【課題】従来の硬質（乾式）研磨パッドを用いた場合に生ずるスクラッチの問題を改善し、かつ研磨レートや研磨均一性に優れ、一次研磨だけでなく仕上げ研磨にも対応できる研磨パッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】略球状の気泡を含むポリウレタンポリウレア樹脂発泡体を有する研磨層を含有する研磨パッドであって、前記ポリウレタンポリウレア樹脂発泡体は、Ｍ成分のスピン−スピン緩和時間Ｔ２が１６０〜２６０μｓであり、
前記ポリウレタンポリウレア樹脂発泡体の４０℃、初期荷重１０ｇ、歪範囲０．０１〜４％、測定周波数０．２Ｈｚ、引っ張りモードにおける貯蔵弾性率Ｅ’が１〜３０ＭＰａであり、且つ、
前記ポリウレタンポリウレア樹脂発泡体の密度Ｄが０．３０〜０．６０ｇ／ｃｍ^３の範囲内であることを特徴とする、半導体デバイス研磨用の研磨パッド。 （もっと読む）

【課題】実用上充分な生産性を確保しつつ、優れた作動性および耐久性を有するポリオキシメチレン製スライド部品を提供する。
【解決手段】ポリオキシメチレン製スライド部品は、オキシメチレン樹脂組成物を用いて形成される部材Iと、部材Iに接する相手材IIとを含むスライド部品であって、オキシメチレン樹脂組成物が、ポリオキシメチレンＡを９０質量％以上、脂肪酸エステルＢを０．５〜２．５質量％含み、相手材IIが、ポリオキシメチレン樹脂以外の樹脂を用いて形成され、ロックウェル硬度Ｍスケールで５０〜１１０である。なお、スライド部品評価装置によって、オキシメチレン樹脂組成物を用いる部材IであるスライドピンIａと相手材IIであるガイド部IIｂとを具備させ、スライド部品の作動性および耐久性の評価を行った。 （もっと読む）

【課題】高い除去速度を有する、銅、絶縁体、バリヤ及びタングステンウェーハなどの半導体基材を研磨する研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッドは、硬化剤とイソシアネート末端ポリテトラメチレンエーテルグリコールとの、ＮＣＯに対するＮＨ₂の化学量論比が８０〜９７％であるポリウレタン反応生成物であるポリマーマトリックスと中空ポリマー粒子を含む。イソシアネート末端ポリテトラメチレンエーテルグリコールは８．７５〜９．０５重量％の未反応ＮＣＯ範囲を有し、中空ポリマー粒子は、２〜５０μmの平均直径と研磨パッドの成分の重量％bと密度bとして


（式中、密度aは６０g/lに等しく、密度bは５g/l〜５００g/lであり、重量％aは、３．２５〜４．２５重量％である）を有する。研磨パッドは、３０〜６０容量％の気孔率を有し、ポリマーマトリックス内のセル構造が、セル構造を包囲する連続ネットワークを形成している。 （もっと読む）

【課題】研磨特性に優れ、かつ機械的強度および加工性に優れる化学機械研磨パッドの研磨層を形成するための組成物を提供すること。
【解決手段】少なくとも下記（ａ１）〜（ａ４）成分を、下記（１）および（２）の条件を満足する割合で混合して反応させて得られる熱可塑性ポリウレタン（Ａ）と、架橋剤（Ｂ）とを含む、化学機械研磨パッドの研磨層形成用組成物。（ａ１）２個のイソシアネート基を有するモノマー、（ａ２）２個の水酸基を有するモノマー、（ａ３）１個以上の水酸基および１個以上の炭素−炭素二重結合を有する、数平均分子量が５００〜２５００であるオリゴマー、（ａ４）２個以上の水酸基を有し、かつエーテル結合などを有する、数平均分子量が５００〜２５００であるオリゴマー、（１）Ｍ−１／Ｍ−ＯＨの値が０．８５〜１．１０であり、（２）Ｍ−２／Ｍ−ＯＨの値が０．４５〜０．８０である。 （もっと読む）

化学的機械研磨による平坦化（ＣＭＰ）で使用される研磨パッドまたはこうしたパッドの研磨要素／表面は、不混和性ポリマー、例えば、ポリウレタンとポリオレフィンの組合せから作られる。これらのポリマーは、界面の相互作用、メルト・インデックス、およびポリマー相（マトリックス相と分散相）間のメルト・インデックスの比に基づいて選択される。これらの２種のポリマーが互いに不混和性であり、優先的に別個のドメインを形成するようにポリマー系を選択することによって、コンディショニングまたは研磨工程でこれが露出すると、分散相を除去することができる。個々のポリマーのメルト・インデックスおよびメルト・インデックスの比が、マトリックス中へのより小さな相の分散性、したがって相のサイズを決める。
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【課題】研磨時のスクラッチを低減できる導電性研磨パッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】研磨パッド用の基材（Ａ）に、スルホン酸基および／またはカルボキシ基を有する導電性ポリマー（Ｂ）が付着してなる導電性部材（Ｃ）を有する導電性研磨パッド。研磨パッド用の基材（Ａ）にアミノ基を２以上有する化合物（Ｄ）が付着してなる基材（Ａ’）に、スルホン酸基および／またはカルボキシ基を有する導電性ポリマー（Ｂ）が付着してなる導電性部材（Ｃ）を有する導電性研磨パッド。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノファイバーを均一に分散させることで高温における減衰特性に優れたディスクブレーキ用のシム板を提供する。
【解決手段】本発明のディスクブレーキ用のシム板７６は、金属板７６ａと、金属板７６ａの少なくとも一方の表面に形成されたゴム部７６ｂと、を有している。ゴム部７６ｂは、天然ゴムに平均直径が０．５ないし５００ｎｍのカーボンナノファイバーが分散され、パルス法ＮＭＲを用いてハーンエコー法によって１５０℃で測定した、無架橋体における、第１のスピン−スピン緩和時間（Ｔ２ｎ）は１００ないし３０００μ秒であり、第２のスピン−スピン緩和時間（Ｔ２ｎｎ）を有する成分の成分分率（ｆｎｎ）は０．２未満である。 （もっと読む）

【課題】 潤滑油下で低摩擦性、耐摩耗性、耐クリープ性に優れ、かつ、高温多湿環境下においても、摺接する金属相手材を錆により黒色に変色させない樹脂摺動材を提供する。
【解決手段】 金属相手材と摺接し、ＰＴＦＥ樹脂を主成分とする樹脂摺動材に、金属相手材の素材金属より標準単極電位が低い金属の粉末を配合する。あるいは、この樹脂摺動材に、更に再生ＰＴＦＥ樹脂粉末を配合する。 （もっと読む）

【課題】可逆熱変色性インキにより形成された像や筆跡の微小面積部分のみを擦過時に強い押圧力を要したり擦過回数を増加させることなく選択的且つ容易に変色させる摩擦体、前記摩擦体を備えた筆記具、前記摩擦体と筆記具とからなる筆記具セットを提供する。
【解決手段】可逆熱変色性を有する像を、摩擦熱により第１状態から第２状態に変色させる摩擦体であって、前記摩擦体が、ガラス板上に荷重１０００ｇで押圧した際の接触面積が０．５〜１５ｍｍ^２の範囲にある摩擦体、前記摩擦体を備えた可逆熱変色性インキを内蔵する筆記具、可逆熱変色性インキを内蔵する筆記具と、前記摩擦体とからなる筆記具セット （もっと読む）

【課題】 摩擦材への高負荷条件下において、ディスクパッドとしての耐久性の維持しつつ鳴き発生の低減、及び摩擦材とバックプレート接着面端部および近傍のキレツ、はがれを低減化するディスクパッドを提供することを課題とする。
【解決手段】 繊維基材、結合材、充填材を含有する摩擦材をバックプレートに接着したディスクパッドにおいて、該摩擦材の該結合材としてストレートフェノール樹脂とフェノールアラルキル樹脂を質量比８５：１５〜６５：３５で含有することを特徴とするディスクパッド。 （もっと読む）

【課題】摩擦係数が制御されたクリーニングブレード部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】付着したトナーを除去するクリーニング部に用いるクリーニングブレード部材において、２５℃での反発弾性とヤング率との比率（２５℃での反発弾性／ヤング率）が４．５以下であるポリウレタンからなるクリーニングブレード部材とする。 （もっと読む）

【課題】 半導体デバイスウエハの表面平坦化加工において、非常に高い平坦性を有し、且つウエハ表面に傷を生じさせない研磨パッドを提供する。
【解決手段】 研磨用成形体を構成要素とする研磨パッドであって、研磨用成形体の３０℃における引張貯蔵弾性率Ｅ’₃₀が３×１０⁹ｄｙｎ／ｃｍ²以上であり且つ研磨用成形体の３０℃のＥ’₃₀と６０℃のＥ’₆₀の比（Ｅ’₃₀／Ｅ’₆₀）が２〜７である研磨パッド。 （もっと読む）

【課題】 従来の研磨パッドに比較して、コンディショニング条件等の影響を受けにくく経時的に安定して高い研磨速度を発現し、また耐磨耗性に優れ、しかも製品内あるいは製品間の品質や性能のバラツキが小さい研磨パッドを提供する。特に、ダマシン配線の銅配線パターンあるいはアルミニウム配線パターン等の厚い導電体パターンの研磨に適する平坦化能力の高い研磨パッドを提供する。
【解決手段】 光重合性官能基を持たない熱可塑性樹脂を１０〜５９．９質量％、光重合性モノマーを４０〜８９．９質量％、光重合開始剤を０．１〜１０質量％含む樹脂組成物であって、該樹脂組成物が上記各成分を均一に溶解混合した液状物である感光性樹脂組成物、およびその硬化物からなる研磨パッド。 （もっと読む）

【課題】 ガラス繊維コードに該ガラス繊維塗布液を塗布後乾燥させて被覆し被覆層としたゴム補強用ガラス繊維が、架橋されたＨＮＢＲに埋設し伝動ベルトとした際に、伝動ベルトに好適な優れた耐水性および耐熱性を与えることを目的とする。
【解決手段】 フェノール樹脂とビニルピリジン−スチレン−ブタジエン共重合体とクロロスルフォン化ポリエチレンとを水に分散させエマルジョンとしたガラス繊維コードに被覆するためのガラス繊維被覆用塗布液であって、前記フェノール樹脂が、モノヒドロキシベンゼンとホルムアルデヒドを反応させてなるモノヒドロキシベンゼン−ホルムアルデヒド樹脂であることを特徴とするガラス繊維被覆用塗布液、この塗布液を用いてなるゴム補強用繊維、この義務補強用ガラス繊維を耐熱ゴムに埋設させた伝動ベルト。 （もっと読む）

【課題】ウォームアップタイムが短く熱効率が高い上に、強度、汎用性、製造性に優れ、信頼性の高い定着用部材、及び該定着用部材を定着装置に用いた画像形成装置を提供すること。
【解決手段】有機材料の中空部材を分散させたポリイミド溶液又はポリイミド前駆体溶液が、焼成されることによって得られるポリイミドフィルムを用いる定着用部材、及び、該定着用部材を、定着装置に用いることを画像形成装置。 （もっと読む）