説明

Fターム[4F033AA14]の内容

ノズル及び噴霧装置 (19,528) | 用途 (1,049) | 半導体部品製造装置用 (45)

Fターム[4F033AA14]に分類される特許

41 - 45 / 45


【課題】この発明は混合流体を霧化させることなく、基板に与える衝撃力を高くすることができるようにした二流体噴射ノズル装置を提供することにある。
【解決手段】加圧された液体と気体とを混合して噴射する噴射孔が先端面に開口形成されたノズルチップ7を有し、ノズルチップには、異なる角度で傾斜した第1の噴射孔21と第2の噴射孔22とがノズルチップの軸線を中心にして径方向に対称かつ一列に形成されている。 (もっと読む)


【課題】塗布量のばらつきを少なくし、安定した接着剤の塗布が可能であり、チップ部品間の隣接間隔が狭くても塗布された接着剤に接触することがなく、また、接着剤をノズル先端部に接触させないようにする。
【解決手段】プリント回路基板上に接着剤を塗布する接着剤塗布ノズルにおいて、ノズル先端部1の外周部に凸部2を設け、接着剤吐出部先端3が凸部2と接触しない隙間4を設ける。ノズル先端部の外形寸法を1.5mm×1.5mm以下に、接着剤吐出部の寸法を0.9mm×0.3mm以下に、凸部の高さを0.15mm以下にし、ノズル先端部に補強加工を施す。 (もっと読む)


有機材料を気化させて表面に膜を形成する方法であって、所定量の流動化した粉末形態の有機材料を供給し;その粉末化した有機材料を計量し、流動化した粉末流として第1の部材の上に誘導し;その第1の部材を加熱して流動化した上記粉末流を気化させ;気化した有機材料をマニホールド内に回収し;そのマニホールドに通じている少なくとも1つの開口部が形成された第2の部材を用意し、気化した有機材料をその第2の部材によって上記表面に誘導して膜を形成する操作を含む方法。
(もっと読む)


【課題】 薬液供給システムにおいて、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液5を収容して密閉可能とされた薬液タンク10と、この薬液タンク10に薬液供給パイプ7で接続され外部からの高圧気体の送気により上記薬液タンク10から供給される薬液5を負圧吸引して該薬液5を噴射するノズル11と、上記薬液タンク10内に形成される負圧空間Sに対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段12とを備え、上記正圧供給手段12により薬液タンク10に供給する正圧ガスの流量を調整することによって上記ノズル11への薬液5の供給流量を制御するものである。これにより、薬液タンク10からの薬液5を負圧吸引して噴射するノズル11を利用して薬液供給を微少流量で制御できる。 (もっと読む)


【課題】 薬液供給システムにおいて、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液5を収容して密閉可能とされた薬液タンク10と、この薬液タンクに薬液供給パイプ7で接続され外部からの高圧気体の送気により上記薬液タンクから供給される薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズル11と、上記薬液タンクの上面に接続され内部空間Sの空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段12と、上記薬液タンク内に形成される負圧空間に対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段13とを備え、上記正圧供給手段により薬液タンクに供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズルへの薬液の供給流量を制御するものである。これにより、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給を微少流量で制御できる。 (もっと読む)


41 - 45 / 45