【課題】バリアー性および透明性に優れた有機素子の封止膜を備える有機電子デバイスを提供するとともに、該有機電子デバイスの製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】基板処理システムＳｙｓでは、蒸着装置ＰＭ１、マイクロ波プラズマ処理装置ＰＭ３を含む基板処理装置１０がクラスタ構造に配置され、基板Ｇの搬入から搬出までに基板Ｇが移動する空間を所望の減圧状態に保ちながら有機電子デバイスを製造する。蒸着装置ＰＭ１にて有機ＥＬ素子を形成し、マイクロ波プラズマ処理装置ＰＭ３にてマイクロ波のパワーによりＡｌ（ＣＨ_３）_３ガス、ＳｉＨ_４ガス、Ｎ_２ガスをプラズマ化し、有機ＥＬ素子を覆うようにＳｉＡｌＯＮ膜１４を形成する。 （もっと読む）

【課題】有機層面へのゴミの付着が少なく、発光不良が改善された有機ＥＬパネル及びその製造方法、その有機ＥＬパネルを用いた照明装置や表示装置を提供することにある。
【解決手段】ロール状プラスチックフィルムを連続搬送して、その上に有機層を形成する有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、該有機層を形成する前にロール状プラスチックフィルム端部のゴミ除去を行うことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】少ない工程でより性能の高い有機ＥＬ素子を製造することが可能な製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ素子パネル５００の製造装置８０は、各層の成膜を行う複数の蒸着室１２乃至１５及び２２乃至２５を備える。蒸着室１２乃至１５及び２２乃至２５の外部には、蒸着物５６の膜厚を計測するエリプソメータ７０がそれぞれ設けられる。蒸着室１２のエリプソメータ７０により計測した膜厚が、予め設定された膜厚となった場合、真空搬送用ロボット１１は次段階に設けられる蒸着室１３へ蒸着物５６が蒸着されたガラス基板５１を搬送する。 （もっと読む）

【課題】 高精度な駆動回路又は薄膜トランジスタを可撓性の基板に形成する表示素子用の製造装置（１００）を提供する。
【解決手段】 表示素子の製造装置は、表示素子（５０）を可撓性の基板（ＦＢ）に形成する。この製造装置は可撓性の基板（ＦＢ）を第１方向に搬送する搬送部（４５、４６）と、第１方向と交差する第２方向に回転して可撓性の基板（ＦＢ）に表示素子（５０）用の隔壁を形成する第１の隔壁形成ローラ部（１０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 シート基板が部分的に伸縮している場合でも高精度に表示素子を製造するため、高精度に位置検出できる表示素子用の製造装置を提供する。
【解決手段】 製造装置（１００）は、所定幅の可撓性の長尺基板（ＦＢ）に表示素子（５１）を製造する製造装置である。この製造装置（１００）は、長尺基板（ＦＢ）を送り方向（Ｘ方向）に送り出す基板送り出し部（ＦＲ）と、長尺基板の幅方向の第１領域に対して加工する第１加工部（ＥＸ１）と、長尺基板の幅方向で第１領域と異なる第２領域に対して加工する第２加工部（ＥＸ３）と、長尺基板の幅方向に互いに離間して形成された第１マーク（ＡＭ１）、第２マーク（ＡＭ２）及び第３マーク（ＡＭ３）を検出するマーク検出部と、を備える。そして第１マークと第２マークとに基づいて第１加工部の位置調整を行い、第２マークと第３マークとに基づいて第２加工部の位置調整を行う。 （もっと読む）

【課題】材料の損出の少ない経済性のよい、または、生産性の高い、あるいは稼働率の高い有機ＥＬデバイス製造装置または及び同製造方法あるいは成膜装置または及び成膜方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、真空チャンバ内にN(Nは２以上)枚の基板を内在させ、第１枚目の第１の基板を前記蒸発源で蒸着中に、第N枚目の第Nの基板を前記真空チャンバ内に搬入し、第２枚目の第２の基板を前記蒸発源で蒸着中に前記第１の基板を前記真空チャンバ内から搬出する、あるいは第１の前記基板を蒸着中に第２の前記基板の前記位置合せを終了させ、前記蒸着時と同一の蒸発源で前記第２の基板の蒸着中に前記第１の基板を前記真空チャンバ内から搬出させることを特徴とする。また、前記真空チャンバを複数に分割することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
長寿命な有機発光素子の作製方法及び作製装置を提供すること。
【解決手段】
第一の電極と第二の電極との間に挟持された発光層を有する第一の有機化合物と第二の有機化合物とを有する有機発光素子の作製方法において、前記第一の有機化合物を形成する工程と、前記第一の有機化合物を真空加熱する工程と、前記第二の有機化合物を形成する工程とを有し、前記第一の有機化合物を形成する工程と前記第二の有機化合物を形成する工程との間に、前記第一の有機化合物を真空加熱する工程を有することを特徴とする有機発光素子の作製方法。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ装置の製造工程において、基板に付着した異物を効果的に除去する製造装置および製造方法を提供すること。
【解決手段】有機ＥＬ装置の製造装置１００は、基体２０の表面に薄膜を形成する少なくとも一つの成膜装置１３０と、成膜装置１３０に接続され、基体２０に外力を加えることにより基体２０の表面に付着した異物を除去する除去手段が設けられた処理装置１４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】製造工程中の大気曝露の回数を削減することが可能な発光装置の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】発光装置の製造装置１００は、発光層形成装置１０７と、カソード形成装置１０８と、封止装置１１０と、を備える。発光層形成装置１０７とカソード形成装置１０８と封止装置１１０とはそれぞれ接続されており、各工程間で画素基板が大気に暴露されることがない。これにより、製造装置１００で行われる製造工程中に画素基板が大気に曝されることが抑制され、水分の付着等によるダークスポットの発生を抑制することができる。 （もっと読む）

本発明は一般に、基板が処理チャンバを通って移動するときに基板上に層を堆積させる方法および装置に関する。基板は、ロールツーロールシステムに沿って移動することができる。ロールツーロールシステムは、基板を第１のロールから繰り出すことができ、したがって基板を処理にかけ、次いで処理後に第２のロール上に巻き直すことができるシステムである。基板が処理チャンバを通って移動するとき、プラズマ源はプラズマを発生させることができる。基板に電気的バイアスを印加すると、プラズマを基板へ引き寄せることができ、したがって、基板がチャンバを通って移動するときに基板上に材料を堆積させることができる。
（もっと読む）

【課題】設置や処理順の変更に多大な手間や時間を必要としない基板処理装置、および有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】有機エレクトロルミネッセンス装置などを製造するための基板処理装置１１は、大気と異なる雰囲気に調整された複数の固定チャンバ１５ａ〜１５ｆと、複数の固定チャンバ１５ａ〜１５ｆに被処理基板１の搬送を行う基板搬送室１４とを有している。基板搬送室１４の内部において、搬送チャンバ２３は、凸状の搬送ガイド２５に沿って移動して固定チャンバ１５との間で基板の授受を行なう。搬送チャンバ２３は、窒素雰囲気とされる固定チャンバ１５ｃ〜１５ｆとの間で基板の授受を行う際、内部が真空雰囲気あるいは窒素雰囲気になっている。 （もっと読む）

【課題】帯状の可撓性基材上に少なくとも第１電極と、１層以上の有機機能層と、第２電極と、封止層とを有する有機ＥＬパネルを、ロールツーロール方式により生産効率が高く、性能品質が安定している有機ＥＬパネルの製造方法及び有機ＥＬ表示装置の提供。
【解決手段】帯状の可撓性樹脂フィルムの上に、第１電極、少なくとも１層の有機機能層、第２電極、封止層を有し構成される有機エレクトロルミネッセンスパネルをロールツーロール方式で製造する有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、前記有機機能層は前記電極の上全面に有機機能層形成用塗布液を塗布し、有機機能層を形成した後、前記有機機能層の不要領域に対して前記有機機能層に溶解性を示す良溶媒をパターン塗布した後、前記有機機能層を溶解しない貧溶媒で処理し除去することで、パターン化し形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】帯状の可撓性基材の上に少なくとも第１電極と、発光層を含む多層からなる有機化合物層と、第２電極とを有する有機ＥＬパネルをロールツーロール方式により作製する際、有機ＥＬパネルを構成している第１電極、発光層を含む多層からなる有機化合物層と、第２電極にヒビワレ、変形がなく性能が安定した有機ＥＬパネルの製造方法の提供。
【解決手段】帯状の可撓性基材の上に少なくとも第１電極と、発光層を含む多層からなる有機化合物層と、第２電極と、封止層とを順次有する複数の層から構成される有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法であって、前記複数の層を形成する際に使用する、抱き角度をもつ搬送ローラーの直径は、層が増加するに従って順次１．０％〜５０．０％大きくなることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】有機エレクトロルミネッセンス素子の長寿命化を図ることが可能で、かつ、従来よりも製造コストを安価なものにすることが可能な有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１２と、基板１２上に形成され、陽極１４、正孔輸送層１６、有機発光層１８、電子輸送層２０及び陰極２４を有する積層構造体と、封止膜２６とを備える有機エレクトロルミネッセンス素子１０の製造方法であって、基板までの距離が１５ｍｍ以下の位置に配置したノズルから気化材料を基板に向けて吐出することにより、有機発光層１８を形成する有機発光層形成工程を含む。 （もっと読む）

【課題】大型の処理室であっても、短時間で確実に水分を除去することが可能な気体置換装置及び気体置換方法を提供する。
【解決手段】外部から遮蔽可能な空間において、有機ＥＬ用の基板を製造する処理室１を備える。処理室１内の気体を、Ｎ_２ガスに置換するガス置換装置２と、処理室１内の水分濃度を低下させる循環精製装置３と、循環精製装置３による水分濃度の低下を促進するように、処理室１内の温度を、所定の温度まで上昇させた後、低下させる温度調整装置４と、を有する。 （もっと読む）

有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）を製造する方法であり、前記ＯＬＥＤにおける物理的欠陥の形成を減らす方法であって、第１基板及び第２基板から塵埃粒子を取り除くステップと、前記第１基板及び前記第２基板を、蒸着法を用いて別々にコーティングするステップと、前記第１基板及び前記第２基板を真空中で積層するステップとを有する方法が開示されている。
（もっと読む）

【課題】電極、特に有機電子デバイスのための電極を製造する新規な方法を提供する。
【解決手段】電着によって電気活性物質（該電気活性物質は有機電気活性化合物を含む。）の表面に電極を備えること、または当該電気活性物質のための基体の表面に当該電極を用意しその後に該電極の表面に該電気活性物質が施与されることを含む、有機電子デバイスを製造する方法において、該電着がイオン液体、および金属または半金属のイオンを含んでいるめっき液を使用し、該金属または半金属のイオンが還元されそして析出されて電極を形成する、上記方法。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬディスプレイの製造において、マスクと基板とを位置合わせした後の位置ずれを抑制し、有機発光素子の有機化合物層を高解像度でパターン成膜する。
【解決手段】成膜室１の内部において、マスク１４と基板２０との位置合わせを行い、続いて、基板２０と相対的に蒸着源１１を移動させて有機化合物層の成膜を行う。成膜室１内には、マスク１４を支持するマスク支持台１２と、マスク１４と基板２０との位置合わせを行い、密着させた後に、蒸着源１１と干渉しない位置にマスク支持台１２を移動させるためのマスク支持台移動機構１３と、が設けられる。成膜後には、マスク支持台１２上にて、基板２０とマスク１４の密着状態を解除する。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料の利用効率をたかめ、有機化合物を含む層を有する発光装置の製造コストを低減するとともに、発光装置の製造に要する製造時間を短縮させることを課題とする。
【解決手段】成膜室内を減圧下とし、熱源の熱を熱伝導または熱輻射によって、プレートを急速に加熱し、プレート上の材料層を短時間に蒸発させ、被成膜基板に蒸着し、被成膜基板上に材料層を成膜する。なお、急速に加熱するプレートの加熱面積は、被成膜基板と同等のサイズとし、１回の加熱で１枚の被成膜基板への成膜を終了させる。 （もっと読む）

【課題】少ない工程でより性能の高い有機ＥＬ素子を製造することが可能な製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ素子パネル５００の製造装置８０は、各層の成膜を行う複数の蒸着室１２乃至１５及び２２乃至２５を備える。蒸着室１２乃至１５及び２２乃至２５の外部には、蒸着物５６の膜厚を計測するエリプソメータ７０がそれぞれ設けられる。蒸着室１２のエリプソメータ７０により計測した膜厚が、予め設定された膜厚となった場合、真空搬送用ロボット１１は次段階に設けられる蒸着室１３へ蒸着物５６が蒸着されたガラス基板５１を搬送する。 （もっと読む）