【課題】低コストかつ省スペースにエネルギ線硬化樹脂層を形成し、硬化させることができる成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜装置１は、チャンバ１０と、ステージ１５と、ガス供給部１３と、照射源１４とを具備する。ステージ１５は、チャンバ１０の内部に配置され、基板Ｗを支持するための支持面１５１ａを有する。ガス供給部１３は、チャンバ１０の内部に配置され、支持面１５１ａに向けてエネルギ線硬化樹脂を含む原料ガスを供給する。照射源１４は、チャンバ１０の内部に支持面１５１ａに対向して配置され、エネルギ線硬化樹脂を硬化させるためのエネルギ線を支持面１５１ａに向けて照射する。 （もっと読む）

【課題】 流動樹脂粉を使い、開口部が３ヶ所以上ある物を、回転せずに内面に樹脂被膜を形成し、残留樹脂の掃除ができる実用的な方法を得ること。
【解決手段】 開口部の１ヶ所に入口管と出口管を接続し、他の開口部には出口管を接続して、流動樹脂粉を流し内面に樹脂被膜を形成する。
均一な厚さの樹脂被膜を得るために、各開口部から出口管に流れる管路に流量調節弁を設けて流動樹脂粉の流量を調節する。
出口管へ流れた流動樹脂粉は、集塵機で樹脂粉と空気に分離して回収する。
樹脂被膜が形成されたならば流動樹脂粉の流れを止め、今度は空気を入口管から吹込んで残留樹脂粉を掃除する。樹脂粉の堆積がある場合は、これを吹飛ばす空気の吹込管を出口管に設けて堆積樹脂粉を掃除する。 （もっと読む）

【課題】補修現場において、製膜に寄与しなかった粉末材料（原料粉末）を回収し、製膜に寄与しなかった粉末材料が大気中に拡散するのを防止すること。
【解決手段】粉末材料を燃焼炎または不活性ガスとともに高速で吹き出させて、基板７の表面２に皮膜１８を形成させるガンと、このガンの周囲を取り囲むようにして配置された隔壁１２とを備えたフランジシート面補修装置であって、第１の空間２４に、皮膜１８の形成に寄与しなかった粉末材料の大部分が流れ込み、第２の空間２６に、第２の隔壁２２の先端２２ｃから第３の隔壁２３の側に漏れ出した、皮膜１８の形成に寄与しなかった粉末材料、および第３の隔壁２３の外側に存する大気が流れ込むように構成した。 （もっと読む）

【課題】 噴射方向の周辺領域への液体微粒子の飛散を防止し、所定領域に均一な液体微粒子の噴霧を可能とする液体微粒子発生用ノズルを提供する。
【解決手段】 ノズル本体部２に高圧気体と液体とを導入し、高速流の気体によって破砕された液体微粒子及び気体の混合気体を噴出する混合気体噴出口５５を先端部に備えた液体微粒子発生用ノズルにおいて、上記ノズル本体部２の先端部に混合気体噴出方向に突出させて筒状の飛散液体捕捉カバー３を設け、該飛散液体捕捉カバー３は、内部が中空３１とされた２重壁構造をなし、その内周壁面３２には前記中空部（３１）に連通した液体捕捉孔３３を形成したものである。これにより、周辺領域への液体の飛散が防止しでき、所定領域に均一な液体噴霧が可能となる。 （もっと読む）