【課題】圧力損失が小さく、オゾン分解性能に優れ、複写機等で長時間使用しても異臭の発生を低減することできるオゾンフィルターを提供する。
【解決手段】排気経路の上流側に、粉粒径が１〜１５０μｍ、比表面積が８００ｍ^２／ｇ以上の活性炭を基材に担持した活性炭担持フィルターを設置し、下流側に、粉粒径が１〜１００μｍ、比表面積が５０ｍ^２／ｇ以上の金属酸化物を基材に担持した金属酸化物担持フィルターを設置したことを特徴とするオゾンフィルター。 （もっと読む）

【課題】不活性雰囲気下で一酸化炭素を効率よく除害処理することができる一酸化炭素の除害剤を提供する。
【解決手段】半導体製造工程等から排出される排ガス中の有害な一酸化端を除害する除害剤であって、主成分となるマンガン酸化物に、金、白金、銀、ロジウムのうち少なくとも一種の金属単体又はこれらの金属化合物を添加した一酸化炭素の除害剤。マンガン酸化物は酸化マンガン(III)又は酸化マンガン(IV)を単独であるいは混合して使用することが望ましい。 （もっと読む）

【課題】シラン系ガスの除害能力を増大させることができる除害剤及び除害方法を提供する。
【解決手段】酢酸銅を銅原料として製造した塩基性炭酸銅を主成分とした除害剤である。シラン系ガスを除害するには、シラン系ガスを含むガスを、前記除害剤に接触させることで行うことができる。さらに、前記除害剤に接触させた後、金属酸化物を主成分とする第２の除害剤に接触させること、また、前記除害剤に接触させた後、前記金属酸化物を主成分とする第２の除害剤に接触させる前に脱水剤に接触させることにより、全体としての除害能力を大幅に向上させる。 （もっと読む）

【課題】
リーンＮＯｘ触媒に吸着する硫黄成分を除去する処理を不要とした排ガス浄化システムを提供する。また、小さい容積で効率よく排ガスの浄化を行う排ガス浄化システムを提供する。
【解決手段】
上記の課題を解決する本願発明の特徴は、硫黄成分を除去するＳＯｘ捕捉材を使用した排ガス浄化システムであって、ＳＯｘ捕捉材にＳＯｘ酸化機能を付与したことにある。本発明の排ガス浄化システムは、三元触媒または酸化触媒と、ＳＯｘ酸化機能を付与したＳＯｘ捕捉材と、リーンＮＯｘ触媒とを備えたことにある。 （もっと読む）

温室効果ガス隔離の方法は、（ｉ）温室効果ガスと反応可能な第１の薬剤を運搬する溶液の提供、（ｉｉ）少なくとも第１の薬剤と温室効果ガスとの間の反応を促進することにより少なくとも第１の反応物質が生成されるという条件下での、その溶液の温室効果ガスに対する接触、（ｉｉｉ）格子間空間を有し、かつ、少なくとも第２の反応物質を含んで構成される、多孔質マトリックスの提供、（ｉｖ）少なくとも第１の反応物質と少なくとも第２の反応物質との間の反応を促進することにより少なくとも第１の生成物が提供されるという条件下での、少なくとも第１の反応物質を運搬する溶液の、多孔質マトリックスの格子間空間の少なくとも相当部分に対する浸透可能化、及び（ｖ）少なくとも第１の生成物が多孔質マトリックスの少なくとも一部の格子間空間を形成及び充填することによる、温室効果ガスの隔離可能化、を含んで構成されたことが説明される。
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【課題】有機系汚染物、悪臭成分、細菌類などの有害物質を含有するガスの無害化処理、特にオゾンによる無害化効率を向上させた有害物質含有ガスの無害化処理の提供。
【解決手段】有害物質含有ガスにオゾンを添加、混合し、該ガスを、オゾンを吸着し、かつ有害物質を吸着するホウ素ドーピング高シリカゼオライト、ホウ素ドーピング高シリカメソポーラスシリカ、及び水熱合成ホウ素含有高シリカゼオライトの群から選ばれた少なくとも一種を用いる吸着剤充填層に流過させ、ガス中の有害物質をオゾンの作用により無害化する方法、並びに、上記吸着剤層６ａを設けた吸着剤充填塔６と、吸着剤充填塔にガスを供給する供給管と、該供給管に接続され、ガス中にオゾンを添加するオゾン発生器５と、処理ガスを排出する排出管７とを備える有害物質含有ガスの処理装置であって、吸着剤充填塔の下流側に、リークするオゾンを分解するオゾン分解剤層６ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】有機化合物の処理に使用する物質の交換回数が少なく、しかも、安全で資源やエネルギを節約することが可能な有機化合物の除害装置を提供すること。
【解決手段】金属酸化物を含む充填剤２０１が充填される充填室２０２と、還元性有機化合物を含む排ガスを充填室２０２に供給する排気管２０３と、充填室２０２に酸化性ガスを供給する供給管２０４と、充填室２０２で除害された除害済み排ガスを排出する排出管２０５と、を備え、還元性有機化合物を含む排ガスを充填室２０２に導き、充填剤２０１に含まれる金属酸化物を還元することで還元性有機化合物を含む排ガスを除害し、酸化性ガスを充填室２０２に酸化性ガスを供給し、還元された金属酸化物を酸化することで充填剤２０１を再生する。 （もっと読む）

【課題】容器内のエッチング排ガスの流通状態を改善すること。
【解決手段】エッチング排ガスに含まれる有害物質を除去する排ガス処理装置であって、 エッチング排ガスが導入される導入口および導入されたエッチング排ガスが排出される排出口を備えた筒状容器、筒状容器内に充填された除害剤、ならびに、複数の開口部を備えた平板部材を有して成り、平板部材は、除害剤が充填されている筒状容器内の領域を仕切るように配置されていることを特徴とする排ガス処理装置。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程で発生する金属水素化物含有排ガスの除害処理において、高い除害能力を示す除害剤と除害方法とを提供する。
【解決手段】金属水素化物含有排ガスの除害剤及び除害方法に関し、金属酸化物、金属水酸化物、金属炭酸塩、又は金属塩基性炭酸塩の何れか一種又は二種以上のこれら化合物の混合物を成型し、その成型体にアンモニアを吸収させたものを除害剤とし、該除害剤に金属水素化物を含む排ガスを通し除害する。 （もっと読む）

【課題】ホッパー内部に貯留される悪臭源をホッパー外部に排出する際の悪臭対策として、効果的な消臭方法及び消臭装置を提供する。
【解決手段】ホッパー内部に貯留された悪臭源をホッパー外部に排出する際に施設周辺に発生する悪臭の消臭方法及び消臭装置であって、前記ホッパーの排出扉外周に第１の噴霧ノズル１１が配置されており、前記ホッパー排出扉の開口時に前記第１の噴霧ノズルから消臭剤を噴霧することを特徴とする消臭方法及び消臭装置。 （もっと読む）

【課題】従来の酸化マンガンよりも高い環境汚染物質除去能を発揮するマンガン化合物を提供する。
【解決手段】二価のマンガン塩水溶液と化学量論以上のアルカリを含有する過マンガン酸アルカリ水溶液を混合、反応させることによりマンガン化合物を得る。このマンガン化合物は既知のマンガン酸化物と比較すると、比表面積の大幅な増大が認められ、環境汚染物質除去能向上が顕著である。本発明によるマンガン化合物は、比表面積の値が高く、環境汚染物質除去能が高く、各工場より排出される臭気成分、ＮＯｘやＳＯｘ、ＶＯＣ、更には、不完全燃焼により発生する炭化水素やアルデヒド類等の未燃焼成分の吸着及び酸化除去に有用である。 （もっと読む）

【課題】小形・低コストで、かつ、複数の放電ユニットのいずれかに異常電流を検出したとき、異常電流を検出した放電ユニットの高圧電源のみを遮断するようにし、他の高圧電源及び放電ユニットはそのまま稼動するようにしたガス浄化装置を得ること。
【解決手段】プラズマ放電により生成される活性種により被浄化ガス１に含まれる化学物質を分解除去する分解処理部１０２を備え、送風機４により吸込口２から前記被浄化ガス１を吸込んで前記分解処理部１０２に送り込み、該分解処理部１０２で前記被浄化ガス１を浄化し、吹出口９から吹出すガス浄化装置１００において、前記分解処理部１０２は、多数に細分化した吸着剤を有する接地電極５と、該接地電極５に対向させて設置した高圧電極７と、からなる電極ユニットを複数組備え、一組の前記電極ユニット毎に一つの高圧電源６を備える。 （もっと読む）

【課題】 ジーゼルエンジンの排気ガス中のＮＯｘを低減するために高価な希少貴金属触媒と排気直後に近い反応温度を必要とするプロセスが現在の主流であり、しかも燃料の硫黄分が排気ガスのＰＭを増加したり、触媒作用を妨害したりすることも問題となっている。このまま推移すれば技術的にも資源的にもコスト面からも近い将来行き詰まることは明らかである。これ等の問題を一挙に解決しようとするのが本発明である。
【解決手段】金属炭化物、特に高炭素フェロマンガン及びカルシウムカーバイドを夫々単独に又は配合混合した還元剤の充填層へ排気ガスを導入することにより２００℃以上ならば、排気ガス中のＮＯｘの８０％以上を硫黄分の妨害を受けることなく直接還元分解することができる。 （もっと読む）

【課題】 脱臭能力の低下が生じ難い脱臭装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 脱臭タンク１０６と脱臭剤貯留タンク１１０の間に設けられた漏斗形態の底板１１２の脱臭剤回収口１１３と、脱臭タンク１０６の脱臭剤ＳＳを脱臭剤貯留タンク１１０に導き且つその先端が脱臭剤貯留タンク１１０の貯留脱臭剤ＳＳの液面に漬かる形態とした、脱臭剤回収口１１３に着脱自在に取り付けられた管形態の脱臭剤案内狭め口１１７と、脱臭剤貯留タンク１１０の上部に一方から他方に巻き取られ移動するように設けられ且つその中央部は脱臭剤案内狭め口１１７の下に位置し該１１７に近接ないし接触する構成とされた、巻き取る形態の巻取り濾過フィルタ１１８とを備えた構成となっている。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法により利用可能な、フッ素含有化合物ガスの分解性能が高いフッ素含有化合物ガスの分解用触媒；及びフッ素含有化合物ガス又はフッ素含有化合物ガスを含む排ガスの処理方法を提供する。
【解決手段】硫酸ジルコニウム（II）、アルコール及び担体の混合物からアルコールを留去し、次いで、これを焼成することによって得られるフッ素含有化合物ガス分解用担体担持含硫黄ジルコニウム酸化物触媒；並びにフッ素含有化合物ガス又はフッ素含有化合物ガスを含む排ガスの処理方法であって、上記の担体担持含硫黄ジルコニウム酸化物触媒の存在下、フッ素含有化合物ガス又はフッ素含有化合物ガスを含む排ガス、分子状酸素含有ガス及び水を加熱することによりフッ素含有化合物ガスを分解及び／又は酸化処理する工程を含む方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、ドライエッチング排ガスの簡便且つ安全な処理をするために適した処理装置及び当該処理装置を用いたドライエッチング排ガス処理方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明の課題は、排ガス導入口を下部、処理ガス導出口及びインジケーターを上部に備えた容器に、反応処理剤及び吸着剤を層状に充填されていることを特徴とする、ドライエッチング排ガス処理装置によって解決される。 （もっと読む）

本発明は、ＣＯ_２濃度を減少させることを対象とする。本発明は、流体のＣＯ_２濃度を減少させるための流体および装置を利用する。 （もっと読む）

【課題】吸着部の再生を実現し、煩雑な運転管理をせずに換気ガスを確実に浄化する。
【解決手段】酸素の共存する換気ガス（Ｘ）が導入され、放電処理により当該換気ガス中に含むＮＯｘの構成成分であるＮＯを酸化してＮＯ₂を生成する放電部１１と、この生成されたＮＯ₂を吸着除去し、浄化された浄化ガスを排出する吸着部１２と、放電部及び吸着部に跨って設けたバイパス管路１５上に設けられ、酸素を含まない還元ガスを生成する還元ガス供給装置１６と、ガス排出路と還元ガス流路との選択によって換気ガス（Ｘ）と還元ガス（Ｙ）とを交互に放電部１１に導入し、還元ガス（Ｙ）の導入時に放電部による放電処理により吸着部に吸着されている有害物質を、無害なガスに還元分解させつつ還元ガス供給装置１６に通して循環させて吸着部１２を再生する切替え制御手段１７ａ，１７ｂ，１８ａ，１８ｂ、２１，２２とを設けた換気ガス浄化装置である。 （もっと読む）

【課題】除害塔に充填した除害剤を無駄なく使用することができ、除害剤の破過が迅速に検知可能であって、かつ除害処理の連続的な実施が可能であるとともに、安価で装置の小型化を図ることのできる有害ガスの除害方法およびこれを実現する除害装置を提供する。
【解決手段】有害ガスとの接触によって変色する検知剤３０が装填される検知剤容器２３と、検知剤３０の前記変色を観察するための覗窓２２とを備える検知窓２０が設けられ、前記有害ガスを吸着して除害する除害剤４１が充填される少なくとも二式以上の除害塔４０ａ，４０ｂが直列配置され、導入された有害ガスを前記二式以上の除害塔を通過させて除害する除害装置１０であって、前記検知窓２０が、それぞれの除害塔に対し、前記通過する有害ガスの流れ方向の上流側に設けられていることを特徴とする除害装置１０。 （もっと読む）

【課題】十分な量の除害剤が充填可能な除害塔を有するとともに、処理ガス中の有害ガス成分の到達を迅速に検知し、除害剤の破過のタイミングを的確に検知することのできる検知窓構造を備える除害装置を提供する。
【解決手段】有害ガスを除害する除害剤４１が充填される除害塔４０と、有害ガスとの接触によって変色する検知剤３０が充填される検知剤容器２３および検知剤３０の前記変色を観察するための覗窓２２を備え該除害塔４０に着脱可能に装着される検知窓構造２０と、を有する除害装置１０であって、
前記検知窓構造２０は、除害塔４０を流通する有害ガスを検知剤容器２３に導入するガス導入口２６が、前記覗窓２２の接ガス面２７に隣接して形成されるとともに、前記覗窓２２の接ガス面２７が除害塔４０の内壁面位置と一致するか、または除害塔４０の中心側に設けられていることを特徴とする除害装置１０。 （もっと読む）