【課題】 ギアポンプを使用して塗布液の送液を行う場合であっても、スロットダイに対して塗布液を安定的に送液し、塗布液の送液脈動を抑制する技術を提供する。
【解決手段】 ギアポンプ４２は、スロットダイ１８からウェブ１４に対して１０ｃｃ／ｍ²以下の塗布量で塗布液が塗布されるようにスロットダイ１８に塗布液を供給する。またギアポンプ４２は、Ｖ ／ Ｎ ≦ ０．０７ｃｃ、（Ｖ：前記ギアの一回転当たりの前記塗布液の送液容積、Ｎ：前記ギアが有する歯数）を満たすように調整されている。 （もっと読む）

【課題】 カーテンコート方式の塗布装置において、液膜の揺らぎを防止し、且つ空気同伴現象による品質低下を防止する。
【解決手段】 コーティングヘッド１１から塗工液を液膜として流下させる際、塗工液１７のみならず、電気粘性流体からなる補助液１８も同時に吐出し、塗工液と補助液を多層液膜１２として流下させ、更に、流下中の多層液膜１２に電場印加装置１６によって電場を印加し、補助液１８を高粘度化して揺らぎを防止し、被塗布材への塗布時には補助液１８が元の低粘度に戻ることで空気同伴現象による品質低下を防止する構成とする。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルから安定した塗布幅で処理液を塗布することができる技術を提供する。
【解決手段】本発明に係るスリットノズルは、サイドプレート７２１の下端部７２１ａの厚みｄを０．７ｍｍ以下とする。このため、スリットノズル４２の移動速度が遅いときやレジスト液９０の粘度が低いときにも、塗布されるレジスト液９０の外側への膨らみ幅を小さくすることができる。したがって、レジスト液９０の塗布幅の変動を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】液体の大気接触を抑制するとともに、液体の飛散を抑制する。
【解決手段】両端が閉じられた樋形状で、一方の側面に液体の注入口を、他方の側面に液体の供給口を、それぞれ有する本体と、本体の供給口に連設され、供給口から流出する液体を傾斜面に沿って流下させる傾斜板と、本体内に注入口と供給口とを仕切るように本体の長手方向に沿って配置された整流板とを備え、整流板により、本体の注入口から注入された液体を本体の長手方向に沿って流動させるとともに、上辺と下辺とのいずれか一方から液体を迂回させて供給口に誘導するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】粘度が１０ｃｐ以下の塗布液を、１０ｃｃ／ｍ² 以下のウエット塗布量で塗布する際に、塗布速度を高めることのできる塗布方法及び装置を提供する。
【解決手段】ダイ１４は、ウエブ１２の走行方向の下流側に設けられたリップが上流側に設けられたリップよりもウエブ側に突出して形成されるとともに、前記上流側のリップ先端のランドに、複数の凹凸からなる凹凸部が形成される。前記凹凸の凹凸の深さが５μｍ以上５００μｍ以下、凹凸のピッチが５０μｍ以上５００μｍ以下で、ランドをマット化、又はセラミック溶射、或いは彫刻したダイを用いて塗布を行う。 （もっと読む）

【課題】 ゴミの混入、塗工液物性の変化等による面質低下を防止し、塗工液の過剰な使用量を削減し、更に空気同伴現象による品質低下を防止することの可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】 塗布対象であるウェブ１に対向して、塗工液５を吐出するスリット１８を備えた液供給ノズル１７を配置し、その液供給ノズル１７の先端にはスリット１８の両側にロッド２０ａ、２０ｂを配置すると共に、少なくともウェブ１の流れ方向に関して上流側に位置するロッド２０ａを、ウェブ流れ方向とは反対方向に回転駆動する構成とし、このロッド２０ａの回転によってウェブの進入部に大きいメニスカス５ｅを形成し、ウェブ同伴空気の侵入を防止する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、多層の塗工層をウェブ面上に形成した場合にも塗りムラ等の塗工不良を生じることがなく、また、塗料の液性に応じた塗工が可能であるとともに、余分な塗料の回収が確実に行える塗工装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に関わる塗工装置１は、任意の間隔をもって配設され、塗料ｔ1、t2、ｔ3、t4をそれぞれ下方に向け噴出させる複数のカーテンヘッド２1、２2、２3、２4と、前記複数のカーテンヘッド２1、２2、２3、２4からそれぞれ順次、斜面３ｓに向って噴出される塗料ｔ1、t2、ｔ3、t4を、該斜面３ｓ上を移動させるに伴ない順番に積層して多層の塗料層を形成し、該斜面３ｓの終端部の下向きのカーテンガイド部３gから塗料カーテンｔcを形成してウェブｗ面上に該塗料層を移行させるガイドシート３とを具備している。
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【課題】塗布液がバックアップローラに転写することを防止でき、ライン速度をあげることのできる塗布装置及び方法を提供する。
【解決手段】スライドビードコータ８４のスライド面８６上にガイド部材１００を設け、幅方向の端部を流れる塗布液８８をスライドビードコータ８４の側方に誘導する。これにより、スライド面８６の先端とバックアップローラ８２の露出面との間に塗布液８８が流れなくなるので、バックアップローラ８２に塗布液８８が付着することを防止できる。 （もっと読む）

【課題】複雑な配管経路を有するダイコーターで、特により少量の塗工液を精密に塗工することが求められるものに対し、非分解のまま短時間で内部を良好に洗浄することが可能な塗工装置を提供する技術が望まれていた。
【解決手段】ダイヘッド３と、塗工液供給ポンプ２０と、塗工液貯蔵容器１９と、これらを接続する塗工液配管２１とを具備する塗工装置１００において、前記塗工液配管２１に、気体と溶剤を交互に送り出し、気体と溶剤の界面の通過で前記塗工液配管を洗浄する洗浄手段としての洗浄装置１０１が接続されている。 （もっと読む）

【課題】全ウエッブ幅に渡って均一な塗布膜を形成するアプリケーション装置を提供する。
【解決手段】粘性のある媒体、水性顔料懸濁液を、動いている紙、カートン、又はその他の繊維質ウェブの片側に塗布する装置において、塗布媒体を、動いている繊維質ウェブ1の一方のウェブ側又はコーティング側１ａの上に重力の下で直接移動する、自由落下の自己完結型カーテン６として放出するカーテン・アプリケータ５が備えられる。コーティング側１ａに割り当てられている空気境界層の減衰又は除去装置２が、繊維質ウェブ１の進行方向Ｌにおいてカーテン６の上流に配置されている。繊維質ウェブ１とともに流れる空気の境界層ＬＧ用の、空気境界層軽減装置１０が備えられ、この軽減装置１０はカーテン６の衝突位置Ｐの領域内においてコーティング側１ａと反対のウェブ側１ｂに割り当てられている。 （もっと読む）

【課題】反転オフセット印刷法におけるブランケット胴の循環移動するブランケットにインキを供給するダイヘッドの塗布上流側を減圧状態にし、ブランケット上に高い品質の塗膜を連続して安定的に得られるようにする。
【解決手段】インキの塗工時に、ブランケット胴２の周方向に循環移動するブランケット３にダイヘッド４がインキを塗工する塗工部からブランケット胴２の回転方向における塗工上流側のブランケット３を、ダイヘッド４と連続した減圧チャンバー５で覆い、減圧チャンバー５内の空間を減圧して、塗工部におけるダイヘッド先端の塗工上流側のダイリップとブランケット３との間がビードで満たされた状態にする。 （もっと読む）

【課題】 安定してウェハー上に均一に現像液を塗布することができ、レジストの寸法精度の向上を図ることが可能な現像方法及び現像装置を提供する。
【解決手段】 レジストが塗布、露光されたウェハー１をステージ２上に保持する工程と、前記ウェハー１上に、現像液３を所定幅で所定方向にスキャンパドルする工程と、前記現像液のスキャン方向側端面の位置を制御する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】 塗工液の凝集体による塗工面のキズの発生を防止して、塗工精度を高めることができるダイヘッドを提供する。
【解決手段】 一対のリップ２１，２２を先端部に有し、リップ２１，２２の各対向面１１ａ，１２ａ間に形成されたスリット３０を介して塗工液を吐出するダイヘッドにおいて、少なくとも一方のリップ２１は、対向面１１ａの先端縁部３１が側面視円弧状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 塗工液の幅方向流量分布を容易に均一化することができるダイヘッドを提供する。
【解決手段】 互いに平行な対向平面１１ａ，１２ａをそれぞれ有する一対のダイ板１１，１２と、一対のダイ板１１，１２の間に形成される流路と、前記流路内に設けられる内部ブロック３０とを備え、供給された塗工液が前記流路を介して吐出されるダイヘッドであって、ダイ板１２は、少なくとも２つの受け面１２ｂ，１２ｃを有しており、内部ブロック３０は、受け面１２ｂ，１２ｃに当接した状態で、ダイ板１２に取り付けられ、受け面１２ｂ，１２ｃは、側面視において対向平面１２ａに対して傾斜している。 （もっと読む）

【課題】 長期間の塗布を行っても塗布幅方向で均一な塗布膜厚を有し、塗布故障が少ない塗布製品が得られ、清掃が容易で、フッ素系樹脂により被覆加工された１ｍ以上の広幅のダイコータを用いた塗布装置及びダイコータの作製方法の提供。
【解決手段】塗布液を塗布幅方向に広げるポケット部と、塗布液をポケット部へ供給する塗布液供給口と、塗布液をポケット部から被塗布物に吐出するスリット部とを有する少なくとも２本のバーを組み付けたダイコータの塗布液に接する面を構成するバーの少なくとも一部がフッ素樹脂系樹脂で被覆加工され、前記バーを熱処理された台の載置面上に載置し、焼成炉で焼成処理した後、仕上げ研削加工する。 （もっと読む）

【課題】スリット隙間を調節するために大掛かりな機構を使用せず、スリットダイ自体の剛性を低下させる事なく、膜厚均一性の高い高品質な塗布膜を形成する事が可能なスリットダイと、簡易的な方法でスリット隙間を極微小に再現性良く調節するスリット隙間調節方法と、塗布装置を提供する。
【解決手段】マニホールド４とスリット５、スリットの出口部両側に狭幅のリップ８、液を供給する経路６とエアーを排出する経路７を有するスリットダイ１において、スリットダイの長手方向に、スリット隙間を調節するための複数の調節用ボルト３１、３２、３３、３４、３５、３７を具備すること。複数の調節用ボルトの締め付けトルクの大小によりスリット隙間を調節すること。 （もっと読む）

【課題】 連続走行する金属帯１の上方に配置した液膜生成装置３にてカーテン状の液体膜２を生成し、生成した液体膜２を金属帯上に自由落下させて液膜を金属帯表面に塗布するカーテン塗布装置において、塗布膜の品質を良好に保持することのできるカーテン塗布方法及びカーテン塗布装置を提供する。
【解決手段】 液体膜２の金属帯１への衝突地点６より上流側にガス吐出ノズル４を設け、該ノズルは１個又は複数個のガス吐出口５が金属帯１の幅方向全体に上流側方向にガスを吐出し、液体膜の幅方向１２と金属帯の幅方向１１とがなす角度θ（液体膜の幅方向角度θ）を金属帯１の幅に応じて変化させ、ガス吐出口の配列方向１３と金属帯の幅方向１１とがなす角度α（ガス吐出口の配列方向角度α）は液体膜の幅方向角度θ変化に応じて変化させることを特徴とするカーテン塗布方法及びカーテン塗布装置。 （もっと読む）

【課題】処理液を送液する際の応答性を確保しつつ、処理液の脈動を抑制する。
【解決手段】基板処理装置のレジスト用ポンプからスリットノズルに向かう送液配管６３に、脈動防止機構６４を設ける。脈動防止機構６４は、送液配管６３の一部として機能する本体部６４０と、外力によって変形する膜部材６４１と、気体圧力を調整するレギュレータ６４２とを備える。本体部６４０内に膜部材６４１を取り付け、その内部に空気を封入する。また、諸条件（例えば、塗布条件や周辺環境条件）に応じて、レギュレータ６４２によって内部に封入された空気の圧力を調整する。 （もっと読む）

【課題】 薄く軽量化した第一及び第二ダイブロックをボルトの適正トルクを用いて締結した場合においてもスリットギャップのギャップ寸法をダイヘッド長手方向に高精度で一定とすることの可能なダイヘッド及びそのダイヘッドの製作、組み付け方法を提供する。
【解決手段】 第一及び第二ダイブロック１７、１８を複数のボルト２１で締結する構造のダイヘッド１３において、ボルト２１を適正トルクで締結した際に生じるダイブロック１７、１８の先端のたわみ量のダイヘッド長手方向における分布を構造解析して求め、ギャップ壁面１７ａ、１８ａを前記したたわみ量の分布を相殺する形状に精密加工しておき、ダイブロック１７、１８をボルト２１の適正トルクで締結し、ダイブロックにたわみを生じた場合に、スリットギャップ１９のギャップ寸法ｄがダイヘッド長手方向に一定となるようにする。 （もっと読む）

【課題】大きな設備改造が必要でなく、メンテンナンス容易性に優れ、かつ長時間にわたり安定した連続塗布ができ、種々の塗布品種に対応可能な厚膜防止手段を備えたスライド型カーテン塗布装置とスライドホッパー型塗布装置及びそれらを用いた塗布方法を提供する。
【解決手段】支持体の少なくとも一方の面に、２層以上から構成される塗布層を形成するのに用いるスライド型カーテン塗布装置において、スライド面上における最下層を形成する塗布液の流下巾が、該最下層以外の塗布層を形成する塗布液の流下巾より０．５〜５ｍｍ広いことを特徴とするスライド型カーテン塗布装置。 （もっと読む）