ノズルプレート、ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出装置
【課題】本発明は、着弾特性・飛翔特性などの動作特性に優れたノズルプレート、ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】表面に開口した流路と、前記流路に連通した液室と、前記液室に連通し、裏面に開口したノズル孔と、を備え、前記液室は、前記裏面に対して略平行な平坦部を有し、前記ノズル孔は、前記平坦部において前記液室に連通してなることを特徴とするノズルプレートが提供される。
【解決手段】表面に開口した流路と、前記流路に連通した液室と、前記液室に連通し、裏面に開口したノズル孔と、を備え、前記液室は、前記裏面に対して略平行な平坦部を有し、前記ノズル孔は、前記平坦部において前記液室に連通してなることを特徴とするノズルプレートが提供される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ノズルプレート、ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【0002】
民生用プリンタなどの記録装置、液晶表示装置や半導体装置などの製造に用いられる成膜装置においては、インクジェット法によりインクや膜素材を対象物に向けて吐出、飛翔させて着色や成膜を行う技術が知られている。
【0003】
このインクジェット法に用いられる液滴吐出ヘッドは、一般に「インクジェットヘッド」とも呼ばれ、精巧な技術を駆使して製造される精密部品から構成されている。特に、インクや膜素材が吐出されるノズル孔部分は、着弾特性・飛翔特性などの基本的な動作特性に大きな影響を与えるため、極めて高い加工精度が要求されている。
【0004】
このような、精巧でかつ高い加工精度が要求されるノズル孔部分の加工は極めて加工が難しく、その生産性は極めて低いものとなる。
そのため、ノズル孔部分の加工を容易にして生産性を向上させるために、ノズル孔部分を液滴吐出ヘッドのノズル本体と別個に構成して、それぞれを別加工した後に接着剤などで一体化する技術が提案されている(例えば、特許文献1を参照)。
【0005】
しかし、このような貼り合わせ技術においては、接着条件や接着面の管理が難しく製造プロセス上の安定性に欠け、ノズル孔位置のズレや接着剤のはみ出しなどの不具合を完全には防止することができなかった。
そのため、ノズル孔とノズル孔にインクを供給するインク流路とを一つのノズルプレートに設ける技術が提案されている(特許文献2、3を参照)。
【0006】
しかし、このような技術においては、インクの供給部からノズル孔開口部までの寸法、すなわち、ノズル長さの寸法がバラツキ、これが着弾特性・飛翔特性などの基本的な動作特性に悪影響を与えるという新たな問題を生じていた。
【特許文献1】特開平04−358841号公報
【特許文献2】特開2005−96188号公報
【特許文献3】特開2005−199430号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明は、着弾特性・飛翔特性などの動作特性に優れたノズルプレート、ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の一態様によれば、表面に開口した流路と、前記流路に連通した液室と、前記液室に連通し、裏面に開口したノズル孔と、を備え、前記液室は、前記裏面に対して略平行な平坦部を有し、前記ノズル孔は、前記平坦部において前記液室に連通してなることを特徴とするノズルプレートが提供される。
【0009】
また、本発明の他の一態様によれば、板状体の表面に開口した液室を形成し、前記液室の底部に平坦部を形成し、前記平坦部に連通し前記板状体の裏面に開口したノズル孔を形成すること、を特徴とするノズルプレートの製造方法が提供される。
【0010】
さらにまた、本発明の他の一態様によれば、前記ノズルプレートと、前記液室内の液体に圧力を加える加圧手段と、を備えることを特徴とする液滴吐出ヘッドが提供される。
【0011】
さらにまた、本発明の他の一態様によれば、前記ノズルプレートの製造方法によりノズルプレートを形成し、前記流路を覆うように前記加圧手段を設けること、を特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法が提供される。
【0012】
さらにまた、本発明の他の一態様によれば、前記液滴吐出ヘッドと、被処理物と前記液滴吐出ヘッドとの位置を相対的に移動させる移動手段と、液体を収納する液体収納手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置が提供される。
【発明の効果】
【0013】
本発明によれば、着弾特性・飛翔特性などの動作特性に優れたノズルプレート、ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【0014】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明をする。
図1は、本発明の実施の形態に係るノズルプレート11を備えた液滴吐出ヘッド1の模式断面図である。
図2は、液滴吐出ヘッド1の模式外観図である。
図2に例示するように、液滴吐出ヘッド1は、複数のノズル孔12を備えたいわゆるマルチノズル型の液滴吐出ヘッドである。また、図1は、図2のA−A方向の断面を拡大した図である。
【0015】
ここで、液滴吐出ヘッド1の駆動方式には、加熱により気泡を発生させ膜沸騰現象を利用して液体を吐出させる「サーマル型」と、圧電素子の屈曲変位を利用して液体を吐出させる「圧電型」と、があるが、説明の便宜上、ここでは圧電型を例にとって説明をする。
【0016】
図1に示すように、液滴吐出ヘッド1は、ノズルプレート11の上に設けられた可撓性膜3と、可撓性膜3の上に設けられた圧電素子4を備えている。「圧電型」の場合は、可撓性膜3と圧電素子4とが、液室9内の液体に圧力を加える加圧手段となる。圧電素子4は、下部材6、駆動電極7、上部材5、駆動電極8の順に積層した後、一体焼成したものである。このように一体焼成された圧電素子4は、強度が高く取扱も容易となる。
【0017】
ノズルプレート11の表面(上面)に開口するように、流路10が設けられ、流路10の開口部を覆うように可撓性膜3が設けられている。
流路10の開口部側と対向する面には、液室9が連通している。液室9は複数設けられ、それぞれの液室9に連通する流路10が、それぞれ存在する。
【0018】
液室9の一端(下方端)には、液室9に連通するように平坦部9aが設けられている。平坦部9aは、ノズルプレート11の裏面に対して略平行とされている。そして、平坦部9aにおいて、ノズル12aが連通している。すなわち、ノズル孔12の一端に設けられたテーパー部12aが開口し、このテーパー部12aを介して液室9とノズル孔12とが連通するようになっている。ノズル孔12の他端は、ノズルプレート11の裏面(下面)に開口している。ここで、テーパー部12aの体積は小さいので、これをノズル孔12の一部と見なすことができる。そのため、平坦部9a(液室9の下方端)からノズル孔12の開口部までの寸法が、ノズル長さLとなる。
【0019】
可撓性膜3の上面には、圧電素子4が設けられている。このとき、圧電素子4の屈曲変位による圧力波が液室9内の液体に伝わりやすくなるように、液室9の直上に圧電素子4を設けるようにすることが好ましい。
【0020】
ただし、これらの配置や形状は、図1に例示したものに限定されるわけではなく、種々の変更が可能である。例えば、それぞれの液室9が専用に設けられた流路10に連通していなくてもよく、一つの共通の流路10に複数の液室9が連通するようになっていてもよい。圧電素子4の構造上、下部材6が振動板、上部材5が圧電体となるが、これに限定されるわけではなく、また、変位を生じさせる各種の駆動形式をも採用することができる。
【0021】
ノズルプレート11の材質はステンレスやニッケル合金などとすることができ、可撓性膜3の材質はポリエチレンテレフタレートなどとすることができる。また、圧電素子4の下部材6と上部材5の材質は、圧電セラミックス(例えば、ジルコンチタン酸鉛)とすることができ、駆動電極7と駆動電極8は銅合金などとすることができる。ただし、これらの材質は、例示したものに限定されるわけではなく、種々の変更が可能である。例えば、ノズルプレート11の材質は、吐出させる液体に対する耐食性を有する樹脂、金属、半導体材料などから選択することができる。
【0022】
液滴吐出ヘッド1の主な部分の寸法を例示すれば、ノズルプレート11の厚みを1mm〜数mm程度、流路10の断面形状を高さ最大数mm程度(液室9の高さより薄い)×幅数100μm程度、円柱状の開孔であるノズル孔12の直径を20μm〜50μm程度、液室9の直径を250μm〜600μm程度、可撓性膜3の厚さを10μm程度、圧電素子4の厚さを30μm程度とすることができる。
【0023】
ノズル長さLは、50μm以上、150μm以下とすることが好ましい。50μm未満とすればノズル孔の開口部分付近の強度が低下し、液滴吐出時の内部圧力の上昇により、開口部分付近に変形が生ずる虞があるからである。また、150μmを越えるものとすれば、ノズル孔の加工性や吐出抵抗の増加の観点から好ましくないからである。
【0024】
ノズル孔12の直径を1とした場合、液室9の直径は、5以上、30以下とすることが好ましい。また、8以上、20以下とすることがより好ましい。30を越えるものとすれば、受圧面積が大きくなりすぎ、液滴吐出時の内部圧力の上昇により、開口部分付近に大きな力が働くので、開口部分付近に変形が生ずる虞があるからである。また、5未満とすれば液室9の深さ方向の加工精度(平坦部9aの位置精度)を上げることが困難となり、さらには液室9とノズル孔12の同芯度を確保することも容易ではなく後述する着弾特性・飛翔特性などの動作特性に問題が生じるからである。
【0025】
平坦部9aの平面度は10μm以下とすることが好ましい。10μmを越えるものとすれば、ノズル孔12加工時に加工誤差が生じるので、後述する着弾特性・飛翔特性などの動作特性に問題が生じるからである。
また、図では流路10の断面形状を矩形としたが、これに限られるわけではなく角に丸みを有したものであってもよい。これらの寸法や形状は、例示したものに限定されるわけではなく、種々の変更が可能である。
【0026】
ここで、本発明者は、検討の結果、吐出される液体を供給する部分である液室9の一端(下方端)からノズル孔12の開口部までの寸法、すなわち、ノズル長さLがばらつくと、これが着弾特性・飛翔特性などの基本的な動作特性に悪影響を与えるとの知見を得た。
【0027】
図3は、従来の液室の一端(下方端)付近を説明するための模式図である。
図3に示すように、ノズルプレート111に設けられた液室109の一端(下方端)には、テーパー部112aが設けられ、このテーパー部112aを介して液室109とノズル孔112とが連通するようになっている。この時のテーパー部112aの上部開口寸法は、液室109の断面寸法と略同一である。そして、ノズル孔112の他端は、ノズルプレート111の裏面(下面)に開口している。
【0028】
ノズルプレート111の場合は、液室109の一端(下方端)に、平坦部9aが設けられていない。また、テーパー部112aの断面寸法が大きく、テーパー部112aは液室109と同様に液体を供給するという機能を有する。そのため、テーパー部112aは、液室109の一部と見なすことができる。
【0029】
この場合、テーパー部112aとノズル孔112との接続部分である接続部112bからノズル孔112の開口部までの寸法がノズル長さL1となり、この接続部112bの位置精度がノズル長さの精度にとって重要な要素となる。
この接続部112bの位置は、ノズル孔112の加工時に決まるものであるが、従来はその位置精度までは考慮がされていなかった。
【0030】
図4は、ノズル孔の加工を説明するための模式図である。
液室109の加工においては、先端が円錐状をしたドリルを用いるのが一般的である。まず、図4(a)に示すように、ドリルによりノズルプレート111に孔をあける。加工後には、円錐状の先端109aを有する孔があくことになり、ストレート部分が液室109となる。
【0031】
次に、図4(b)に示すように、円錐状の先端109aを案内にしてノズル孔112の加工を行う。円錐状の先端109aの内、ノズル孔112の加工後に残った部分が、テーパー部112aとなる。また、テーパー部112aとノズル孔112との接続部分が、接続部112bとなる。
【0032】
ここで、円錐状の先端109aの寸法は、ドリル先端の研ぎ具合やドリル先端の摩耗などにより大きく変動する。その結果、接続部112bの位置が変動するので、ノズル長さL1の精度を高めることが困難となる。特に、図2に示したマルチノズル型のように多くのノズル孔を有するものでは、1つのノズルプレートの中で、全てのノズル長さL1を揃えることは極めて困難である。
【0033】
また、後述するように先端109aの表面は荒れているため、これを案内としてノズル孔112の加工を行うと、ノズル孔112が曲がってあき、ノズル孔112同士のピッチ寸法の精度が悪くなるという問題もある。
これに対し、本実施の形態に係るノズルプレート11においては、前述したように液室9の一端(下方端)に平坦部9aが設けられている。また、テーパー部12aも小さく、これをノズル孔12の一部と見なすことができる。そのため、平坦部9a(液室9の下方端)からノズル孔12の開口部までの寸法が、ノズル長さLとなる。この時、平坦部9aは位置精度や平面度を出すことが可能であるため、ノズル長さLの寸法精度を飛躍的に向上させることができる。その結果、着弾特性・飛翔特性などの動作特性を飛躍的に向上させることができる。
また、後述するように平坦部9aは平坦な面とすることができるので、直線性に優れたノズル孔12の加工をすることができ、ノズル孔12のピッチ寸法の精度も飛躍的に向上させることができる。
【0034】
図5は、着弾特性を説明するためのグラフ図である。
図5(a)は、図3,図4で説明をしたノズル孔112を備えるノズルプレート111の着弾特性を示し、図5(b)は、本実施形態に係るノズル孔12を備えるノズルプレート11の着弾特性を示したものである。この場合の着弾特性は、64個のノズル孔に対する着弾誤差をひとつのグラフ上にプロットしたものである。尚、ノズルプレート以外の条件は同一としている。また、図5(a)、(b)とも着弾目標は、グラフ図中央のC点としている。
【0035】
図5(a)に示すように、従来のノズル孔112を備えるノズルプレート111では、着弾位置が着弾目標であるC点を中心に2次元的拡がりをもってバラついていることが分かる。これに対し、図5(b)に示すように、本実施形態に係るノズル孔12を備えるノズルプレート11では、着弾目標であるC点付近に集中して着弾させることができることが分かる。
【0036】
図6は、ノズル孔のピッチ寸法精度を説明するためのグラフ図である。
図6(a)は、図3,図4で説明をしたノズル孔112のピッチ寸法精度を示し、図6(b)は、本実施形態に係るノズル孔12のピッチ寸法精度を示したものである。この時の測定対象は、図2に示したようなマルチノズル型のノズルプレートとした。グラフ図の横軸のノズル番号は、マルチノズルの個々のノズル孔を示し、縦軸はピッチ誤差を示している。
図6(a)、(b)から明らかなように、本実施形態に係るノズル孔12によれば、ノズル孔12のピッチ寸法の精度も飛躍的に向上させることができる。
【0037】
次に、液滴吐出ヘッド1の作用を説明する。
駆動電極7、駆動電極8に電圧を印加させると上部材5が下方に凸の屈曲変位をし、これに伴って積層構造の圧電素子4が下方に凸の屈曲変位をする。この屈曲変位は、図1中に波線で示すように、可撓性膜3を下方に押し下げ、液室9内の液体をノズル孔12の方向に向かって加圧する。そのため、屈曲変位に応じた液体がノズル孔12より吐出されることになる。
【0038】
吐出により減少した液体は、流路10を通じて図示しない液体収納手段から補充される。印加電圧を制御すれば圧電素子4の屈曲変位を制御することができるので、図示しない制御装置により印加電圧を制御して、吐出量の制御をすることができる。尚、圧電素子4の屈曲変位は可撓性膜3に吸収され、隣接する圧電素子や圧力室との間の相互干渉が防止される。
【0039】
次に、液滴吐出ヘッド1の製造方法について説明をする。
図7は、ノズルプレート11の加工に用いる加工手段13を例示するための模式図である。
フレーム14の上面にはX軸テーブル15が設けられ、X軸テーブル15上にはY軸テーブル16が設けられている。また、Y軸テーブル16上にはスペーサ17を介して回転スピンドル18が設けられ、回転スピンドル18には工具保持手段20が設けられている。
【0040】
また、工具保持手段20に保持された工具19は、図示しない工具交換手段により交換可能となっている。工具保持手段20に対向するように、フレーム14の上面にはZ軸テーブル21が設けられ、Z軸テーブル21には被加工物を保持するための保持手段22が設けられている。フレーム14の下面にはフット23が設けられている。
【0041】
X軸テーブル15はY軸テーブル16を図中のX軸方向に移動させる機能を有し、Y軸テーブル16はスペーサ17と回転スピンドル18を図中のY軸方向に移動させる機能を有する。回転スピンドル18は、工具保持手段20により保持された工具19を回転させる機能を有する。尚、スペーサ17は外部の振動が回転スピンドル18に伝わることを防止する機能を有していてもよい。
【0042】
Z軸テーブル21は、保持手段22に保持させた被加工物を図中のZ軸方向に移動させる機能を有する。フット23は外部からの振動がフレーム14に伝わることを防止するとともに、フレーム14の上面が水平となるよう調整する機能を有する。X軸テーブル15、Y軸テーブル16、Z軸テーブル21の位置制御や回転スピンドル18の回転制御などは図示しない制御手段により行われる。
【0043】
尚、図7に示した加工手段13はあくまで例示であり、これに限定されるわけではない。また、加工方式としても切削加工、ドライエッチング加工、ウェットエッチング加工、放電加工、レーザー加工、塑性加工などの各種の物理的・化学的除去方法を採用することができ、このような方法を必要に応じて適宜組み合わせることもできる。
【0044】
図8は、液滴吐出ヘッド1の製造方法を説明するための工程を示した断面図である。
尚、図1と同様の部分には同じ符号を付すことにする。
まず、図8(a)に示すように板材の外周を加工し、いわゆるブランク状態の板状体のノズルプレート11を作成する。
【0045】
次に、図8(b)に示すように、このブランク状態のノズルプレート11を前述した加工手段13の保持手段22に保持させ、工具保持手段20に保持させた工具19aを回転スピンドル18により回転させて、流路10を加工する。この際用いられる工具19aは、溝を切るのに適したものを使用することができる。また、図示しない制御手段により加工位置がX軸テーブル、Y軸テーブル、Z軸テーブルの移動により決められ、工具回転速度などの加工条件も適宜決められる。
【0046】
次に、図8(c)に示すように工具保持手段20に保持させた工具19bを回転スピンドル18により回転させて液室9を加工する。図8(c)に例示した工具19bは、ドリルであるが、これに限定されるわけではなく、孔をあけるのに適したものを適宜使用することができる。また、加工位置や加工条件などは前述の場合と同様に適宜決められる。尚、工具19bは図示しない工具交換手段により交換される。この段階では、液室9の底面側には円錐状の凹部が残ることになる。
【0047】
図8(d)は、液室9を加工する工具19cとしてエンドミルを用いた場合である。加工方法などは図8(c)の場合と同様のため説明は省略する。この場合においては、液室9の底面側には円錐状の凸部が残ることになる。
【0048】
次に、図8(e)に示すように、液室9の底面側に残る円錐状の凹部や凸部を除去し、平坦部9aを形成させる。図8(e)に例示した工具19dは、先端が平らで、かつ、先端部分にも切れ刃を有するものであるが、これに限定されるわけではなく、液室9の底面を平らに加工できるものであればよい。また、加工方法も適宜選択が可能であり、例えば、成形電極による型彫り放電加工、または細孔パイプ放電加工のようなものとすることもできる。尚、加工位置や加工条件などは前述の場合と同様に適宜決められ、工具19dも図示しない工具交換手段により交換される。
【0049】
次に、図8(f)に示すように、工具保持手段20に保持させた工具19eを回転スピンドル18により回転させて、ノズル孔12の下孔加工(センター孔加工)を行う。この下孔加工(センター孔加工)は、次のノズル孔12の加工の加工精度を上げるためのものである。
【0050】
具体的には、ノズル孔12よりやや径が大きく略V字の刃先形状を持つ工具19eで、略V字の凹み29を加工する。また、回転スピンドル18の回転を止め、工具19eを衝撃的に押し当てて塑性加工により凹み29を形成させるようにすることもできる。尚、工具19eは図示しない工具交換手段により交換される。
【0051】
次に、図8(g)に示すように、工具保持手段20に保持させた工具19fを回転スピンドル18により回転させて、ノズル孔12の孔加工を行う。このとき、略V字の凹み29のセンタリング作用により工具19fが案内されて工具19fの振れが押さえられ、また、いわゆる食いつきが良くなるので加工当初の切削性も良好となる。ノズル孔12の孔加工後、加工部分のバリ取り、加工屑の除去などを行う。
【0052】
このような手順の加工を行えば、真円度、同芯度、真直度、寸法精度、位置精度などの高い優れたノズル孔12を備えるノズルプレート11を得ることができる。
また、平坦部9aを形成させることができるため、さらに高いノズル孔の加工精度を得ることができ、前述したような着弾特性・飛翔特性などの動作特性やピッチ精度をも飛躍的に向上させることができる。
【0053】
このような高い精度のノズル孔12を備えるノズルプレート11は、ノズル孔付近の部材とノズルプレート本体とを別個に作り接着剤などで固着した場合や、大きめの孔をあけ電気メッキを施すことによりノズル孔開口寸法を縮小させる場合には得ることができない。
【0054】
次に、図8(h)に示すように、ノズルプレート11の流路10の上面に可撓性膜3をエポキシ系接着剤で液密になるように接着し、可撓性膜3の上面に圧電素子4を設置する。この際、液室9の真上に圧電素子4が設置されるようにする。尚、圧電素子4は、下部材6、駆動電極7、上部材5、駆動電極8の順に積層した後、一体焼成したものを予め製造しておく。このようにして、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド1が完成する。
【0055】
図9は、平坦部の加工状態を説明するための写真図面である。
図9(a)は、 図8(c)で説明をした液室9の底面側に残る円錐状の凹部を上方から(液室9側から)見た時の写真図面である。図9(a)から分かるように、円錐状の凹部には同心円状のパターンが見られ、寸法精度の悪さとともに面の表面もかなり荒れていることが分かる。尚、図8(d)で説明をした円錐状の凸部に関しても同様である。
【0056】
図9(b)は、図8(e)で説明をした切削加工をした後の平坦部9aを上方から(液室9側から)見た時の写真図面である。図9(b)から分かるように、平坦部9aには同心円状のパターンもなく、寸法精度とともに平面度もよいことが分かる。
【0057】
図9(c)は、図8(e)で説明をした成形電極による型彫り放電加工をした後の平坦部9aを上方から(液室9側から)見た時の写真図面である。図9(c)から分かるように、平坦部9aには同心円状のパターンもなく、寸法精度とともに平面度もよいことが分かる。
【0058】
次に、他の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの説明をする。
図10は、加熱により液体を吐出させるサーマル型液滴吐出ヘッドの構成を例示するための模式断面図である。
図1に関して前述したものと同様の要素には同一の記号を付し、異なる部分のみを主に説明する。
【0059】
液滴吐出ヘッド32は、ノズルプレート11上に保護膜34を設置し、さらに保護膜34上に発熱素子33を設置している。「サーマル型」の場合は、保護膜34と発熱素子33とが、液室9内の液体に圧力を加える加圧手段となる。発熱素子33は電気抵抗材料からなる抵抗薄膜により形成され、図示しない電力供給手段から電力が供給されるとジュール発熱を起こす。保護膜34は酸化珪素や窒化珪素などの無機材料により形成されている。保護膜34は厚さが2μm程度、発熱素子33は厚さが3μm程度とすることができる。ただし、これらの配列、形状、寸法、材質は図8に例示したものに限定されるわけではなく、種々の変更が可能である。
【0060】
次に、液滴吐出ヘッド32の作用を説明する。図示しない電力供給手段から電力を発熱素子33に供給して発熱素子33を発熱させる。発熱素子33の発熱により液中に気泡35が発生する。発生した気泡35の圧力により液室9内の液体をノズル孔12方向に加圧する。圧力に応じた液体がノズル孔12より吐出される。吐出により減少した液体は、流路10を通じて図示しない液体供給手段から補充される。発生した気泡35は周囲の液体に熱を取られて収縮するように消滅し、次の発熱、気泡の発生を待つ。この一連の過程で供給電力を制御すれば気泡35の大きさやその発生のタイミングを制御することができるので、図示しない制御装置により供給電力の制御をすれば、吐出量や吐出タイミングの制御をすることができる。
【0061】
液滴吐出ヘッド32の製造方法は、可撓性膜3が保護膜34に、圧電素子4が発熱素子33に代わるほかは図8に関して前述したものと同様であるため説明は省略する。
以上説明したように、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、前述したノズル孔を設けたノズルプレートを備えているので、着弾特性・飛翔特性などの動作特性がよく、また、ピッチ精度も飛躍的に向上させることができる。
【0062】
次に、液滴吐出装置50の説明をする。
図11は、液滴吐出装置50を例示するための模式図である。
図11に示すように、液滴吐出装置50は、被処理物51に向かって液体52を吐出させるための液滴吐出ヘッド1と、基板などの被処理物51を載置・保持したまま移動させることができる移動手段53と、液滴吐出ヘッド1を保持するための保持手段54と、液体52を収納するタンクなどの液体収納手段55とを備えている。液滴吐出ヘッド1と液体収納手段55とは、チューブ56で接続され、液体52が液滴吐出ヘッド1に供給可能となっている。尚、液滴吐出ヘッド1は、本発明に係る液滴吐出ヘッドであればよく、例えば、液滴吐出ヘッド32とすることもできる。また、図11は、概略構成を示したものであり、これらの他にも、例えば、液滴吐出装置50の動作を制御する制御手段、余剰となった液体52の排出手段などを設けることができる。
【0063】
このような液滴吐出装置50は、例えば、液晶表示装置の配向膜の形成、カラーフィルタの着色部の形成、半導体装置基板上のフォトレジスト膜の形成などのような薄膜形成に用いることができる。そのため、液体52についても、配向膜材料、赤(R)・緑(G)・青(B)などの染料、フォトレジスト液、液晶中にギャップ制御用のスペーサが混入されたものなど各種の液体を用いることができる。
【0064】
次に、液滴吐出装置50の作用を説明する。
まず、被処理物51を移動手段53上に載置し、保持させる。次に、液滴吐出ヘッド1から液体52を被処理物51に向かって吐出させる。次に、移動手段53により、被処理物51を移動させて、次に処理がされる部分が液滴吐出ヘッド1の下方に来るようにする。以下、前述の手順を繰り返して、被処理物51上に成膜などの処理を行う。この際、チューブ56を介して、液体52が液体収納手段55から液滴吐出ヘッド1へと供給される。
【0065】
ここで、移動手段53の移動は、1軸方向(例えば、紙面の厚み方向)、2軸方向(水平方向)、3軸方向、回転方向であってもよいし、液滴吐出ヘッド1と被処理物51との相対位置を変えることができれば、どちらを移動させるようにしてもよい。具体的には、X−Yテーブル、コンベア、スピンテーブル、工業用ロボットなどを例示することができる。また、液体収納手段55から液滴吐出ヘッド1への液体の供給は、特別な装置を用いず位置水頭などを利用したものであってもよいし、ポンプなどの送液手段を用いたものであってもよい。
【0066】
尚、本実施の形態に係る液滴吐出装置を薄膜形成に用いることができるもので説明をしたが、これに限定されるわけではなく、例えば、紙面に文字や図柄を印刷するためのいわゆるインクジェット記録装置にも適応することができる。この場合、本実施の形態に係る液滴吐出ヘッド以外のインクジェット記録装置の構成は、公知のものを用いることができるので説明は省略する。
【0067】
本実施の形態における液滴吐出装置は、前述したノズル孔を設けた液滴吐出ヘッドを用いているので、着弾特性・飛翔特性などの動作特性がよく、また、ピッチ精度が飛躍的に向上した精度の高い吐出をすることができる。このことは、例えば、カラーフィルタの着色部の形成などのように高い着弾特性が要求されるような場合に特に有用となる。
【0068】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明をした。しかし、本発明はこれらの具体例に限定されるものではない。
前述の具体例に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
【0069】
例えば、本発明はマルチノズル型の液滴吐出ヘッドのみならず単一のノズル孔を有する液滴吐出ヘッドなどにも適用することができる。可撓性膜3も、吐出される液体が圧電素子4に浸透することを遮蔽でき、可撓性を有するものであれば、例示した樹脂膜に限らず金属膜などいかなる材料を用いてもよい。圧電素子4も2層構造に限られず3層以上であってもよいし、材質も例示したものには限られない。また、一体焼成型積層圧電素子でなくてもよい。可撓性膜3上に圧電素子4を設置する際にも、エポキシ系接着剤を始めとする接合方法で固定することができる。保護膜34についても吐出される液体が発熱素子34に浸透することを遮蔽でき、耐熱性を有するものであれば、例示した無機材料に限られない。発熱素子34と保護膜35、保護膜35とノズルプレート11との接合方法も、エポキシ系接着剤などに限らず他の接合方法を用いることもできる。
【0070】
また、具体例として例示した、ノズルプレート、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置などの各要素の形状、寸法、材質、配置などは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更をすることができる。例えば、ノズル孔部分の形状に関しても図12(a)に示すように、ノズル孔開口部付近で多段状としたもの、図12(b)に示すようにテーパー部12aの加工を省いて液室9にノズル孔12が直接連通するようにしたもの、図12(c)に示すようにテーパー部12aの加工を省き、かつ、ノズル孔開口部付近で多段状としたものなどのようにすることもできる。
【0071】
また、前述した各具体例が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
また、ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法として説明をした各加工方法も例示したものに限定されるわけではなく適宜変更をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【0072】
【図1】本発明の実施の形態に係るノズルプレートを備えた液滴吐出ヘッドの模式断面図である。
【図2】液滴吐出ヘッドの模式外観図である。
【図3】従来の液室の一端(下方端)付近を説明するための模式図である。
【図4】ノズル孔の加工を説明するための模式図である。
【図5】着弾特性を説明するためのグラフ図である。
【図6】ノズル孔のピッチ寸法精度を説明するためのグラフ図である。
【図7】ノズルプレートの加工に用いる加工手段を例示するための模式図である。
【図8】液滴吐出ヘッドの製造方法を説明するための工程断面図である。
【図9】平坦部の加工状態を説明するための写真図面である。
【図10】加熱により液体を吐出させるサーマル型液滴吐出ヘッドの構成を例示するための模式断面図である。
【図11】液滴吐出装置を例示するための模式図である。
【図12】ノズル孔開口部付近の他の実施例を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【0073】
1 液滴吐出ヘッド、9 液室、9a 平坦部、11 ノズルプレート、12 ノズル孔、13 加工手段、32 液滴吐出ヘッド、50 液滴吐出装置、L ノズル長さ
【技術分野】
【0001】
本発明は、ノズルプレート、ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【0002】
民生用プリンタなどの記録装置、液晶表示装置や半導体装置などの製造に用いられる成膜装置においては、インクジェット法によりインクや膜素材を対象物に向けて吐出、飛翔させて着色や成膜を行う技術が知られている。
【0003】
このインクジェット法に用いられる液滴吐出ヘッドは、一般に「インクジェットヘッド」とも呼ばれ、精巧な技術を駆使して製造される精密部品から構成されている。特に、インクや膜素材が吐出されるノズル孔部分は、着弾特性・飛翔特性などの基本的な動作特性に大きな影響を与えるため、極めて高い加工精度が要求されている。
【0004】
このような、精巧でかつ高い加工精度が要求されるノズル孔部分の加工は極めて加工が難しく、その生産性は極めて低いものとなる。
そのため、ノズル孔部分の加工を容易にして生産性を向上させるために、ノズル孔部分を液滴吐出ヘッドのノズル本体と別個に構成して、それぞれを別加工した後に接着剤などで一体化する技術が提案されている(例えば、特許文献1を参照)。
【0005】
しかし、このような貼り合わせ技術においては、接着条件や接着面の管理が難しく製造プロセス上の安定性に欠け、ノズル孔位置のズレや接着剤のはみ出しなどの不具合を完全には防止することができなかった。
そのため、ノズル孔とノズル孔にインクを供給するインク流路とを一つのノズルプレートに設ける技術が提案されている(特許文献2、3を参照)。
【0006】
しかし、このような技術においては、インクの供給部からノズル孔開口部までの寸法、すなわち、ノズル長さの寸法がバラツキ、これが着弾特性・飛翔特性などの基本的な動作特性に悪影響を与えるという新たな問題を生じていた。
【特許文献1】特開平04−358841号公報
【特許文献2】特開2005−96188号公報
【特許文献3】特開2005−199430号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明は、着弾特性・飛翔特性などの動作特性に優れたノズルプレート、ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の一態様によれば、表面に開口した流路と、前記流路に連通した液室と、前記液室に連通し、裏面に開口したノズル孔と、を備え、前記液室は、前記裏面に対して略平行な平坦部を有し、前記ノズル孔は、前記平坦部において前記液室に連通してなることを特徴とするノズルプレートが提供される。
【0009】
また、本発明の他の一態様によれば、板状体の表面に開口した液室を形成し、前記液室の底部に平坦部を形成し、前記平坦部に連通し前記板状体の裏面に開口したノズル孔を形成すること、を特徴とするノズルプレートの製造方法が提供される。
【0010】
さらにまた、本発明の他の一態様によれば、前記ノズルプレートと、前記液室内の液体に圧力を加える加圧手段と、を備えることを特徴とする液滴吐出ヘッドが提供される。
【0011】
さらにまた、本発明の他の一態様によれば、前記ノズルプレートの製造方法によりノズルプレートを形成し、前記流路を覆うように前記加圧手段を設けること、を特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法が提供される。
【0012】
さらにまた、本発明の他の一態様によれば、前記液滴吐出ヘッドと、被処理物と前記液滴吐出ヘッドとの位置を相対的に移動させる移動手段と、液体を収納する液体収納手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置が提供される。
【発明の効果】
【0013】
本発明によれば、着弾特性・飛翔特性などの動作特性に優れたノズルプレート、ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【0014】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明をする。
図1は、本発明の実施の形態に係るノズルプレート11を備えた液滴吐出ヘッド1の模式断面図である。
図2は、液滴吐出ヘッド1の模式外観図である。
図2に例示するように、液滴吐出ヘッド1は、複数のノズル孔12を備えたいわゆるマルチノズル型の液滴吐出ヘッドである。また、図1は、図2のA−A方向の断面を拡大した図である。
【0015】
ここで、液滴吐出ヘッド1の駆動方式には、加熱により気泡を発生させ膜沸騰現象を利用して液体を吐出させる「サーマル型」と、圧電素子の屈曲変位を利用して液体を吐出させる「圧電型」と、があるが、説明の便宜上、ここでは圧電型を例にとって説明をする。
【0016】
図1に示すように、液滴吐出ヘッド1は、ノズルプレート11の上に設けられた可撓性膜3と、可撓性膜3の上に設けられた圧電素子4を備えている。「圧電型」の場合は、可撓性膜3と圧電素子4とが、液室9内の液体に圧力を加える加圧手段となる。圧電素子4は、下部材6、駆動電極7、上部材5、駆動電極8の順に積層した後、一体焼成したものである。このように一体焼成された圧電素子4は、強度が高く取扱も容易となる。
【0017】
ノズルプレート11の表面(上面)に開口するように、流路10が設けられ、流路10の開口部を覆うように可撓性膜3が設けられている。
流路10の開口部側と対向する面には、液室9が連通している。液室9は複数設けられ、それぞれの液室9に連通する流路10が、それぞれ存在する。
【0018】
液室9の一端(下方端)には、液室9に連通するように平坦部9aが設けられている。平坦部9aは、ノズルプレート11の裏面に対して略平行とされている。そして、平坦部9aにおいて、ノズル12aが連通している。すなわち、ノズル孔12の一端に設けられたテーパー部12aが開口し、このテーパー部12aを介して液室9とノズル孔12とが連通するようになっている。ノズル孔12の他端は、ノズルプレート11の裏面(下面)に開口している。ここで、テーパー部12aの体積は小さいので、これをノズル孔12の一部と見なすことができる。そのため、平坦部9a(液室9の下方端)からノズル孔12の開口部までの寸法が、ノズル長さLとなる。
【0019】
可撓性膜3の上面には、圧電素子4が設けられている。このとき、圧電素子4の屈曲変位による圧力波が液室9内の液体に伝わりやすくなるように、液室9の直上に圧電素子4を設けるようにすることが好ましい。
【0020】
ただし、これらの配置や形状は、図1に例示したものに限定されるわけではなく、種々の変更が可能である。例えば、それぞれの液室9が専用に設けられた流路10に連通していなくてもよく、一つの共通の流路10に複数の液室9が連通するようになっていてもよい。圧電素子4の構造上、下部材6が振動板、上部材5が圧電体となるが、これに限定されるわけではなく、また、変位を生じさせる各種の駆動形式をも採用することができる。
【0021】
ノズルプレート11の材質はステンレスやニッケル合金などとすることができ、可撓性膜3の材質はポリエチレンテレフタレートなどとすることができる。また、圧電素子4の下部材6と上部材5の材質は、圧電セラミックス(例えば、ジルコンチタン酸鉛)とすることができ、駆動電極7と駆動電極8は銅合金などとすることができる。ただし、これらの材質は、例示したものに限定されるわけではなく、種々の変更が可能である。例えば、ノズルプレート11の材質は、吐出させる液体に対する耐食性を有する樹脂、金属、半導体材料などから選択することができる。
【0022】
液滴吐出ヘッド1の主な部分の寸法を例示すれば、ノズルプレート11の厚みを1mm〜数mm程度、流路10の断面形状を高さ最大数mm程度(液室9の高さより薄い)×幅数100μm程度、円柱状の開孔であるノズル孔12の直径を20μm〜50μm程度、液室9の直径を250μm〜600μm程度、可撓性膜3の厚さを10μm程度、圧電素子4の厚さを30μm程度とすることができる。
【0023】
ノズル長さLは、50μm以上、150μm以下とすることが好ましい。50μm未満とすればノズル孔の開口部分付近の強度が低下し、液滴吐出時の内部圧力の上昇により、開口部分付近に変形が生ずる虞があるからである。また、150μmを越えるものとすれば、ノズル孔の加工性や吐出抵抗の増加の観点から好ましくないからである。
【0024】
ノズル孔12の直径を1とした場合、液室9の直径は、5以上、30以下とすることが好ましい。また、8以上、20以下とすることがより好ましい。30を越えるものとすれば、受圧面積が大きくなりすぎ、液滴吐出時の内部圧力の上昇により、開口部分付近に大きな力が働くので、開口部分付近に変形が生ずる虞があるからである。また、5未満とすれば液室9の深さ方向の加工精度(平坦部9aの位置精度)を上げることが困難となり、さらには液室9とノズル孔12の同芯度を確保することも容易ではなく後述する着弾特性・飛翔特性などの動作特性に問題が生じるからである。
【0025】
平坦部9aの平面度は10μm以下とすることが好ましい。10μmを越えるものとすれば、ノズル孔12加工時に加工誤差が生じるので、後述する着弾特性・飛翔特性などの動作特性に問題が生じるからである。
また、図では流路10の断面形状を矩形としたが、これに限られるわけではなく角に丸みを有したものであってもよい。これらの寸法や形状は、例示したものに限定されるわけではなく、種々の変更が可能である。
【0026】
ここで、本発明者は、検討の結果、吐出される液体を供給する部分である液室9の一端(下方端)からノズル孔12の開口部までの寸法、すなわち、ノズル長さLがばらつくと、これが着弾特性・飛翔特性などの基本的な動作特性に悪影響を与えるとの知見を得た。
【0027】
図3は、従来の液室の一端(下方端)付近を説明するための模式図である。
図3に示すように、ノズルプレート111に設けられた液室109の一端(下方端)には、テーパー部112aが設けられ、このテーパー部112aを介して液室109とノズル孔112とが連通するようになっている。この時のテーパー部112aの上部開口寸法は、液室109の断面寸法と略同一である。そして、ノズル孔112の他端は、ノズルプレート111の裏面(下面)に開口している。
【0028】
ノズルプレート111の場合は、液室109の一端(下方端)に、平坦部9aが設けられていない。また、テーパー部112aの断面寸法が大きく、テーパー部112aは液室109と同様に液体を供給するという機能を有する。そのため、テーパー部112aは、液室109の一部と見なすことができる。
【0029】
この場合、テーパー部112aとノズル孔112との接続部分である接続部112bからノズル孔112の開口部までの寸法がノズル長さL1となり、この接続部112bの位置精度がノズル長さの精度にとって重要な要素となる。
この接続部112bの位置は、ノズル孔112の加工時に決まるものであるが、従来はその位置精度までは考慮がされていなかった。
【0030】
図4は、ノズル孔の加工を説明するための模式図である。
液室109の加工においては、先端が円錐状をしたドリルを用いるのが一般的である。まず、図4(a)に示すように、ドリルによりノズルプレート111に孔をあける。加工後には、円錐状の先端109aを有する孔があくことになり、ストレート部分が液室109となる。
【0031】
次に、図4(b)に示すように、円錐状の先端109aを案内にしてノズル孔112の加工を行う。円錐状の先端109aの内、ノズル孔112の加工後に残った部分が、テーパー部112aとなる。また、テーパー部112aとノズル孔112との接続部分が、接続部112bとなる。
【0032】
ここで、円錐状の先端109aの寸法は、ドリル先端の研ぎ具合やドリル先端の摩耗などにより大きく変動する。その結果、接続部112bの位置が変動するので、ノズル長さL1の精度を高めることが困難となる。特に、図2に示したマルチノズル型のように多くのノズル孔を有するものでは、1つのノズルプレートの中で、全てのノズル長さL1を揃えることは極めて困難である。
【0033】
また、後述するように先端109aの表面は荒れているため、これを案内としてノズル孔112の加工を行うと、ノズル孔112が曲がってあき、ノズル孔112同士のピッチ寸法の精度が悪くなるという問題もある。
これに対し、本実施の形態に係るノズルプレート11においては、前述したように液室9の一端(下方端)に平坦部9aが設けられている。また、テーパー部12aも小さく、これをノズル孔12の一部と見なすことができる。そのため、平坦部9a(液室9の下方端)からノズル孔12の開口部までの寸法が、ノズル長さLとなる。この時、平坦部9aは位置精度や平面度を出すことが可能であるため、ノズル長さLの寸法精度を飛躍的に向上させることができる。その結果、着弾特性・飛翔特性などの動作特性を飛躍的に向上させることができる。
また、後述するように平坦部9aは平坦な面とすることができるので、直線性に優れたノズル孔12の加工をすることができ、ノズル孔12のピッチ寸法の精度も飛躍的に向上させることができる。
【0034】
図5は、着弾特性を説明するためのグラフ図である。
図5(a)は、図3,図4で説明をしたノズル孔112を備えるノズルプレート111の着弾特性を示し、図5(b)は、本実施形態に係るノズル孔12を備えるノズルプレート11の着弾特性を示したものである。この場合の着弾特性は、64個のノズル孔に対する着弾誤差をひとつのグラフ上にプロットしたものである。尚、ノズルプレート以外の条件は同一としている。また、図5(a)、(b)とも着弾目標は、グラフ図中央のC点としている。
【0035】
図5(a)に示すように、従来のノズル孔112を備えるノズルプレート111では、着弾位置が着弾目標であるC点を中心に2次元的拡がりをもってバラついていることが分かる。これに対し、図5(b)に示すように、本実施形態に係るノズル孔12を備えるノズルプレート11では、着弾目標であるC点付近に集中して着弾させることができることが分かる。
【0036】
図6は、ノズル孔のピッチ寸法精度を説明するためのグラフ図である。
図6(a)は、図3,図4で説明をしたノズル孔112のピッチ寸法精度を示し、図6(b)は、本実施形態に係るノズル孔12のピッチ寸法精度を示したものである。この時の測定対象は、図2に示したようなマルチノズル型のノズルプレートとした。グラフ図の横軸のノズル番号は、マルチノズルの個々のノズル孔を示し、縦軸はピッチ誤差を示している。
図6(a)、(b)から明らかなように、本実施形態に係るノズル孔12によれば、ノズル孔12のピッチ寸法の精度も飛躍的に向上させることができる。
【0037】
次に、液滴吐出ヘッド1の作用を説明する。
駆動電極7、駆動電極8に電圧を印加させると上部材5が下方に凸の屈曲変位をし、これに伴って積層構造の圧電素子4が下方に凸の屈曲変位をする。この屈曲変位は、図1中に波線で示すように、可撓性膜3を下方に押し下げ、液室9内の液体をノズル孔12の方向に向かって加圧する。そのため、屈曲変位に応じた液体がノズル孔12より吐出されることになる。
【0038】
吐出により減少した液体は、流路10を通じて図示しない液体収納手段から補充される。印加電圧を制御すれば圧電素子4の屈曲変位を制御することができるので、図示しない制御装置により印加電圧を制御して、吐出量の制御をすることができる。尚、圧電素子4の屈曲変位は可撓性膜3に吸収され、隣接する圧電素子や圧力室との間の相互干渉が防止される。
【0039】
次に、液滴吐出ヘッド1の製造方法について説明をする。
図7は、ノズルプレート11の加工に用いる加工手段13を例示するための模式図である。
フレーム14の上面にはX軸テーブル15が設けられ、X軸テーブル15上にはY軸テーブル16が設けられている。また、Y軸テーブル16上にはスペーサ17を介して回転スピンドル18が設けられ、回転スピンドル18には工具保持手段20が設けられている。
【0040】
また、工具保持手段20に保持された工具19は、図示しない工具交換手段により交換可能となっている。工具保持手段20に対向するように、フレーム14の上面にはZ軸テーブル21が設けられ、Z軸テーブル21には被加工物を保持するための保持手段22が設けられている。フレーム14の下面にはフット23が設けられている。
【0041】
X軸テーブル15はY軸テーブル16を図中のX軸方向に移動させる機能を有し、Y軸テーブル16はスペーサ17と回転スピンドル18を図中のY軸方向に移動させる機能を有する。回転スピンドル18は、工具保持手段20により保持された工具19を回転させる機能を有する。尚、スペーサ17は外部の振動が回転スピンドル18に伝わることを防止する機能を有していてもよい。
【0042】
Z軸テーブル21は、保持手段22に保持させた被加工物を図中のZ軸方向に移動させる機能を有する。フット23は外部からの振動がフレーム14に伝わることを防止するとともに、フレーム14の上面が水平となるよう調整する機能を有する。X軸テーブル15、Y軸テーブル16、Z軸テーブル21の位置制御や回転スピンドル18の回転制御などは図示しない制御手段により行われる。
【0043】
尚、図7に示した加工手段13はあくまで例示であり、これに限定されるわけではない。また、加工方式としても切削加工、ドライエッチング加工、ウェットエッチング加工、放電加工、レーザー加工、塑性加工などの各種の物理的・化学的除去方法を採用することができ、このような方法を必要に応じて適宜組み合わせることもできる。
【0044】
図8は、液滴吐出ヘッド1の製造方法を説明するための工程を示した断面図である。
尚、図1と同様の部分には同じ符号を付すことにする。
まず、図8(a)に示すように板材の外周を加工し、いわゆるブランク状態の板状体のノズルプレート11を作成する。
【0045】
次に、図8(b)に示すように、このブランク状態のノズルプレート11を前述した加工手段13の保持手段22に保持させ、工具保持手段20に保持させた工具19aを回転スピンドル18により回転させて、流路10を加工する。この際用いられる工具19aは、溝を切るのに適したものを使用することができる。また、図示しない制御手段により加工位置がX軸テーブル、Y軸テーブル、Z軸テーブルの移動により決められ、工具回転速度などの加工条件も適宜決められる。
【0046】
次に、図8(c)に示すように工具保持手段20に保持させた工具19bを回転スピンドル18により回転させて液室9を加工する。図8(c)に例示した工具19bは、ドリルであるが、これに限定されるわけではなく、孔をあけるのに適したものを適宜使用することができる。また、加工位置や加工条件などは前述の場合と同様に適宜決められる。尚、工具19bは図示しない工具交換手段により交換される。この段階では、液室9の底面側には円錐状の凹部が残ることになる。
【0047】
図8(d)は、液室9を加工する工具19cとしてエンドミルを用いた場合である。加工方法などは図8(c)の場合と同様のため説明は省略する。この場合においては、液室9の底面側には円錐状の凸部が残ることになる。
【0048】
次に、図8(e)に示すように、液室9の底面側に残る円錐状の凹部や凸部を除去し、平坦部9aを形成させる。図8(e)に例示した工具19dは、先端が平らで、かつ、先端部分にも切れ刃を有するものであるが、これに限定されるわけではなく、液室9の底面を平らに加工できるものであればよい。また、加工方法も適宜選択が可能であり、例えば、成形電極による型彫り放電加工、または細孔パイプ放電加工のようなものとすることもできる。尚、加工位置や加工条件などは前述の場合と同様に適宜決められ、工具19dも図示しない工具交換手段により交換される。
【0049】
次に、図8(f)に示すように、工具保持手段20に保持させた工具19eを回転スピンドル18により回転させて、ノズル孔12の下孔加工(センター孔加工)を行う。この下孔加工(センター孔加工)は、次のノズル孔12の加工の加工精度を上げるためのものである。
【0050】
具体的には、ノズル孔12よりやや径が大きく略V字の刃先形状を持つ工具19eで、略V字の凹み29を加工する。また、回転スピンドル18の回転を止め、工具19eを衝撃的に押し当てて塑性加工により凹み29を形成させるようにすることもできる。尚、工具19eは図示しない工具交換手段により交換される。
【0051】
次に、図8(g)に示すように、工具保持手段20に保持させた工具19fを回転スピンドル18により回転させて、ノズル孔12の孔加工を行う。このとき、略V字の凹み29のセンタリング作用により工具19fが案内されて工具19fの振れが押さえられ、また、いわゆる食いつきが良くなるので加工当初の切削性も良好となる。ノズル孔12の孔加工後、加工部分のバリ取り、加工屑の除去などを行う。
【0052】
このような手順の加工を行えば、真円度、同芯度、真直度、寸法精度、位置精度などの高い優れたノズル孔12を備えるノズルプレート11を得ることができる。
また、平坦部9aを形成させることができるため、さらに高いノズル孔の加工精度を得ることができ、前述したような着弾特性・飛翔特性などの動作特性やピッチ精度をも飛躍的に向上させることができる。
【0053】
このような高い精度のノズル孔12を備えるノズルプレート11は、ノズル孔付近の部材とノズルプレート本体とを別個に作り接着剤などで固着した場合や、大きめの孔をあけ電気メッキを施すことによりノズル孔開口寸法を縮小させる場合には得ることができない。
【0054】
次に、図8(h)に示すように、ノズルプレート11の流路10の上面に可撓性膜3をエポキシ系接着剤で液密になるように接着し、可撓性膜3の上面に圧電素子4を設置する。この際、液室9の真上に圧電素子4が設置されるようにする。尚、圧電素子4は、下部材6、駆動電極7、上部材5、駆動電極8の順に積層した後、一体焼成したものを予め製造しておく。このようにして、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド1が完成する。
【0055】
図9は、平坦部の加工状態を説明するための写真図面である。
図9(a)は、 図8(c)で説明をした液室9の底面側に残る円錐状の凹部を上方から(液室9側から)見た時の写真図面である。図9(a)から分かるように、円錐状の凹部には同心円状のパターンが見られ、寸法精度の悪さとともに面の表面もかなり荒れていることが分かる。尚、図8(d)で説明をした円錐状の凸部に関しても同様である。
【0056】
図9(b)は、図8(e)で説明をした切削加工をした後の平坦部9aを上方から(液室9側から)見た時の写真図面である。図9(b)から分かるように、平坦部9aには同心円状のパターンもなく、寸法精度とともに平面度もよいことが分かる。
【0057】
図9(c)は、図8(e)で説明をした成形電極による型彫り放電加工をした後の平坦部9aを上方から(液室9側から)見た時の写真図面である。図9(c)から分かるように、平坦部9aには同心円状のパターンもなく、寸法精度とともに平面度もよいことが分かる。
【0058】
次に、他の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの説明をする。
図10は、加熱により液体を吐出させるサーマル型液滴吐出ヘッドの構成を例示するための模式断面図である。
図1に関して前述したものと同様の要素には同一の記号を付し、異なる部分のみを主に説明する。
【0059】
液滴吐出ヘッド32は、ノズルプレート11上に保護膜34を設置し、さらに保護膜34上に発熱素子33を設置している。「サーマル型」の場合は、保護膜34と発熱素子33とが、液室9内の液体に圧力を加える加圧手段となる。発熱素子33は電気抵抗材料からなる抵抗薄膜により形成され、図示しない電力供給手段から電力が供給されるとジュール発熱を起こす。保護膜34は酸化珪素や窒化珪素などの無機材料により形成されている。保護膜34は厚さが2μm程度、発熱素子33は厚さが3μm程度とすることができる。ただし、これらの配列、形状、寸法、材質は図8に例示したものに限定されるわけではなく、種々の変更が可能である。
【0060】
次に、液滴吐出ヘッド32の作用を説明する。図示しない電力供給手段から電力を発熱素子33に供給して発熱素子33を発熱させる。発熱素子33の発熱により液中に気泡35が発生する。発生した気泡35の圧力により液室9内の液体をノズル孔12方向に加圧する。圧力に応じた液体がノズル孔12より吐出される。吐出により減少した液体は、流路10を通じて図示しない液体供給手段から補充される。発生した気泡35は周囲の液体に熱を取られて収縮するように消滅し、次の発熱、気泡の発生を待つ。この一連の過程で供給電力を制御すれば気泡35の大きさやその発生のタイミングを制御することができるので、図示しない制御装置により供給電力の制御をすれば、吐出量や吐出タイミングの制御をすることができる。
【0061】
液滴吐出ヘッド32の製造方法は、可撓性膜3が保護膜34に、圧電素子4が発熱素子33に代わるほかは図8に関して前述したものと同様であるため説明は省略する。
以上説明したように、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、前述したノズル孔を設けたノズルプレートを備えているので、着弾特性・飛翔特性などの動作特性がよく、また、ピッチ精度も飛躍的に向上させることができる。
【0062】
次に、液滴吐出装置50の説明をする。
図11は、液滴吐出装置50を例示するための模式図である。
図11に示すように、液滴吐出装置50は、被処理物51に向かって液体52を吐出させるための液滴吐出ヘッド1と、基板などの被処理物51を載置・保持したまま移動させることができる移動手段53と、液滴吐出ヘッド1を保持するための保持手段54と、液体52を収納するタンクなどの液体収納手段55とを備えている。液滴吐出ヘッド1と液体収納手段55とは、チューブ56で接続され、液体52が液滴吐出ヘッド1に供給可能となっている。尚、液滴吐出ヘッド1は、本発明に係る液滴吐出ヘッドであればよく、例えば、液滴吐出ヘッド32とすることもできる。また、図11は、概略構成を示したものであり、これらの他にも、例えば、液滴吐出装置50の動作を制御する制御手段、余剰となった液体52の排出手段などを設けることができる。
【0063】
このような液滴吐出装置50は、例えば、液晶表示装置の配向膜の形成、カラーフィルタの着色部の形成、半導体装置基板上のフォトレジスト膜の形成などのような薄膜形成に用いることができる。そのため、液体52についても、配向膜材料、赤(R)・緑(G)・青(B)などの染料、フォトレジスト液、液晶中にギャップ制御用のスペーサが混入されたものなど各種の液体を用いることができる。
【0064】
次に、液滴吐出装置50の作用を説明する。
まず、被処理物51を移動手段53上に載置し、保持させる。次に、液滴吐出ヘッド1から液体52を被処理物51に向かって吐出させる。次に、移動手段53により、被処理物51を移動させて、次に処理がされる部分が液滴吐出ヘッド1の下方に来るようにする。以下、前述の手順を繰り返して、被処理物51上に成膜などの処理を行う。この際、チューブ56を介して、液体52が液体収納手段55から液滴吐出ヘッド1へと供給される。
【0065】
ここで、移動手段53の移動は、1軸方向(例えば、紙面の厚み方向)、2軸方向(水平方向)、3軸方向、回転方向であってもよいし、液滴吐出ヘッド1と被処理物51との相対位置を変えることができれば、どちらを移動させるようにしてもよい。具体的には、X−Yテーブル、コンベア、スピンテーブル、工業用ロボットなどを例示することができる。また、液体収納手段55から液滴吐出ヘッド1への液体の供給は、特別な装置を用いず位置水頭などを利用したものであってもよいし、ポンプなどの送液手段を用いたものであってもよい。
【0066】
尚、本実施の形態に係る液滴吐出装置を薄膜形成に用いることができるもので説明をしたが、これに限定されるわけではなく、例えば、紙面に文字や図柄を印刷するためのいわゆるインクジェット記録装置にも適応することができる。この場合、本実施の形態に係る液滴吐出ヘッド以外のインクジェット記録装置の構成は、公知のものを用いることができるので説明は省略する。
【0067】
本実施の形態における液滴吐出装置は、前述したノズル孔を設けた液滴吐出ヘッドを用いているので、着弾特性・飛翔特性などの動作特性がよく、また、ピッチ精度が飛躍的に向上した精度の高い吐出をすることができる。このことは、例えば、カラーフィルタの着色部の形成などのように高い着弾特性が要求されるような場合に特に有用となる。
【0068】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明をした。しかし、本発明はこれらの具体例に限定されるものではない。
前述の具体例に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
【0069】
例えば、本発明はマルチノズル型の液滴吐出ヘッドのみならず単一のノズル孔を有する液滴吐出ヘッドなどにも適用することができる。可撓性膜3も、吐出される液体が圧電素子4に浸透することを遮蔽でき、可撓性を有するものであれば、例示した樹脂膜に限らず金属膜などいかなる材料を用いてもよい。圧電素子4も2層構造に限られず3層以上であってもよいし、材質も例示したものには限られない。また、一体焼成型積層圧電素子でなくてもよい。可撓性膜3上に圧電素子4を設置する際にも、エポキシ系接着剤を始めとする接合方法で固定することができる。保護膜34についても吐出される液体が発熱素子34に浸透することを遮蔽でき、耐熱性を有するものであれば、例示した無機材料に限られない。発熱素子34と保護膜35、保護膜35とノズルプレート11との接合方法も、エポキシ系接着剤などに限らず他の接合方法を用いることもできる。
【0070】
また、具体例として例示した、ノズルプレート、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置などの各要素の形状、寸法、材質、配置などは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更をすることができる。例えば、ノズル孔部分の形状に関しても図12(a)に示すように、ノズル孔開口部付近で多段状としたもの、図12(b)に示すようにテーパー部12aの加工を省いて液室9にノズル孔12が直接連通するようにしたもの、図12(c)に示すようにテーパー部12aの加工を省き、かつ、ノズル孔開口部付近で多段状としたものなどのようにすることもできる。
【0071】
また、前述した各具体例が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
また、ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法として説明をした各加工方法も例示したものに限定されるわけではなく適宜変更をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【0072】
【図1】本発明の実施の形態に係るノズルプレートを備えた液滴吐出ヘッドの模式断面図である。
【図2】液滴吐出ヘッドの模式外観図である。
【図3】従来の液室の一端(下方端)付近を説明するための模式図である。
【図4】ノズル孔の加工を説明するための模式図である。
【図5】着弾特性を説明するためのグラフ図である。
【図6】ノズル孔のピッチ寸法精度を説明するためのグラフ図である。
【図7】ノズルプレートの加工に用いる加工手段を例示するための模式図である。
【図8】液滴吐出ヘッドの製造方法を説明するための工程断面図である。
【図9】平坦部の加工状態を説明するための写真図面である。
【図10】加熱により液体を吐出させるサーマル型液滴吐出ヘッドの構成を例示するための模式断面図である。
【図11】液滴吐出装置を例示するための模式図である。
【図12】ノズル孔開口部付近の他の実施例を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【0073】
1 液滴吐出ヘッド、9 液室、9a 平坦部、11 ノズルプレート、12 ノズル孔、13 加工手段、32 液滴吐出ヘッド、50 液滴吐出装置、L ノズル長さ
【特許請求の範囲】
【請求項1】
表面に開口した流路と、
前記流路に連通した液室と、
前記液室に連通し、裏面に開口したノズル孔と、
を備え、
前記液室は、前記裏面に対して略平行な平坦部を有し、
前記ノズル孔は、前記平坦部において前記液室に連通してなることを特徴とするノズルプレート。
【請求項2】
前記平坦部から前記ノズル孔の前記裏面における開口までの距離は、50μm以上、150μm以下であることを特徴とする請求項1記載のノズルプレート。
【請求項3】
前記ノズル孔の直径を1とした場合、前記液室の直径は、5以上、30以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のノズルプレート。
【請求項4】
前記平坦部の平面度は、10μm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のノズルプレート。
【請求項5】
板状体の表面に開口した液室を形成し、
前記液室の底部に平坦部を形成し、
前記平坦部に連通し前記板状体の裏面に開口したノズル孔を形成すること、
を特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項6】
請求項1〜4のいずれか一つに記載のノズルプレートと、
前記液室内の液体に圧力を加える加圧手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項7】
請求項5に記載のノズルプレートの製造方法によりノズルプレートを形成し、
前記流路を覆うように前記加圧手段を設けること、
を特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項8】
請求項6記載の液滴吐出ヘッドと、
被処理物と前記液滴吐出ヘッドとの位置を相対的に移動させる移動手段と、
液体を収納する液体収納手段と、
を備え
ことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項1】
表面に開口した流路と、
前記流路に連通した液室と、
前記液室に連通し、裏面に開口したノズル孔と、
を備え、
前記液室は、前記裏面に対して略平行な平坦部を有し、
前記ノズル孔は、前記平坦部において前記液室に連通してなることを特徴とするノズルプレート。
【請求項2】
前記平坦部から前記ノズル孔の前記裏面における開口までの距離は、50μm以上、150μm以下であることを特徴とする請求項1記載のノズルプレート。
【請求項3】
前記ノズル孔の直径を1とした場合、前記液室の直径は、5以上、30以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のノズルプレート。
【請求項4】
前記平坦部の平面度は、10μm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のノズルプレート。
【請求項5】
板状体の表面に開口した液室を形成し、
前記液室の底部に平坦部を形成し、
前記平坦部に連通し前記板状体の裏面に開口したノズル孔を形成すること、
を特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項6】
請求項1〜4のいずれか一つに記載のノズルプレートと、
前記液室内の液体に圧力を加える加圧手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項7】
請求項5に記載のノズルプレートの製造方法によりノズルプレートを形成し、
前記流路を覆うように前記加圧手段を設けること、
を特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項8】
請求項6記載の液滴吐出ヘッドと、
被処理物と前記液滴吐出ヘッドとの位置を相対的に移動させる移動手段と、
液体を収納する液体収納手段と、
を備え
ことを特徴とする液滴吐出装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図6】
【図7】
【図8】
【図10】
【図11】
【図12】
【図5】
【図9】
【図2】
【図3】
【図4】
【図6】
【図7】
【図8】
【図10】
【図11】
【図12】
【図5】
【図9】
【公開番号】特開2008−105252(P2008−105252A)
【公開日】平成20年5月8日(2008.5.8)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2006−289802(P2006−289802)
【出願日】平成18年10月25日(2006.10.25)
【出願人】(000003078)株式会社東芝 (54,554)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成20年5月8日(2008.5.8)
【国際特許分類】
【出願日】平成18年10月25日(2006.10.25)
【出願人】(000003078)株式会社東芝 (54,554)
【Fターム(参考)】
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