【課題】外気と遮断された環境内で搬送ロールに両端に凸部を有する段付き搬送ロールを使用して帯状可撓性支持体の両端を保持して搬送する時に、座屈による搬送不良の発生が生じない帯状可撓性支持体の搬送方法及びこの搬送方法を使用した有機エレクトロニクス素子の製造方法の提供。
【解決手段】外気と遮断された環境内で、帯状可撓性支持体を搬送ロールとして胴部の両端に受け部を有する段付き搬送ロールを使用して、前記帯状可撓性支持体の両端部を前記受け部で保持し、連続的に搬送する帯状可撓性支持体の搬送方法において、前記可撓性支持体が樹脂フィルムであり、前記段付き搬送ロールの前記受け部の前記胴部の中央部からの高さと、前記受け部の幅との比が０．００４から０．０３であることを特徴とする可撓性支持体の搬送方法。 （もっと読む）

【課題】製造工程に対する投資を抑え、余分な部材を使用せず、製品のコストを上げることなく製造工程に発生する異物付着に起因するリークの発生を抑制することが可能な有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬ素子の提供。
【解決手段】基材上に、第１の電極と、少なくとも１層の有機機能層と、第２の電極と、封止層とを順次積層した構成を有する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、前記製造方法は除電工程を含み、少なくとも前記除電工程の環境が、酸素濃度１００ｐｐｍから１０００ｐｐｍであることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】装置全体の大型を抑制できる基板処理方法を提供する。
【解決手段】供給された基板ＦＢに所定の処理を施し回収する基板処理方法であって、基板の一端を他端と接合して基板を無端状に形成する形成工程と、無端状の基板を搬送する搬送工程と、搬送された基板に所定の処理を施す処理工程と、所定の処理が施された基板を回収する回収工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】真空内を機構が簡単で基板の蒸着面を上面にして搬送ができ、前記上面搬送においても高精彩に蒸着可能な有機ＥＬデバイス製造装または同製造方法あるいは成膜装置または成膜方法を提供することである。
【解決手段】
真空内を基板の蒸着面を上面にして搬送し、少なくとも前記基板が移動する場合には前記基板の搬送面が摺動しないように保持し、前記真空チャンバ内で前記基板を受渡し、その後前記基板を垂直または略垂直にたてて蒸着する。
また、上面搬送されてきた複数の基板を一つの真空蒸着チャンバ内で同一の蒸着源で交互に蒸着する。 （もっと読む）

【課題】有機発光表示パネルセルを安定的に移送して、セルガラスの破損を防止し品質を向上させる有機発光表示パネルセル移送装置を提供する。
【解決手段】水平面を形成するベースと、該ベースの上側で離隔されて該ベースと平行な状態で往復して上下方向に昇降しながら、切断された有機発光表示パネルセルをスクライブテーブルから吸着して、該ベース上のローディング位置に移送するセル吸着移送部と、該ローディング位置から該ベースの検査位置の間を往復し、該セル吸着移送部によって、該ローディング位置からローディングされた該有機発光表示パネルセルを該検査位置に移送する第１シャトル検査台移送部と、該ローディング位置と該検査位置で各々昇降し、該ローディング位置と該検査位置との間を往復して、該ローディング位置からローディングされた該有機発光表示パネルセルを該検査位置に移送する第２シャトル検査台移送部とを含む。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子等の発光素子が酸素や水分に付着することを防止するために塗布系の水分吸収材を用いた場合であっても、表示特性の劣化を防止する。
【解決手段】有機ＥＬ発光層３３を覆うゲッター材３６を、有機ＥＬ発光層３３が積層された保護フィルム３４とは異なる表面シート２０上に塗布により積層しておき、このゲッター材３６の表面を平滑化してから保護フィルム３４と表面シート２０とを接着する。 （もっと読む）

【課題】基板に対して効率的な処理を行うことを可能とする基板カートリッジ、基板処理装置、基板処理システム、基板処理方法、制御装置及び表示素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板カートリッジ１は、基板を収容するカートリッジ本体２と、少なくともカートリッジ本体２に収容される基板の諸元値に関する諸元情報を含む情報を保持する情報保持部ＩＣとを備え、情報保持部ＩＣは通信部ＴＲを介して、基板処理装置の制御部に設けられた通信部との間で情報の通信を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】シャッターに付着し堆積した蒸着材料を、チャンバー（蒸着室）内を大気圧に戻すことなく真空雰囲気を維持したままで、坩堝に戻すことなく除去するようにした、蒸着装置とこれを備えた有機ＥＬ装置の製造装置を提供する。
【解決手段】蒸着室２内に配置されて蒸着材料３を収容する坩堝４と、坩堝４内の蒸着材料３を加熱する蒸着用加熱装置５と、坩堝４の開口部４ａを覆う状態と開放した状態とに切り換えられるように移動可能に設けられたシャッター６と、シャッター６が坩堝４の開口部４ａを開放した状態にするように移動した位置に、配置された回収容器７と、シャッター６を加熱するシャッター加熱装置８と、を含む蒸着装置１である。 （もっと読む）

【課題】オーバーシュートが小さく蒸着レートコントロールが容易で、蒸着材料を短い加熱時間で所定温度に到達させることができ、また基板全体に短時間に蒸着しタクトタイムを短縮する事が可能な実用性に秀れた蒸着装置における蒸発源の提供。
【解決手段】基板３と対向状態に設ける容器２に蒸着材料１を収納し、この容器２内の蒸着材料１を加熱して蒸発させることで基板３の成膜面４に蒸着材料１を付着させて成膜を行う蒸着装置における蒸発源であって、容器２は、基板３の成膜面４と対向する上面部７と蒸着材料収納本体部５とから成る箱状に構成し、この上面部７に、蒸発した蒸着材料１が通過可能な蒸着材料通過孔６を複数並設状態に設け、容器２にマイクロ波吸収体を設け、容器２にマイクロ波を照射してマイクロ波吸収体を発熱させるマイクロ波照射部８を備える。 （もっと読む）

【課題】基板に異物が付着するのを防ぐことができる基板カートリッジ、基板処理装置、基板処理システム、制御装置及び表示素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板が出し入れされる開口部を有し、前記開口部を介した前記基板を収容するカートリッジ本体と、前記カートリッジ本体に設けられ、外部接続部に対して着脱可能に接続されるマウント部と、前記マウント部と前記外部接続部との間の接続状態に応じて前記開口部を閉塞する閉塞部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ロール・トゥ・ロール方式でも確実にバリアフィルムを密着することができる有機ＥＬの製造方法を提供する。
【解決手段】 可撓性を有する基板２の表面に、複数の第１の電極４を形成する第１の電極形成工程と、第１の電極４の上に有機層５を形成する有機層形成工程と、有機層５の上に第２の電極６を形成する第２の電極形成工程と、複数形成された第１の電極４、有機層５、第２の電極６および基板２の全表面を覆うようにバリアフィルム７を形成するバリアフィルム形成工程と、バリアフィルム７の端部７ａのうち、基板２、第１の電極４あるいは前記第２の電極６の表面に対して平行に形成された端部をレーザー照射により除去するバリアフィルム除去工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ用加熱乾燥装置として用いられる熱風循環方式の複段式加熱乾燥装置は、スペース効率がよく、比較的安価に装置化できる利点があるが、基板の搬入搬出時に加熱炉内を不活性ガス雰囲気に保つことが出来ない為、工程処理時間が長大になり、また、有機機能層の劣化により特性のバラツキが生じ、量産設備に向かない。
【解決手段】熱風循環方式の複段式加熱乾燥装置の基板搬入搬出部に、複段式のロードロック室５を設け、加熱炉２内の不活性ガス雰囲気及び加熱温度を保持したまま、各段ごとに基板Ａの搬入・搬出が出来る加熱乾燥装置とする。 （もっと読む）

蒸着源、処理ドラム、駆動ローラー、およびシャドウマスクを備える、連続ロールツーロール蒸気ベース蒸着プロセスにおいてパターン形成コーティングをＯＬＥＤ基材に施すための装置が形成され、シャドウマスクは、基材上へのコーティングの蒸着を選択的に妨げるマスクライン特徴体を備える。コーティングを施すための方法も提示される。 （もっと読む）

【課題】有機機能層に使用する材料の範囲をなくし、活性化処理を行っても作製される有機ＥＬパネルの性能が向上するロールツーロール方式による有機ＥＬパネルの製造方法の提供。
【解決手段】帯状の基材の上に、第１電極と、少なくとも１層の有機機能層と、第２電極とを有する有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、前記有機機能層は、有機機能層形成用塗布液を塗布し、乾燥した後、一旦巻き取りロール状とし、加熱処理を行うことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】製造コストが低く、性能安定性に優れる有機ＥＬ素子の作製方法を提供することにあり、特に製造コストが低く、リーク電流のない安定した有機ＥＬ素子の作製方法を提供する。
【解決手段】基板上にパターニング配設された第一電極、該第一電極上に配設された有機発光層を含む有機層および該有機層上に配設された第二電極からなる有機エレクトロルミネッセンス素子の作製方法において、前記第一電極は、レジスト液またはエッチャント液の印刷を用いたパターニングにより形成されて工程を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の作製方法。 （もっと読む）

【課題】材料補充時、成膜装置内を大気開放せず、装置内の温調を管理しながら有機材料を補充、混合する成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜装置１０は、有機材料ｍが収納された材料容器５００を収容するロードロック室１００ａと、ゲートバルブＧＶ２を介してロードロック室１００ａと接続された中間室２００と、ロードロック室内の材料容器５００を、ゲートバルブＧＶ２を介して中間室２００に投入する複数のピン機構７００と、複数のピン機構７００により中間室２００に投入された材料容器５００内の有機材料ｍを気化させるシースヒータ２０５ａと、シースヒータ２０５ａにより気化された有機材料ｍを輸送する輸送室３００と、輸送室３００を輸送された有機材料ｍにより基板Ｇを成膜する成膜室４００とを有する。 （もっと読む）

【課題】印刷法で有機機能層（発光層、インターレイヤー層、電子輸送層等）の皮膜を基板上に形成するたびに必要となる残留溶媒の除去及びベーク処理を皮膜全体で均一に行い同質となるようにして、且つ消費エネルギーをできるだけ低減しつつ、設備の設置面積を抑えて省スペース化を可能にした、基板熱乾燥装置を提供することを課題とする。
【解決手段】少なくとも、赤外線ヒータ炉により基板を所定温度まで加熱するための第一加熱炉と、所定温度まで加熱された基板を熱風循環式多段炉にて高温で維持するための第二加熱炉と、を備えることを特徴とする基板加熱乾燥装置である。該加熱乾燥装置は、前記第二加熱炉から取り出した基板の温度を、少なくとも５０℃以下まで下げるための冷却室、及び第一加熱炉、第二加熱炉又は冷却室の全て若しくはいずれかは、不活性ガス雰囲気を気密に保持できる密閉構造を有することをができる。 （もっと読む）

【目的】ワーク基板の縦横サイズの変更に対応して自らの縦横サイズの変更を極めて柔軟に且つ低コストで行うことができ、搬送中のワーク基板に対してワーク基板全体を均一に加熱及び冷却することができる、ワーク基板への加熱及び冷却機能を備えたコンベアを提供する。
【構成】ワーク基板の搬送方向に延びる支持フレームと、アルミ押出材が所望の長さで切断されて成る切断済み押出材と、前記複数個の各切断済み押出材の間にそれぞれ配置され、前記ワーク基板の下面に接触して前記ワーク基板を移動させるための回転体とを備えており、前記各切断済み押出材には、その内部の空洞部内に、その長手方向と平行な方向に延びる筒状パイプであって棒状ヒーター又は冷却水等供給部を備えることが可能な一つ又は複数の筒状パイプが一体に形成されている。 （もっと読む）

【課題】帯状可撓性基板を縦姿勢で搬送しつつも可撓性基板の下垂や皺の発生を広範囲に亘って抑制できると共に、可撓性基板の逆方向への搬送にも対応可能な薄膜積層体の製造装置を提供する。
【解決手段】可撓性基板１を、その幅方向を鉛直方向にして水平方向に搬送しながら、前記基板の表面に薄膜を積層形成する薄膜積層体の製造装置は、可撓性基板の上側縁部を所定の挟持圧にて挟持しつつ送出可能な上側挟持ローラ３、および該挟持ローラを回転可能かつ相互に接離可能に支持する上側支持機構部を含む上側展張ユニット１００と、前記基板の下側縁部を所定の挟持圧にて挟持しつつ送出可能な下側挟持ローラ３′、および該挟持ローラを回転可能かつ相互に接離可能に支持する下側支持機構部を含む下側展張ユニット１００′と、を備えている。前記各展張ユニットは、第１角位置（ａ）と、前記第１角位置と逆方向の偏角を有する第２角位置（ｂ）とに切換可能である。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子をウェット成膜工程と、ドライ成膜工程とを有する製造工程でロールツーロール方式により製造する時、ウェット成膜工程と、ドライ成膜工程とを分断することなく、且つ成膜原料の量に影響されることなく、ドライ成膜工程で連続して成膜することが出来る有機ＥＬ素子の製造方法の提供。
【解決手段】有機ＥＬ素子をウェット成膜工程と、ドライ成膜工程とを有する製造工程を使用し、ロールツーロール方式で製造する有機ＥＬ素子の製造方法において、前記ドライ成膜工程は、成膜条件を独立に制御し得る成膜室と、気圧調整室と、加熱蒸発室とを有する気相成膜ユニットを使用し、前記気相成膜ユニットは前記成膜室の真空を維持し、前記加熱蒸発室と、前記成膜室とを分離及び接合が可能であり、連続して成膜を行うことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。 （もっと読む）