【課題】窒化ガリウム（ＧａＮ）の結晶成長を促進するフラックスとして機能するナトリウムを低コストで精製し供給する装置及び方法を提供する。
【解決手段】原料である固体ナトリウムｓｌを収容すると共に、液体ナトリウムｍｌについて通過自在かつ前記固体ナトリウムｓｌに不可避的に含まれるナトリウム化合物については通過を阻止して除去するろ過機能を有するろ過容器１と、固体ナトリウムｓｌが溶融し、かつ、前記ナトリウム化合物が溶融しない温度に固体ナトリウムｓｌを加熱する加熱保温部１５と、ろ過機能に基づいてろ過容器１から流れ出た液体ナトリウムｍｌを坩堝Ｂに供給する供給手段と、ろ過容器１、加熱保温部１５及び供給手段を非酸化性雰囲気に保持するチャンバ１６とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 気化器を備えたガス供給装置の省エネルギ化と装置の小型化を図ると共に、厳密な気化器側の温度制御を必要とすることなしに高精度なガス流量制御を安定に且つ簡単に行えるようにしたガス供給装置を提供すること。
【解決手段】 液体受入れタンクと，液体を気化する気化器と，気化ガスの流量を調整する高温型圧力式流量制御装置と，気化器と高温型圧力式流量制御装置とこれ等に接続した配管路の所望部分を加熱する加熱装置とから気化器を備えたガス供給装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成により経時的に安定した濃度のガスを低コストで発生可能にする。
【解決手段】 ガス発生装置１３は、ホルムアルデヒドガス若しくはトルエンガスを放散可能な物質からなる放散材Ｈが内部収容空間３０Ａに収容された放散材収容タンク３０と、清浄空気供給装置１４から内部収容空間３０Ａに繋がる導入側流路３１と、内部収容空間３０Ａから混合器に向かって延びる排出側流路３５と、導入側流路３１及び排出側流路３５の途中の各分岐点Ｐ１，Ｐ２間を接続する循環用流路３８とを備えている。ガス発生装置１３では、内部収容空間３０Ａから排出側流路３５に排出されたホルムアルデヒドガスを含む放出ガスの一部が、循環用流路３８を通って清浄空気と混合し導入側流路３１から内部収容空間３０Ａに導入される。 （もっと読む）

【課題】窒素ガスを製造する窒素製造装置が副次的に生成する酸素富化空気を、その窒素製造装置に悪影響を及ぼさずに有効に利用できる酸素富化空気利用システムを提供する。
【解決手段】原料空気から分離して窒素ガスを製造する窒素製造装置１と、窒素製造装置１で副次的に生成される酸素富化空気を搬送する搬送手段と、酸素富化空気を利用する利用設備６を備え、窒素製造装置１の吐出口５から酸素富化空気を大気開放状態で吐出させた後、酸素富化空気を搬送手段により利用設備６に供給するとともに、利用設備６内の圧力を大気を吸引しない圧力とするものである。 （もっと読む）

【課題】一連のバイオ処理操作で相前後して使用される培養器と滅菌器に対し、合理的な設備構成であって、また、使用ガスの連続供給ができて量的管理の煩雑さも解消することが可能な培養器および滅菌器用２ガス製造装置、並びに培養器および滅菌器用２ガス供給システムを提供する。
【解決手段】培養器２に接続され、炭素分を含む燃料を燃焼して二酸化炭素ガスを生成する燃焼部３と、滅菌器４に接続され、二酸化炭素ガスの生成と同時に燃焼部３の燃焼熱で水を加熱して、水蒸気を生成する水蒸気生成部５とを一体的に備える。 （もっと読む）

【課題】フィルターの目詰まりによる清掃頻度を低くし、さらに、機器の損傷、液漏れの頻度を下げて、メンテナンス費を低く抑えることが可能な液送設備を提供する。
【解決手段】送液方向に低圧ライン部２０と高圧ライン部３０とをこの順に具備し、低圧ライン部にフィルター１３を備えるとともに、高圧ライン部の先端にスプレー装置１８を配置する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、機能水を用いて基板を洗浄する装置に機能水を供給するシステムを提供する。
【解決手段】本発明のシステムにおいて、機能水生成器から生成された機能水が機能水供給管を通じて分配器に供給される。以後、機能水は、装置が工程進行中である際には装置に供給され、装置が工程進行しない際には機能水回収管を通じて機能水生成器に回収される。機能水供給管にはバッファタンクが設けられ、バッファタンクに連結された循環ラインで機能水の濃度が測定される。機能水の濃度が設定範囲を逸脱すると、搬送管を通じて機能水は機能水生成器に搬送される。 （もっと読む）