【課題】リストリクターが形成されたシリコン基板、シリコン基板の製造方法及びこれを備えたインクジェットプリントヘッドの提供。
【解決手段】シリコン基板２００は、マニホールドと連結され、第１大きさの第１幅を有する第１連結部２１０と、圧力室と連結され、第２大きさの第２幅を有する第２連結部２２０と、第１連結部２１０と第２連結部２２０を連結し、第１大きさ又は第２大きさより小さい第３大きさの第３幅を有するリストリクター部２３０とを含み、リストリクター部２３０と第１連結部、又はリストリクター部２３０と第２連結部が連結される境界部は曲線状に形成する。 （もっと読む）

【課題】連続した長期間の高周波駆動において、高印字スピードで、高デューティで、記録を実行する場合においても、発生するインクミストを親水部に留めておき、インク滴の吐出口への引き込みを防止するインクジェットヘッド及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、液体を吐出するための吐出口および前記吐出口と連通する液体流路のパターンを形成し表面に撥水処理が施された流路形成部材とを含むインクジェットヘッドであって、前記インクジェットヘッドの吐出口を有する面に、撥水処理が施されている撥水領域と、前記流路形成部材内部に底を有し表面に撥水処理が施されていない窪みとを複数有することを特徴とするインクジェットヘッド。およびインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】インクジェット印刷ヘッドの組み付けを簡略化する調芯機能部を備えた成形ノズルプレートを提供する。
【解決手段】インクジェット印刷ヘッドは、ノズルプレート３７０を含んでおり、ノズルプレートの中に複数のノズル孔３３０を有するノズル孔面と、ノズル孔面を囲んで空腔を画成する側壁３９０と、ノズルプレートの空腔内の成形ダイ調芯機能部３８０とを備え、ダイ調芯機能部に従って空腔内にＭＥＭＳダイを位置決めする。 （もっと読む）

【課題】液体の噴射量が確保され、噴射特性の低下を抑えた液体噴射ヘッドおよびそれを用いた液体噴射装置を得ること。
【解決手段】圧力発生室１２の容積を、振動板５６を介して変化させる圧電素子３００が、インク供給路１４の流路断面積を、振動板５６を介して変化させるので、圧力発生室１２の容積の変化に応じてインク供給路１４の流路断面積を変化させることができ、リザーバー１００と圧力発生室１２との間を流れるインクの流量を調節することができる。したがって、圧力発生室１２に充填されたインクを圧力発生室１２と連通したノズル開口２１から噴射する際に、インク供給路１４を通じてリザーバー１００に戻るインクの量を減少させることができ、インクの噴射量を確保でき、噴射特性の低下を抑えたインクジェット式記録ヘッド１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】安価に製造することができる、圧電方式のインクジェットプリンタヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットプリンタヘッド１は、シリコン基板２と、シリコン基板２上に設けられ、シリコン基板２との対向方向に振動可能な振動膜５と、振動膜５上に設けられた圧電素子６と、振動膜５に対してシリコン基板２側に振動膜５に臨んで形成され、インクが充填される加圧室６２と、振動膜５を貫通して形成され、加圧室６２と連通し、加圧室６２から送出されるインクを吐出するノズル６４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】均一な膜を備えたＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】膜によって覆われる凹部を有するＭＥＭＳベースデバイスに関する。凹部の上の膜は、高均一性のエピタキシャル層である層のスタックによって形成されているため、非常に均一である。ハンドル層等のスタックの不要な層は、所望の厚さの膜を達成するために、デバイスの完成前に除去される。 （もっと読む）

【課題】 高集積化を容易とし、且つ流路構成を簡略にする。
【解決手段】 インク排出ユニット１０の上面にＸ方向に沿って凹溝１３が形成されてい
る。そして、凹溝１３とインク排出面１２との間に、Ｙ方向に沿って複数の個別流路３８
が形成されている。また、凹溝１３の底面に接地された共通電極３１が形成されており、
各個別流路３８の底面に接地電位と所定電位とを選択的に取り得る個別電極３２が形成さ
れている。さらに、個別電極３２の表面は、絶縁性を有すると共に、高い撥液性を有する
高撥液絶縁膜３３によって覆われている。各個別流路３８には、インク排出口１１に向け
て加圧されたインクが供給されている。個別電極３２の電位を接地電位とした場合には、
個別流路３８内の選択的通過領域に気泡が定在し、選択的通過領域をインクが通過するこ
とはない。個別電極３２の電位を所定電位とした場合には、選択的通過領域をインクが通
過する。 （もっと読む）

一実施形態において、流体噴射装置構造体は、流体を収容するためのチャンバと、チャンバの１つの壁を形成するフレキシブルな膜と、複数の圧電素子と、圧電素子の膨張および／または縮小により圧電素子が曲がるように、圧電素子に動作可能なように接続された支持体と、膜の中央部分の上に横たわる剛性プレートと、支持体を介してプレートに圧電素子を結合する支柱とを含み、各圧電素子のチャンバに向かう運動が支柱を介して前記プレートに伝達されるようになっている。プレートは、剛性または実質的に剛性のピストンのように、膜に支柱の運動を伝達するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】均一かつ精度の良いインク流路及びインク吐出口を有し、インク吐出特性にばらつきの少ない液体吐出ヘッドを簡便に作製することのできる方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）基体２の表面に、活性エネルギー線硬化型樹脂層３を形成し、活性エネルギー線硬化型樹脂層の表面に、活性エネルギー線透過物質４を付着させる工程と、（Ｂ）活性エネルギー線を透過し、吐出口のパターンの突起形状を有する原盤５を、活性エネルギー線透過物質に押し付け、突起形状を活性エネルギー線透過物質に転写する工程と、（Ｃ）活性エネルギー線硬化型樹脂層に対して液体流路のパターンに活性エネルギー線７を選択照射し、活性エネルギー線硬化型樹脂層を硬化する工程と、（Ｄ）原盤を除去する工程と、（Ｅ）活性エネルギー線硬化型樹脂層の未硬化部を除去する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】湾曲面を有する対象物、又は、湾曲された状態の対象物に対して、対象物と複数のノズルとの間のそれぞれの距離が大きく異なるのを避けるとともに、構成部品となる構造体の接合が容易な液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】ラインヘッド１は、複数のノズル６１が開口する液滴噴射面６０を有するノズルプレート７２と、ノズルプレート７２に接合されるプレート７０，７１，及び、圧電アクチュエータ５７とを備えている。そして、ノズルプレート７２は、液滴噴射面６０と反対側に平面状の接合面を有し、前記接合面にはベースプレート７１が接合されており、さらに、液滴噴射面６０が曲面状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】被覆樹脂層の剥離の発生を抑制することができる信頼性の高い液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のインクを吐出するための吐出口６と、該各吐出口６に連通するインク流路とを有する被覆樹脂層３と、インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子１を有する基板２と備える。さらに、被覆樹脂層３と基板２との間に設けられた密着向上層５と、を備える。被覆樹脂層３は、基板２に最も近い第１の樹脂層１０と、基板２との間に第１の樹脂層１０を挟んで配置された少なくとも一つの第２の樹脂層１１とを有する。第１の樹脂層における第２の樹脂層１１の周縁に連続して少なくとも一つの段差部１２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】好適なプリントヘッドを提供すること。
【解決手段】圧力チャンバ３３と、ノズル流路６６と、ノズル開口部２２とを画定するモノリシック半導体本体２６を有するプリントヘッド。圧力チャンバには、約５０ミクロンまたはそれ以下の厚さの圧電層７６を含む圧電アクチュエータ２８が対応付けられている。半導体本体は、複数の流路開口部を有するフィルタ／インピーダンス構成３２も画定する。半導体本体は研磨ＳＯＩウエハーであることが好ましい。別の態様において、表面のＲａが約０．０５ミクロンまたはそれ以下であるか、または少なくとも１つの表面に空隙充填材を含む圧電層を有するプリントヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】吐出口の中心軸に関して対称に配置された複数の連通路を微細に形成することに適した記録ヘッドを提供する。
【解決手段】記録ヘッドは、液体に熱エネルギーを作用させることにより、前記液体を吐出口から吐出させる記録ヘッドであって、前記吐出口の下に配され前記液体が前記吐出口から吐出されるように前記液体に圧力を加えるための加圧空間を含む供給室と、前記液体を前記供給室へ供給する液体供給流路及び前記液体供給流路と前記供給室とを仕切る仕切り部を含む半導体基板とを備え、前記仕切り部には、前記液体供給流路を前記供給室へ連通させる複数の連通路が形成されており、前記複数の連通路は、前記吐出口の中心軸に関して対称に配されており、前記仕切り部は、前記半導体基板における前記仕切り部の周辺より高い濃度で不純物を有する半導体で形成されている。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドにおいて、半導体基板内における表面近傍に、単純な製造工程で製造可能な構造を有したフィルタ部を設ける。
【解決手段】記録ヘッドは、液体に熱エネルギーを作用させることにより、前記液体を吐出口から吐出させる記録ヘッドであって、前記液体を前記吐出口へ供給する第１の液体供給流路と、前記液体を前記第１の液体供給流路へ供給する第２の液体供給流路と、前記第２の液体供給流路と前記第１の液体供給流路との間に配されたフィルタ部とを含む半導体基板とを備え、前記フィルタ部は、前記第１の液体供給流路により供給された前記液体から異物を除去して、異物が除去された液体を前記第１の液体供給流路へ通過させるように配された複数のスルーホールを有し、前記半導体基板における前記フィルタ部の周辺より高い濃度で不純物を有する半導体で形成されている。 （もっと読む）

【課題】回復動作を頻繁に行うことなく、液滴の吐出の安定性を向上させる。
【解決手段】記録ヘッドは、基板１と流路形成部材２とを有する。流路形成部材２は基板１に積層されている。流路形成部材２には、各々の吐出エネルギー発生素子１０に対応したノズル４が形成されている。流路形成部材２には、第１の開口部６と、第１の開口部６内を流路形成部材２の外側に連通する第２の開口部７と、がさらに形成されている。連通路５は、液滴供給口９とは連結されていない。第１の開口部６は、フェイス面１３において、すべての吐出口３を環状に取り囲むように形成されている。第１の開口部７から第２の開口部６への連通路５内は親水性を有する。第２の開口部７は流路形成部材２の側面に設けられている。第２の開口部７は、連通路５に保持された小液滴を排出する際に、連通路５の内部が減圧されることを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】 静電吸引型インクジェットヘッドにおいて、低電圧でインクをノズル先端に供給し、所要の印字品質をもつ記録印字を行えるようにする。
【解決手段】 エレクトロウェッティング効果を利用してインク液の表面張力を制御することにより、ノズル１０内のインクの排出とノズル内へのインクの選択的供給を行い、ノズル先端に供給されたインクを静電吸引して飛翔させて記録印字を行うようにする。また、ノズル内側形状を先端に行くほど細くなるようにして、毛細管力に傾斜を持たせる。 （もっと読む）

【課題】面積を比較的小さく作成できると共に、良好なインク吐出特性を得ることができる液体噴射ヘッドとこの液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置とを提供する。
【解決手段】第１のリザーバ部３１が設けられたリザーバ形成基板３０とを含む流路ユニット４００を具備し、第１のリザーバ部３１は、リザーバ形成基板３０を厚さ方向に貫通する貫通部３１ａと、リザーバ形成基板３０の流路形成基板１０とは反対面側で且つ貫通部３１ａよりも他方の列の流路１６側に貫通部３１ａに連続して設けられた段差部３１ｂとを有し、他方の列の圧力発生室１２に連通し第２のリザーバ１０２の少なくとも一部を構成する第２のリザーバ部２５が、流路ユニット４００の厚さ方向で段差部３１ｂと実質的に重なるように流路ユニット４００に形成されている。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッド周りの構成が簡単であり、かつ液体を吐出口面に対して垂直に吐出することで、高記録品位を実現する液体吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】吐出口に補強壁３を設け、その補強壁３の長さを吐出口からヒータ２の近傍まで延在させる事により、液体が吐出された後の液体リフィルの際、補強壁３とヒータ２との段差による斜め方向の流れ成分が、整流される。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットプリントヘッド用のノズル組立体を提供すること。
【解決手段】 インクジェットプリントヘッド用のノズル組立体は、アクチュエータを有するインクジェットノズルを備え、前記アクチュエータの抵抗性素子が電流によって加熱されるときに、アクチュエータがインクジェットノズルからインク滴を吐出させる。ノズル組立体はまた、エネルギーパルスをアクチュエータの抵抗性素子に供給するための駆動トランジスタと、駆動トランジスタを制御するための制御ロジックと、を備える。駆動トランジスタと制御ロジックとがシリコン基板上に形成され、且つインクジェットノズルが、駆動トランジスタと制御ユニットとの少なくとも一つを覆うように形成される。 （もっと読む）

【課題】 複製によってインクジェットプリントヘッドを製作する方法を提供すること。
【解決手段】 印刷媒体の幅に及ぶインクジェットノズル配列を有するインクジェットプリントヘッドを製作する方法は、各々のノズル配列が動作可能にＣＭＯＳ駆動回路に接続されるように、基板に対して実施される集積回路製作技術を用いてインクジェットノズル配列を製作するステップを含む。該ノズル配列を製作するステップは、所望の形態を有する配列を得るように、ノズル配列の一つに対して実施される複製手順を使用することを含む。この複製手順では、複数のノズルのポッドを満たすように単一のノズル配列が複製される。ノズル配列を製作するステップはさらに、ポッド群を形成するようにポッドを複製するステップと、プリントヘッドのセグメントを形成するようにポッド群を複製するステップと、プリントヘッドを形成するようにセグメントを複製するステップとを備える。 （もっと読む）