流体供給装置とそのような装置を形成するための方法が提供される。流体供給装置は、本体、プレナム、入口、及び出口を含む。本体は、ホウ素、アルミニウム、ケイ素、ガリウム、耐火性硬質金属、遷移金属、及び希土類金属を有する元素、又はこれらの複合物、又はこれらの組み合わせ、の窒化物、炭化物、炭窒化物、酸窒化物の少なくとも一つから形成される。プレナムは、本体に配置される。入口は本体の第１部分を通過しプレナムと流体連通する。そして、出口は本体の第２部分を通過しプレナムと流体連通する。
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【課題】窒素酸化物と水の混合を防いで装置の腐食を回避する。
【解決手段】オゾンチャンバ９の温度を制御してオゾンチャンバ９内のオゾンを系外に供給するオゾン供給方法において、前記オゾンを系外に供給した後にオゾンチャンバ９の温度を制御してオゾンチャンバ９内に残留する窒素酸化物及び水を個別に排出する工程を有する。オゾンチャンバ９内の窒素酸化物と水の蒸気圧の差異に基づいて窒素酸化物及び水を個別に排出する。 （もっと読む）

アルカリまたはアルカリ土類金属の供給装置（１０；２０；３０；４０；５０；６０）に関し、ゲッター材料（１３；２３；３３；４３；５３；６３）およびアルカリまたはアルカリ土類金属源（１２；２２；３２；４２；５３；６３）の堆積物を含み、アルカリまたはアルカリ土類金属源はゲッター材料の堆積物により雰囲気ガスから保護される。
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加圧された容器内に乾燥粒状固体を供給するための装置であって、固体貯蔵庫；固体貯蔵庫より下方の回転計量ディスク；計量ディスクに隣接している非回転部品；計量ディスクと非回転部品との間の接触面と、ここで接触面は低摩擦材を含有し；駆動軸、駆動モータ；ピックアップ部；及び注入管とを含む装置が提供されている。
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【課題】多湿雰囲気中に粉粒体を効率よく投入する粉粒体投入装置、および廃水処理装置を提供する。
【解決手段】廃水処理装置は、第二気体導入口９２２から導入される乾燥空気でフィーダ９２からシュータ９１に過硫酸カリウムの粉粒体を導入し、第一気体導入口９１２から導入される乾燥空気で粉粒体投入口９１１から過硫酸カリウムの粉粒体を多湿雰囲気である分解槽本体８１の内部に投入する。これにより、粉粒体投入口９１１の近傍の蒸気が乾燥空気により除去され、粉粒体の湿気による凝固も防止できる。したがって、効率よく粉粒体を多湿雰囲気中に投入することができる。 （もっと読む）

【課題】 安価な気体溶解水供給装置を実現する。
【解決手段】 水を搬送する吸込管および／または吐出管を有する気体溶解水供給装置において、
加圧されることにより前記吸込管および／または吐出管を閉塞し減圧されることにより収縮して前記吸込管および／または吐出管を開通するバルーン体を有する開閉弁を具備したことを特徴とする気体溶解水供給装置である。 （もっと読む）

【課題】 流体に腐食性流体を使用しても各部品の腐食を防止でき、半導体製造装置内などへの設置および配管や配線接続が容易であり、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な、電気駆動による流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、電気式駆動部１１と流量制御部５からなる電動制御弁と、超音波を流体中に発信する超音波振動子１８と超音波振動子１９から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部９に出力する超音波振動子１８、１９を有する流量計センサ部４と、流量計センサ部４の信号によって流量を演算する流量計アンプ部９と、流量計アンプ部９で演算された流量値に基づいて電動制御弁の開度を調整しフィードバック制御するための制御部１０とを具備し、少なくとも流量計アンプ部９と制御部１０と電気式駆動部１１とを具備する電装モジュール７が１つのケーシング８内に設置される。 （もっと読む）

【課題】ミネラル濃縮物を充填した容器と分量投与装置との組立体
【解決手段】ミネラル濃縮物（４）を充填した容器（２）と、保持具に連結されて容器からの濃縮物を分量投与により配分する分量投与装置（６）とを備えた、その場でミネラルウォーターを生成する組立体（１）。分量投与装置には入路（１６）と、出路（１８）と、液体流路（２０）と、ポンプ（２２）と、磁化しうるまたは磁性の作用要素（２４）とを備えたハウジング（１５）が設けられる。作用要素はハウジングに収容され、変化する磁場によりハウジングに対する所定の動きを実行する。また作用要素は機械的にポンプに連結され、作用要素が所定の動きを実行する際ポンプを駆動する。作用要素は腐食に耐える鋼から製造され、或いはまた作用要素は金、銀、もしくはテフロンなどの耐腐食被覆加工が施され、或いはまた作用要素は磁化しうる及び／または磁性のセラミック材料から製造される。 （もっと読む）