好ましい実施形態では、本発明は、分子状汚染物質に敏感な半導体処理ツールおよび処理に使用される、反応ガス用のガスフィルタを提供する。本発明の反応ガスフィルタは、圧力低下が改善され、それぞれ約１０ｐｐｂｖ以下および約５ｐｐｂｖ以下の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する入力ガスストリームに対して、それぞれ約１ｐｐｂｖ未満の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する出力ガスストリームを供給することができる。本発明の一態様では、本発明は、約０．５リットル以下のフィルタ媒体容積を用いて、それぞれ約１０ｐｐｂｖ以下および約５ｐｐｂｖ以下の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する入力ガスストリームに対して、それぞれ約１ｐｐｂｖ未満の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する出力ガスストリームを供給することができる、圧力低下が改善された反応ガスフィルタを提供する。
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希釈VOCガス流からエネルギーを生成するための装置及び方法。装置100は、希釈VOCガスを濃縮VOC燃料に濃縮する濃縮器120を含む。濃縮VOC燃料は機関160の燃料入口に供給される。装置100は、濃縮器120内の吸着媒質上にVOCを吸着することによって作動される。濃縮器120はVOCの単位体積あたりの濃度を高める。吸着されたVOCはその後、濃縮VOC燃料流を形成するため脱離させられる。濃縮VOC燃料流は、液化VOC若しくは、より濃縮されたVOCガス流のいずれかでもよい。濃縮VOC燃料流はその後、運動エネルギー若しくは電気エネルギーを生成するため機関に送られる。 （もっと読む）

いくつかの源に由来しかつ自動車のエンジンが停止している時に前記エンジンの空気浄化装置を通って大気の中に放出される可能性のある揮発性炭化水素を回収するための炭化水素吸着装置。この装置を空気取り入れ機構の中に前記エンジンを通って流れる空気の全部が前記装置を通るように位置させる。この装置は入り口と出口を有するハウジングを含んで成る。前記ハウジングに基質とこの基質の表面の上を覆っている揮発性炭化水素吸着剤を入れる。そのような吸着剤はシリカゲル、モレキュラーシーブおよび／または活性炭であってもよい。前記材料に更に前記材料を前記基質の表面に接着させる結合剤も含有させる。 （もっと読む）