【課題】停止信号が入力された際、ガスの製造を停止すると共に、次回起動時において製造されるガスに含まれる不純物を好適に低減可能なガス製造装置の停止方法を提供する。
【解決手段】２つ以上の吸着塔を備え、ＰＳＡ機構によりガスを製造するガス製造装置の停止方法であって、停止信号が入力された後、少なくとも１つの吸着塔の残留ガスを、他の吸着塔に供給し、吸着塔間の圧力を略同一とする第１均圧ステップと、前記第１均圧ステップにおいて残留ガスを供給した吸着塔を脱圧する第１脱圧ステップと、を含むことを特徴とするガス製造装置の停止方法である。 （もっと読む）

【課題】
例えば、活性炭、ゼオライト、メソポーラスシリカなどの多孔質吸着剤が持つＶＯＣ吸着処理能力の高さと、揮発性有機物吸収材の持つ高いＶＯＣ吸収能力を複合するという技術を用いた極めて有用な揮発性有機物回収処理装置及びこれを有するシステムを提案することにある。
【解決手段】
揮発性有機物を回収処理する揮発性有機物回収処理装置１０を、内部に揮発性有機物吸着剤１８が配設され、導入口１４から導入する揮発性有機物を含む被浄化ガス１２を吸着浄化して導出口２０から外部に導出する揮発性有機物吸着槽１６と、内部に揮発性有機物吸収材３０が配設され、揮発性有機物吸着剤１８に吸着された揮発性有機物を導入して吸収する揮発性有機物吸収槽２８を含む構成とした。 （もっと読む）

【課題】 クリーンルーム等からの排気の清浄化を行って当該クリーンルーム等に長期に亘り連続して循環供給を可能とする方法の提供。
【解決手段】 調温調湿されたクリーン作業空間からの排気を処理空気としてこれを超高純度空気に調製してクリーン作業空間に循環供給するにあたり、処理空気を回分式温度スイング吸着装置に取り入れた後、調温調湿装置に通じるか、処理空気を調温調湿装置に取り入れた後、回分式温度スイング吸着装置に通してクリーンルーム排気を超高純度空気に調製する方法であり、分子状汚染物質を吸着材で除去する吸着モードにある吸着材ユニットの系統、分子状汚染物質を吸着した吸着材ユニットに、前記吸着モードにある吸着材ユニットを通過させた超高純度空気を分配器に流入させて分岐せしめ、分岐当該空気を再生空気として通じる再生モードにある吸着材ユニットの系統を並列に配置した２系統を備える超高純度空気の調製方法を提供する。
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【課題】 クリーンルーム等からの排気を取入れて分子状汚染物質と粒子状汚染物質を除去する清浄化を行って当該クリーンルーム等に長期に亘り連続して循環供給を可能とする方法を提供する。
【解決手段】 クリーン作業空間の排気を取入れて、処理空気とし、その清浄化と調温調湿を行って、前記クリーン作業空間に循環供給するにあたり、処理空気を加湿冷却装置に取入れて、次いで、回分式温度スイング吸着装置に通じた後、さらに、調温調湿装置に導入して、調温調湿と分子状汚染物質及び粒子状汚染物質の除去を実施すると共に、当該回分式温度スイング吸着装置の再生空気は、再生空気冷却加熱部を流下させた後、再生モードにある吸着材ユニットに通じることを特徴とする超高純度空気の調製方法を提供する。
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【課題】 電子機器や精密機器等を製造する工程において使用されるクリーンルーム等からの排気を取入れて分子状汚染物質と粒子状汚染物質を除去する清浄化を行って当該クリーンルーム等に長期に亘り連続して循環供給を可能とする方法を提供する。
【解決手段】 調温調湿されたクリーンルーム等のクリーン作業空間からの排気を処理空気として清浄化して、前記クリーン作業空間に循環供給するにあたり、処理空気を、調温調湿装置に通じ、屋内又は屋外から取入れた空気を再生空気として用いる回分式温度スイング吸着装置に通じるか、又は、当該処理空気を屋内又は屋外から取入れた空気を再生空気として用いる回分式温度スイング吸着装置に通じた後、調温調湿装置に通じるクリーンルーム排気の清浄化方法を提供する。
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本発明は、Ｘ又はＹタイプゼオライトのような吸着剤を用いる圧力スイング吸着によって二酸化炭素をガス流から回収する方法及びプラントに関する。ガス供給流は、好適には、炭酸飲料壜詰めプラントの充填ボウルから放出されるガスのような二酸化炭素濃度が中程度であり、高純度の二酸化炭素ガス流でのリンス又はパージを行うことなく回収される。従って、本方法は大気へ放出される流出流から二酸化炭素を捕捉し、かつ最少の操作及び資本経費で二酸化炭素を捕捉するという利点を提供する。本発明はまたガス分離装置（吸着又は膜プロセス）からの１つの乾燥流を利用して水の蒸発冷却を行い、これを液体リング真空ポンプの水として用い、それによって真空レベルを下げ、性能を改善する。 （もっと読む）

【課題】 高炉ガスを、それぞれの成分を主成分とするガスに分離するにあたり、それぞれのガスを高回収率で効率良く回収することのできる高炉ガスの分離方法を提供する。
【解決手段】 本発明の高炉ガスの分離方法は、高炉炉頂から排出される高炉ガスを二段のガス分離精製装置を用いて各成分を主体とするガスに分離するに際し、一段目のガス分離精製装置（Ｓ１）によって、高炉ガスを、二酸化炭素及び不可避的不純物ガス成分からなるガスと、窒素及び一酸化炭素並びに不可避的不純物ガス成分からなるガスと、に分離し、二段目のガス分離精製装置（Ｓ２）によって、前記一段目のガス分離精製装置により分離された、窒素及び一酸化炭素並びに不可避的不純物ガス成分からなるガスを、窒素及び不可避的不純物ガス成分からなるガスと、一酸化炭素及び不可避的不純物ガス成分からなるガスとに分離する。 （もっと読む）

【課題】従来の粒状触媒または粒状吸着剤を充填した横置き型容器におけるガスのショートカット等の問題を解決し、その使用開始時以降、長期間にわたり安定して運転できる、改質触媒や脱硫触媒などの粒状触媒、または粒状脱硫剤などの粒状吸着剤を充填した横置き型容器を得る。
【解決手段】粒状触媒または粒状吸着剤を充填した横置き型容器であって、前記容器が基本部分とその上方に盛り上がり部を有し、それらの空間に粒状触媒または粒状吸着剤を充填してなることを特徴とする粒状触媒または粒状吸着剤を充填した横置き型容器。
盛り上がり部の頂上部に粒状触媒または粒状吸着剤の貯蔵部を設けることができる。 （もっと読む）

【課題】循環型換気システムのシステム資源を有効に利用して、その機能を維持しながら吸着フィルターの再生を行えるようにすることが課題である。
【解決手段】本発明では給気ファン１から室内に至る給気経路２と、屋外から給気ファンに至る外気取入経路３と、室内から給気ファンに至る循環経路４と、室内から排気ファン５を経て屋外に至る排気経路６を構成した循環型換気システムにおいて、循環経路に吸着フィルター７を装着した空気浄化部８を設け、空気浄化部の下流側から排気経路の排気ファンの上流側に至る再生排気経路９を構成して、この再生排気経路と、上記循環経路の空気浄化部よりも下流側に経路開閉手段１０ａ，１０ｂを設け、空気浄化部内には吸着フィルターの加熱手段１１を設けることにより上記課題を解決している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、騒音及び大気汚染の著しい道路沿道や工業地帯等の環境であって、ある程度通風量を確保できる場所で、騒音を低減すると共に、窒素酸化物、硫黄酸化物、揮発性炭化水素、浮遊粒子状物質を含む粉塵等の汚染物質を除去する技術を提供する。
【解決手段】活性炭素繊維を含んで構成され、プリーツ状に加工されるとともにプリーツ表裏間に通風性を有する活性炭素繊維成型体３と、活性炭素繊維成型体３のプリーツ表面側に配設される表面板４と、プリーツ裏面側に配設される遮音性能を有する背面板１とを備えて構成され、表面板４に当該表面板表裏間において通風を許容する通風孔４ａを備え、プリーツ状に加工された活性炭素繊維成型体３により画定されるプリーツ谷部に形成される、プリーツ折り目に沿った連通空間を、表面板４に設けられる通風孔４ａから侵入する浄化対象流体を浄化する浄化空間として形成した。 （もっと読む）

【課題】自動車分野における排気浄化技術、及び、燃費向上技術の改善・向上にも適用できる空気浄化・改質技術を提供する。
【解決手段】金属シートの片面又は両面に、性状の異なる複数種の炭の混合粉末からなる炭質膜を備えることを特徴とする空気浄化・改質シート。 （もっと読む）

【課題】ガス化炉で蒸発したアルカリを、できる限り配管に付着させることなく、しかも、アルカリを有効に利用できるガス化システムを提供する。
【解決手段】ガス化炉の後段にアルカリ吸収塔を設けることにより、アルカリを石灰石や活性炭に吸着させることで、配管への付着を防ぐことを可能とし、さらに、アルカリを吸収した石灰石又は活性炭を、焼却炉やガス化炉に供給することにより、脱硫剤、ガス化触媒、あるいはガス化効率を向上させるものとしての有効利用を図る。 （もっと読む）

【課題】ワンパスにおける脱臭率が高く、脱臭剤を効率よく使用できる脱臭成形体及び脱臭フィルタを提供することを目的とする。
【解決手段】破砕炭２とポリエチレン樹脂３を混合したものを中空の棒状に成形し、中空部８に脱臭剤９を充填した複数の脱臭成形体１と、前記脱臭成形体１を固定する固定手段１２を備え、前記脱臭成形体１を長手方向どうしが隣接するよう多段層に積層し、且つ通風方向に対して脱臭成形体１の端面１３が対向するように配置された脱臭フィルタ１１を提供する。 （もっと読む）

【課題】従来のＰＳＡ窒素発生装置と比較して大幅な高効率化を可能とする分子ふるい炭素およびその製造方法、ならびに該分子ふるい炭素を用いた窒素発生装置を提供する。
【解決手段】多数の炭素一次粒子が三次元的に不規則に重なり、かつ合体された構造を有し、該炭素一次粒子の平均粒径が１０μｍ以下であり、かつ（炭素一次粒子径の標準偏差）／（炭素一次粒子の平均粒径）で示される炭素一次粒子の粒径分布の変動係数が０．６５以下であり、粒子嵩密度が０．７〜１．２ｇ／ｃｃである分子ふるい炭素である。 （もっと読む）

【課題】自動車の蒸発エミッション制御システムから昼間呼吸損失エミッションを大幅に減少する方法を開示する。
【解決手段】エミッション制御システムキャニスターの燃料源側に高作用能力活性炭を、第１のキャニスター（吸着）領域に設ける。排気側の後続のキャニスター領域において、吸着剤は、容積ベースで平坦又は平坦化された吸着剤等温線を示すとともに、燃料源側吸着剤と比べて高濃度蒸気に対して比較的低い能力を示す必要がある。一アプローチでは、吸着剤等温線を平坦化する容積希釈として充填材及び／又は空隙を使用する。他のアプローチでは、所望の吸着剤等温線特性を示す吸着剤を採用し、希釈のための特別手段を必須とせず、その吸着剤を適切な形状又は形態に処理する。燃料源側の高作用能力活性炭と排気側の低作用能力吸着剤との組み合わせは、作用能力の著しい低下又は流れ抵抗の増加を生じることなく、実質的に低い昼間呼吸エミッションを示す。 （もっと読む）

【課題】複数の吸着槽を用いてガス中の有機溶剤等の成分の吸着、脱着を行うガス処理方法において、脱着工程において吸着槽から排出された水蒸気から熱回収を行うに際し、その熱回収手段の設備への負担を軽減するとともに効率的な熱回収を可能とする。
【解決手段】複数の吸着槽を用いて被処理ガス中の成分を吸着する吸着工程Ａと、この吸着工程Ａの後に吸着槽に水蒸気を導入して成分を脱着する脱着工程Ｂとを繰り返すとともに、脱着工程Ｂにおいて排出された水蒸気を共通した熱回収手段に供給して熱回収する熱回収工程Ｄとを有するガス処理方法であって、吸着槽同士で脱着工程Ｂの一部が重複するように脱着工程Ｂのタイムサイクルをずらして、複数の吸着槽から排出される水蒸気の熱回収手段への供給を連続させる。 （もっと読む）

【課題】工場などから発生した有機溶剤ガス中から回収される有機溶剤に含まれる水分が少なく、有機溶剤の再利用が容易な有機溶剤ガス処理装置を提供する。
【解決手段】吸着ロータ１を少なくとも吸着ゾーン２、脱着ゾーン４及びパージゾーン３に分割し、脱着空気を冷却除湿手段５に通した後、パージゾーン３に通し、パージゾーン３を通過した脱着空気をヒータ６で加熱して脱着ゾーン４へ通すようにし、脱着ゾーン４を通過したガスに含まれる有機溶剤を凝縮器７で凝縮することにより、凝縮された有機溶剤に含まれる水分が少なくなると共に、パージゾーン３での冷却効果を高められ、吸着性能を向上させられる。 （もっと読む）

【課題】半導体または液晶製造プロセスで使用後のパーフルオロカーボンガスの再利用を可能とするパーフルオロカーボンガスの精製方法を提供する。
【解決手段】パーフルオロカーボンガスに対して不純分として窒素ガスを含有する処理対象ガスから、上記不純分である窒素ガスをゼオライト４Ａに吸着させることにより、パーフルオロカーボンガスを分離精製することにより、不純分である窒素を効果的に吸着除去し、９９．９９９％以上の高純度のパーフルオロカーボンガスを分離精製することが可能となった。これにより、例えば半導体または液晶製造プロセスなどから排出されたパーフルオロカーボンガスの高純度化による有効な再利用が可能となる。 （もっと読む）

【課題】パーフルオロコンパウンドガスに対して不純分として窒素ガスを含有する処理対象ガスから上記不純分である窒素ガスを吸着させることにより、パーフルオロコンパウンドガスの濃度が比較的高い処理対象ガスから効率的にパーフルオロコンパウンドガスを分離精製することができるパーフルオロコンパウンドガスの精製方法を提供する。
【解決手段】パーフルオロコンパウンドガスに対して不純分として窒素ガスを含有する処理対象ガスから、上記不純分である窒素ガスを活性炭に吸着させることにより、パーフルオロコンパウンドガスを分離精製する。 （もっと読む）

【課題】フィルタ自身からガスの発生が無く、高清浄度が要求される環境で使用できるガス除去フィルタが必要とされている。
【解決手段】本発明のガス除去フィルタは、粒状吸着剤１を粉末状ホットメルト樹脂７で連結して得られた成型体１２を加熱し、成型体１２表面に粘着性を持たせた状態で粉末状吸着剤８を接触させ、粉末状吸着剤８を成型体１２表面に担持することを特徴とするものである。成型体１２を加熱し表面に粘着性を持たせた状態で粉末状吸着剤８を成型体１２と接触させることにより、粉末状ホットメルト粉末表面に粉末状吸着剤８が接着・担持される。これにより、ガス除去フィルタは粉末状吸着剤８に覆われ、自身から発生するガスが空間に放出される前に吸着することができる。 （もっと読む）