【課題】ガスカーテンを生成する装置の簡単な配置と構成並びに長い寿命が極端な熱負荷の際にも可能である、放射プラズマの直接的な近傍でガスカーテンを生成する新たな可能性を見い出す。
【解決手段】幅広で平らなガスカーテン（１８；１９）の生成用の超音波ノズル輪郭部（１１）を形成するスリットノズル（１）が複数の部分ボディ（１４、１５；２）から組み立てられていて、これらの部分ボディが、スリットノズル（１）のガス導入部分（１４）及びガス排出部分（１５）で熱的な且つ精密機械的な様々な要求を適えるために異なる材料から成ること。 （もっと読む）

【課題】円周曲面を有する基材にノズルからエアロゾルを吐出するときエアロゾルの相互干渉を低減可能な被膜形成装置を提供する。
【解決手段】微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを、真空チャンバー５内でエアロゾル吐出ノズルから円周曲面を有する基材８上に吐出し衝突させて成膜を行なう被膜形成装置４であって、上記エアロゾル吐出ノズル１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅを複数設け、上記基材８の径方向断面の円周上に少なくとも一つ以上重ならないように割付けて配置して、かつ、同時に吐出する。 （もっと読む）

【課題】エアロゾル吐出ノズル廻りでの微粒子の堆積の発生が抑制され、長時間にわたり安定して緻密で均一な被膜を形成可能なエアロゾル吐出ノズル、および該ノズルを用いた被膜形成装置を提供する。
【解決手段】微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを搬送するエアロゾル配管１に接続され、基材の成膜部に向けてエアロゾルを吐出するエアロゾル吐出ノズル２であって、該エアロゾル吐出ノズル２は、エアロゾルが通過するエアロゾル通過空間を有するノズル本体と、エアロゾル配管１の導出開口１ａに接続されてエアロゾルを導入する導入開口２ｃと、エアロゾルを吐出させる矩形の吐出開口２ｂとを具備し、導入開口２ｃが、エアロゾル配管１の導出開口１ａと同一形状もしくは類似形状を有し、導入開口２ｃの内壁面と、導出開口１ａの内壁面とが段差なく連続的に接続されてなる。 （もっと読む）

【課題】基板に対して衝撃やダメージを与えることなく、大流量の処理液を供給（吐出）することができ、かつ、処理液の供給（吐出）停止時には、ノズルからの液ダレやボタ落ちを防止できるようにする。
【解決手段】回転基台にて保持されるガラス基板Ｇに処理液であるリンス液を供給する処理液供給装置において、リンス液供給源３４に接続される供給管路３５の先端部に装着されるノズル３３に、供給管路に連通する流通路３６を設け、このノズルの流通路内に、供給管路から導かれるリンス液の流れ方向に対して直交する断面領域において液保持力を有する、例えばメッシュ部材４０ａ，４０ｂ，４０ｃからなる液保持部材４０を設ける。これにより、ガラス基板に対して衝撃やダメージを与えることなく、大流量の処理液を供給（吐出）することができ、かつ、供給（吐出）の停止時には、ノズルからの液ダレやボタ落ちを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】長尺であっても反りなどの変形を抑制し、過熱水蒸気を安定に噴射できるスリットノズルを提供する。
【解決手段】スリットノズルは、過熱水蒸気を供給するための流体供給口１０を有する円筒状の内管１と、内管１の軸方向に間隔をおいて形成され、かつ過熱水蒸気を噴出させるための複数の開口部２と、内管１を収容する円筒状の外管３と、外管３内の過熱水蒸気を噴射させるためのスリット状噴射手段とを備えている。スリット状噴射手段は、外管の軸方向に間隔をおいて形成され、かつ外管内の過熱水蒸気を噴出させるための複数の噴射口４と、外管に配設され、噴射口からの過熱水蒸気をスリット状に噴射させるためのプレート状部材７とで構成されている。なお、前記の複数の開口部２は、前記噴射口４と非対向部位に形成され、また、複数の開口部２で構成された開口部列を周方向に間隔をおいて複数列備えていてもよい。 （もっと読む）

【課題】掃引能率と液体の回収性が両立するノズルおよび液体回収方法を実現する。
【解決手段】ノズルの先端から押出した液体で試料表面を掃引し、掃引後の液体をノズルで吸引して回収するにあたり、前記ノズル（１００）として、外縁(３１２)が先端方向に突き出た端面(３１０)と、前記端面において外縁近くまで偏心した開口(３２２)を有するノズルを用いる。掃引後の液体の吸引は、前記ノズルを前記開口の偏心方向とは反対方向に試料表面に沿って相対的に移動させながら行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、着弾特性・飛翔特性などの動作特性に優れたノズルプレート、ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】表面に開口した流路と、前記流路に連通した液室と、前記液室に連通し、裏面に開口したノズル孔と、を備え、前記液室は、前記裏面に対して略平行な平坦部を有し、前記ノズル孔は、前記平坦部において前記液室に連通してなることを特徴とするノズルプレートが提供される。 （もっと読む）

【課題】ガス噴射面に堆積する不要な付着膜を大幅に抑制してクリーニング処理等のメンテナンス頻度を少なくし、もってスループットを大幅に向上させることが可能なシャワーヘッド構造を提供する。
【解決手段】被処理体Ｗに対して所定の処理を施すために処理容器３４内の処理空間Ｓへ複数種類の所定のガスを噴射するシャワーヘッド構造６８において、内部に複数のガス拡散室８４、８６を有し、前記処理空間を臨む面が通気性のあるポーラス部材よりなるガス噴射板８０により区画された容器状のシャワーヘッド本体７０と、前記複数のガス拡散室の内で前記ガス噴射板と接しないガス拡散室から延びて前記ガス噴射板を貫通して設けられるガス噴射管７２とを備える。 （もっと読む）

【課題】より簡易且つ高精度に液体材料の気化量を制御することのできる気化装置及び気化装置用ジェットノズルを提供する。
【解決手段】ジェットノズルを構成するノズル単体２２は、液体材料を充填する充填室２５と、ピエゾ素子２８を収容する作動室２７とを備え、これら充填室２５及び作動室２７はダイアフラム２６にて仕切られている。充填室２５は、開口部２４へ向けてテーパ状に延びている。ピエゾ素子２８が伸長すると、ダイアフラム２６により充填室２５の容積の一部が排除される。これにより、充填室２５内の液体材料が開口部２４を介して噴出気化される。 （もっと読む）

【課題】従来よりも、シリンジの先端部との境目付近に生ずる気泡を低減すると共に、吐出に用いる液の利用率を向上することが可能な液吐出ノズルを提供する。
【解決手段】シリンジの先端部２２に取り付けられ、液体を吐出するノズル１であって、グリップ１１と、シリンジの先端部２２が嵌合する開口を有する嵌合開口部１２と、ノズル１をシリンジに固定するための固定部１３と、液体を吐出するニードル管１４と、嵌合開口部１２とニードル管１４の開口部とを連通させる連通開口部１５と、を備え、連通開口部１５が、嵌合開口部１２側の端面においてシリンジの先端部２２の開口との段差を低減するように、嵌合開口部１２よりも開口が小さくなった構成を有する。また、連通開口部１５には、嵌合開口部１２側の端面にシリンジの先端部２２を位置合わせする位置合構造１６ａが設けられている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、噴霧分布の均等性を向上しつつ、衝突力及び洗浄力を向上できる二流体ノズルおよびそれを用いた噴霧方法を提供する。
【解決手段】二流体ノズルは、互いに対向する一対の長尺なユニット１，７間に形成された混合空間６と、少なくとも一方のユニット１，７に形成され、かつ前記混合空間に臨む気体噴射口３及び液体噴射口９と、前記混合空間６で混合された混合ミストを吐出するためのスリット状吐出口１５とを備えている。気体噴射口３及び液体噴射口９の上流側には流体溜部としてのチャンバ４，１０，１３と、各チャンバに連なる気体供給口５及び液体供給口１４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】安定した吐出特性を有するとともに、ノズル密度の高密度化を図ることができる液滴吐出用のノズルプレート及びその製造方法、並びに液滴吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１が、基板面に対して垂直な筒状の噴射口部分１１ａと、該噴射口部分１１ａと同軸上に設けられ該噴射口部分よりも径の大きい導入口部分とを有し、前記噴射口部分１１ａと前記導入口部分１１ｂとの境界部１１ｃがラッパ状に形成されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】大型基板を洗浄する場合でも、基板全面に均一に洗浄液を供給でき、しかも洗浄力を上げるために洗浄液の供給圧を高めても膨れなど変形を起こすことなく、噴射開口部の長手方向のどの部位でも、常にほぼ一定の噴射液量を維持することができる基板洗浄ノズルおよびそれを含む基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板洗浄ノズル２と、基板搬送手段３０と、洗浄液供給手段３１とを含む基板洗浄装置１において、基板洗浄ノズル２を、凹所が形成される第１の構成部材５と、第１の構成部材５との接合面２０が段差を有する第１平面部２０ａと第２平面部２０ｂとからなる第２の構成部材６との接合体であって、第１平面部２０ａが第１の構成部材５に当接し、第２平面部２０ｂが第１の構成部材５に当接しないように形成する。 （もっと読む）

【課題】搬送される被処理基板に対しスプレーノズルから現像液を噴射して現像処理を行う際、被処理基板の幅方向の現像液量を均一化するために、被処理基板端部に配設されたスプレーノズルの口径を中央部に配設されたスプレーノズル口径よりも大きくした現像装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被処理基板を搬送する搬送コンベア１１と、被処理基板搬入手段１０と、現像処理槽２０と、リンス・水洗槽３０と、被処理基板搬出手段４０とから構成されており、現像処理槽２０は、現像液を噴射する標準ノズル２１が所定個数取り付けられたマニホールドが被処理基板の幅方向に所定本数配置されており、両サイドの少なくとも１本のマニホールドに異口径ノズル２１ａを所定個数配置することにより、被処理基板５１の幅方向の現像液量を均一化したものである。 （もっと読む）

【課題】 基板の主面に密着強化剤を被着させた後に塗布膜を形成する基板処理において、基板の主面全体にわたって均一に密着強化剤を被着させることができる装置を提供する。
【解決手段】 スリット状の吐出口を有しＨＭＤＳの蒸気を含む密着強化用ガスを吐出口から基板Ｗの主面に向けて吐出するノズル１８と、基板Ｗを搬送してノズル１８の直下を通過させる複数の搬送ローラ１６とを有する密着強化処理部を備えた。 （もっと読む）

【課題】生産コストの低減及び生産期間の短縮を図ることができるガス噴射装置を提供する。
【解決手段】ガス噴射用プレート１５１は、ガス噴射側の面に形成された多数の第１孔部１１２、及び該第１孔部と連通して貫通孔を形成するように他側の面に形成された第２孔部１１６、を有するプレート本体１１０と、前記第１孔部１１２よりも開口面積が小さい第３孔部１６２を有して前記第２孔部１１６に装着されるノズルモジュール１６０と、からなり、前記第１孔部１１２と前記第３孔部１６２とが連通されて前記ガス噴射孔を形成する。 （もっと読む）

【課題】シリコーン樹脂をノズル基材に大気中で塗布して撥水層を形成すると撥水層とノズル基材の密着強度が得られず、撥水層が剥離する。
【解決手段】このノズル板３は、ノズル４となるノズル穴３４を形成したＮｉ金属プレートからなるノズル基材３１の吐出面側表面にシリコーン樹脂層からなる撥水層３２を形成してなり、ノズル基材３１と撥水層３２であるシリコーン樹脂層との間には酸化膜がなく、他方、ノズル基材３１のノズル穴３４の壁面３４ａには自然酸化膜又はノズル基材３１の接液性を向上するために別途形成した耐接液膜としての酸化膜３５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 マスキング等の複雑な手段を用いることなく、微細幅の溝加工を簡便に行えるウォータジェットノズル装置の提供。
【解決手段】 ウォータジェットノズル装置において、ハウジング内部に設置され、該ハウジング内に形成された流路内に超高圧水の噴流を噴射する噴射ノズルと、該噴射ノズルと同軸上の前記流路の端部側に設置され、前記噴射ノズルから噴射された噴流を導入して被加工面に向けて噴射する絞りノズルとを備えた。 （もっと読む）

【課題】高い効率で基板の処理面の略全表面にオゾン水を噴射させることができるオゾン水噴射ノズルを提供する。
【解決手段】オゾン水を用いて基板表面のレジストを除去する際に使用されるオゾン水噴射ノズルであって、前記基板の処理面の全表面に対応する位置に複数の噴射孔が形成されており、前記噴射孔は、隣接する噴射孔間の距離が１０ｍｍ以下であり、かつ、前記オゾン水の噴射方向に垂直な方向に回転させたときに、前記オゾン水の噴射方向に垂直な任意の平面上で前記噴射孔の中心に対応する点の描く軌跡が重ならないように配置されているオゾン水噴射ノズル。 （もっと読む）

【課題】高い圧力をかけてオゾン水を噴射しても漏れや劣化を生じることなく、基板上のレジストを除去することができるオゾン水噴射チューブノズルを提供する。
【解決手段】オゾン水を用いて基板表面のレジストを除去する際に使用されるオゾン水噴射チューブノズルであって、前記オゾン水を前記基板表面に噴射する噴射孔が設けられたチューブと、前記チューブの一端に螺合可能なボルトと、前記チューブの外周部の前記ボルトが螺合された部分に装着されるカラーとから構成されるオゾン水噴射チューブノズル。 （もっと読む）