応するストッカ、室に周囲環境より露点の低いドライエアを供給する。 （もっと読む）

【課題】素子内の発光輝度が均一な有機ＥＬ素子を得ることができる有機ＥＬ素子の製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【解決手段】有機ＥＬ素子の製造に先立って、テスト蒸着により製造した素子の基板内における発光輝度分布を測定し、その結果に基づいて蒸着の際の基板位置を調整して発光層である有機層の膜厚を調整する。 （もっと読む）

非重合化合物と流体担体の混合物を得ることによって基板上に非重合化合物の薄膜をコーティングする方法。この混合物（１）は次いで、非重合化合物および流体担体の実質的に全部をガス状に転換するのに十分な内部温度を有する加熱された蒸発ボックス（７）の内部につぎ込まれる。非重合化合物と流体担体は次いで、蒸発ボックス内の出口スリット（８）を介して蒸発ボックスから取り出される。非重合化合物が凝縮する基板が、出口スリットに隣接して、真空状態に維持されている。基板（１０）は、たとえばウェブ・ローラ上を移動し、それによって非重合化合物の連続的なコーティングを基板にコーティングするのが可能になる。

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