【課題】塗布液を高精度かつ高速に塗布することを可能とするダイヘッドを提供すること。
【解決手段】一定方向に相対移動する被塗布材と先端部との間のギャップに前記塗布液からなる液溜まりを維持することで、前記被塗布材上に塗布膜を形成するダイヘッドであって、前記先端部は、前記被塗布材の移動方向の下流側に位置し、前記塗布液を連続的に吐出する塗布液吐出用スロットと、前記被塗布材の移動方向の上流側に位置し、前記液溜まりの前記被塗布材の移動方向の上流側の端部の近傍を減圧するように、気体を吸引する、気体吸引用スロットと、前記塗布液吐出用スロットと前記気体吸引用スロットとの間に位置し、前記塗布液が前記気体吸引用スロットに流入しないように、前記塗布膜の前記被塗布材の移動方向の上流側の端部に気体を噴出する、気体噴出用スロットと、を有するダイヘッド。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で且つ調整が容易な間欠塗工装置の提供。
【解決手段】ケーシング１６、弁装置１７及び体積調整装置２８を備えてダイへ塗工液供給を断続的に行い、弁装置１７は、ケーシング１６の分岐空間１６ａとダイ側空間１６ｂの境界に設けた弁座１９と、弁座１９に液漏れなく内嵌して着座状態のまま吸引・圧送用寸法だけ移動して閉弁端位置まで進退自在な弁体１８と、弁体用操作装置２１とを備え、体積調整装置２８は、分岐空間１６ａと還流路１５の間に設けた外嵌部２９と、外嵌部２９との間で通液路３０ｃを形成して外嵌部２９に移動自在に内嵌するピストン３０と、弁体１８が閉弁端位置Ｂから開弁端位置Ａへ向かって前進するときにピストン３０を分岐空間１６ａへ向かって前進させ、弁体１８が閉弁開始位置から閉弁端位置へ向かって後退するときにピストン３０を後退させるピストン用操作装置３１とを備える。 （もっと読む）

【課題】カーテン塗布方法に特有の現象であるティーポット効果によるカーテン膜歪が回避できるとともに、カーテン膜の外乱による落下位置変動を抑制し、同時に薄膜化現象及び厚膜化現象を抑制することができるカーテン塗布装置及びカーテン塗布方法の提供。
【解決手段】少なくとも１種以上の塗布液を一対のエッジガイドで両側端を支えて、塗布液の自由落下塗布液膜を形成して連続走行する支持体上に塗布するカーテン塗布装置であって、エッジガイドにおけるエッジガイド補助水流下面の上部より下部に向かって、補助水を前記エッジガイド補助水流下面の幅方向に略均一に導入する補助水導入口を備え、エッジガイド補助水流下面は、上部に略平面形状の平面部を有し、該エッジガイド補助水流下面は、下部に、幅方向中央に配設された円弧形状に突出する円弧形状部と、円弧形状部の幅方向両側に配設された平面部とを有する。 （もっと読む）

【課題】一連の基板に塗布処理を行う際のタクトタイムを短縮する。
【解決手段】ステージ３に支持された基板９０について、スリットノズル４１で走査を行いつつ、レジスト液の塗布を行う。基板塗布装置１には、このような塗布のための走査を、第１走査方向（＋Ｘ）と第２走査方向（−Ｘ）とのいずれについても実行可能に構成された制御手段が設けられている。スリットノズル４１のリップ部は、２つの走査方向に関して鏡面対称な形状とされ、リップ部の下端高さも２つの走査方向の側で同一とされることにより、２つの方向のいずれの走査においても塗布性能が同等となる。往復走査によって一連の基板を順次に処理可能であるため、１回の走査が完了する都度、ひとつの待機位置にスリットノズル４１を戻すための空走期間がなく、往復用に個別のノズルを備える装置のような構成の複雑さを回避しつつタクトタイムを短縮できる。 （もっと読む）

【課題】変動する稼働条件下で出口幅方向全体に渡って塗布媒体を高い均一性で分布させる。
【解決手段】紙もしくはボードウェブ上のカーテン式塗布機で、供給された塗布媒体の体積流量を調節するデバイスを備える少なくとも２つの供給ライン１２を介して塗布媒体が供給され放出幅方向に延びる空隙７を含むホッパー１と、外部スロットを介して塗布媒体をカーテンの態様で放出するフローチャネル６を備える。このフローチャネル６は、ディフューザブロックの多数の広がりガイドチャネル6.1-6.nに分割され、ディフューザブロックは、少なくとも複数の領域で放出幅方向に複数のセクション7.1-7.nに分割された空隙７に注入口側で隣接し、前記複数のセクション7.1-7.nの各々は、供給ライン１２に接続され、ディフューザブロックの複数のガイドチャネル6.1-6.nを橋渡しするピッチを備える。 （もっと読む）

【課題】基材にカーテン膜を安定的に形成することができる塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】塗布装置１は、支持ロール１０の近傍において当該支持ロール１０と離間して設けられ、支持ロール１０により支持される基材Ｗに対してカーテン膜Ｃを落下させる塗布ヘッド２０と、支持ロール１０の近傍において塗布ヘッド２０から落下したカーテン膜Ｃが基材Ｗに接触する箇所Ｐよりも支持ロール１０の回転方向における上流側に設けられた空気流除去部３０とを備えている。空気流除去部３０には、支持ロール１０により支持された基材Ｗの表面に生成され支持ロール１０の回転方向に沿って流れる空気流を除去するスリット３４、３６、３８が１または複数形成されている。 （もっと読む）

【課題】エッジガイドの保持力および安定性を高める。
【解決手段】エッジガイド１はダイから噴出した塗料を上面に沿って流下させるガイドプレートから高速で走行するウェブｗ上面に流れ落ちる塗料のカーテン膜の両端部を挟むように設けられ、内側の面１９に潤滑液が流れて、塗料カーテンと内側の面１９との粘性による流れの阻害を軽減するようになっているネックイン防止用の１対のエッジガイド１であって、内側の面１９の上端付近に潤滑液ｈの供給口２５、内側の面の下端付近に潤滑液の吸入口２６が設けられ、内側の面１９の潤滑液の供給口２５と吸入口２６との間の帯状の領域には潤滑液の流れる溝２１が設けられており、溝２１の外側は傾斜面２２になっていて、溝の両側の端部は盛り上がってシャープなエッジになっており、エッジガイド１の上端はガイドプレートの下端に対して、ウェブ進行方向、ウェブ幅方向および上下方向に位置が調整可能になっている。 （もっと読む）

【課題】ウェブ状の基材に塗工液を塗工する塗工装置において、ウェブ状の基材上に精度良く塗工液を塗工することができる塗工装置を提供する。
【解決手段】塗工装置２０は、搬送されているウェブ状の基材１に塗工液７を塗工する。塗工装置は、基材を搬送する搬送手段３０と、搬送手段によって搬送される基材の搬送経路沿いに配置された吐出ヘッド４０と、搬送手段による基材の搬送方向に沿って移動可能に前記吐出ヘッドを支持する移動支持手段５０と、を有する。移動支持手段５０は、搬送手段によって搬送される基材と同期して吐出ヘッドを移動させ得る。 （もっと読む）

【課題】塗工液を少量にしてカーテン塗工を行っても、膜厚が均一で外観の良好な被膜シートの製造を可能にするカーテン塗工装置及びそれを用いた被膜シートの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るカーテン塗工装置は、走行中のウェブ上にカーテン膜状の塗工液を流下させ、前記ウェブ上に塗工膜を形成するカーテン塗工装置であって、前記塗工液を吐出する吐出部と、前記吐出部から吐出された前記塗工液をカーテン膜状に流下させる一対のエッジガイドとを有し、前記エッジガイドは直線状の剛性部分と可撓性部分とを有し、前記可撓性部分は前記エッジガイドの自由端側に少なくとも設けられている。 （もっと読む）

【課題】ノズルの先端が乾燥することを防ぎつつ、基板の端部から塗布処理を開始することができる浮上搬送式の基板塗布処理装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗに塗布処理を行うための塗布ステージは塗布前ステージ４０と塗布後ステージ４１とに分かれており、空気の噴出及び排気を行って、基板Ｗを浮上させるための空気流を形成する小孔が、それぞれのステージに形成されている。基板Ｗは先端が塗布前ステージ４０と塗布後ステージ４１との境界線上に位置して停止しており、塗布後ステージ４１上方に配置されたスリットノズル５５が下降し、基板端部の塗布開始位置に向けて移動する。このとき、塗布後ステージ４１からの空気の噴出および吸引は一時的に停止される。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、多層塗工において、塗料ヘッドの数だけ個々に煩雑な調整を必要としないカーテン塗工装置を提供することである。
【解決手段】
本発明は複数の塗料ヘッドから塗料を噴出させて、搬送される基材上に複数の塗料層を形成するカーテン塗工において、複数の塗料ヘッドの塗料吐出口から吐出された塗料膜と塗料層形成板の接触部の内、第一層目の塗料膜と塗料層形成板の接触部にのみ整流板を設けることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布装置の基板上や保持台上に異物が存在する場合に、異物を正確に検出する。
【解決手段】本発明の塗布装置は、走行機構によって口金部２２を走行させながら、口金部２２のノズル４４から流出した塗布液をステージ１４上の基板１２に塗布する。そして、塗布装置は、ノズル４４よりも走行方向の先方側に存在する異物Ｐを検出する異物検出部４５，３３を備え、異物検出部４５，３３は、ノズル４４よりも走行方向の先方側に設けられていて、基板１２上の異物に衝突可能に設けられた衝突部４５と、異物との衝突に起因する衝突部４５の高さの変化を検出する衝突検出部３３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】上層と下層との界面が波打つのを抑制できる液塗布装置及びこれを用いた液塗布方法を提供する。
【解決手段】スリットダイ２０は、ガイドロール６の回転方向に離間し、開口２４にて合流する上層用流路２３ａ，下層用流路２３ｂを有する。ガイドロール６の軸６ａに対して垂直な断面において、上層用流路２３ａの中心線２３ａａと、下層用流路２３ｂの中心線２３ｂｂと、がなす角αが０．５〜２５°であり、上層用流路２３ａの中心線２３ａａ及び下層用流路２３ｂの中心線２３ｂｂの交点２３ｘとガイドロール６の軸６ａとを結ぶ線２３ｘｘと、上層用流路２３ａの中心線２３ａａとがなす角βがこの結ぶ線から上層用流路の中心線に向かってガイドロールの回転方向と逆方向に測定して０〜７０°であり、及び、２つの流路２３ａ，２３ｂが合流する点２３ｅと開口２４との距離γが０．０５〜２．８ｍｍである。 （もっと読む）

【課題】ミスアライメントにより生じる転がり抵抗の増大による吐出圧の乱れを抑えることにより、塗布状態を安定させるピストンポンプ及びそれを備える塗布装置を提供する。
【解決手段】ハウジング内に液体収容部を形成する膜状シール部と、前記液体収容部が形成される反対側で前記膜状シール部に連結されるピストン軸部と、前記ピストン軸部をガイドする軸ガイド部と、前記ピストン軸部を軸方向に駆動させるボールネジ駆動部と、を備え、前記ピストン軸部は、前記膜状シール部と連結されるヘッドと一軸方向に延びる軸本体とを有しているとともに、前記軸ガイド部には、前記ピストン軸部が挿通した状態で前記軸本体にボールが当接することによりピストン軸部をガイドするボールブッシュを有しており、前記ピストン軸部の軸本体の軸径のうち、少なくとも前記ボールブッシュのボールと当接する部分の一部の軸径を他の部分の軸径よりも小さく形成する。 （もっと読む）

【課題】塗工される薄膜が高精度に均一で空気混入による欠陥が発生しない塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】ダイヘッド１は、ダイヘッド本体１Aと、ダイヘッド本体１Aの内部に水平方向に延在形成されたマニホールド５と、マニホールド５の長手方向の中間部に設けられ塗工液４が供給される供給口３と、マニホールド５に連通されたスリット６とを備えている。スリット６は、高さ方向の上端がマニホールド５に連通し、高さ方向の下端がダイヘッド本体１Aの下端に開口している。マニホールド５の上部を仕切る上部壁５００２は、マニホールド５の長手方向の両端部が中間部よりも高くなるように傾斜している。マニホールド５の両端部がそれぞれスリット６の両端部よりも長さ方向に突出するように配置されている。空気抜き穴７の下端はマニホールド５の両端部箇所に連通されている。 （もっと読む）

【課題】塗工幅のバラツキを抑制し、かつ、均一な厚さの塗布層を形成できる塗工装置および塗工方法を提供する。
【解決手段】塗工装置は、塗工材料を吐出するスリットギャップを有するダイヘッド１４を備え、ダイヘッドのスリットギャップ２０から塗工材料を吐出、供給して、被塗工物上に塗布する。スリットギャップの長手方向両端部２０ｂのギャップ幅は、スリットギャップの長手方向中央部のギャップ幅の２０〜８０％に形成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造の単一の塗布ヘッドを用いて塗り分け塗布が可能なダイコーターに用いる多色用ダイコーター塗布ヘッドの実現を課題とする。
【解決手段】連続搬送されるウェブの表面にスリットから押し出した塗液を塗布するための多色用ダイコーター塗布ヘッドであって、塗布ノズルを形成する一対のヘッド部材とスリットの寸法を規定するシムを備え、シムによって塗布ノズルが、それぞれ別個の塗液供給装置につながる複数のスリットに塗布幅方向で分割されていることを特徴とする多色用ダイコーター塗布ヘッド。 （もっと読む）

【課題】 膜の厚さ精度が高く、かつ、表面が平滑で塗布ムラのない塗布膜を得ることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】長手方向に走行するウエブ１６を外周面で支持するバックアップローラ２０と、バックアップローラ２０と一定間隔を離れて対向配置され、塗布液をウエブに供給する塗布ヘッド１８と、塗布ヘッド１８とバックアップローラ２０とを上面で支持する一の架台３０と、架台３０の底面に設けられたアクチュエータ３３と、ウエブ１６の張力によるバックアップローラ２０が受ける力の方向を、水平に対して５０°〜７０°の角度となるよう、ウエブ１６をバックアップローラ２０に案内するパスローラ１４とを備える塗布装置。 （もっと読む）

本発明は、基材上に流体膜を塗布する塗布装置であって、実質的に塗布装置の第１の幅全体にわたって連続して延在する流体膜を生成するスロットノズル（１）の上流側に配置され、スロットノズル（１）の第２の幅（Ｂ２）にわたって流体を分散させる分散空間（７）があり、流体を供給する少なくとも１つのチャネル（６）が分散空間（７）の上流側に提供され、前記チャネルが、第３の幅（Ｂ３）を有し、第３の幅（Ｂ３）が第２の幅（Ｂ２）より小さい塗布装置に関する。スロットの幅にわたる材料の不均一なスループットを回避するために、本発明によれば、フローの方向（Ｓ）に増大する断面積を有する複数の供給チャネル（９）を分散空間（７）内に配置することが提案される。
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【課題】吐出口近傍にパターン形成材料が付着することを抑制し、基板上に所定の断面形状を有するパターンを形成する。
【解決手段】パターン形成装置は、パターン形成材料を吐出するノズル、パターン形成材料を貯溜するサブタンク５５１、サブタンク５５１に接続される圧縮空気用の配管５６および真空用の配管５７、並びに、配管５７上に設けられた負圧タンク５７２を備える。パターン形成材料の吐出を停止する際には、バルブ５５４を閉じてサブタンク５５１と配管５６との接続を遮断した直後に、バルブ５５５を一時的に開いてサブタンク５５１と負圧タンク５７２とを短時間だけ接続する。これにより、速やかにサブタンク５５１内を負圧にしてパターン形成材料の吐出を停止することができる。その結果、吐出口にパターン形成材料が付着して次の吐出時に吐出が不安定になることが防止され、所望の断面形状のパターンを形成することができる。 （もっと読む）