【課題】 非平衡プラズマによるガス処理を効率的かつ低コストで行うことができ、しかも、消費電力が少なく、装置の小型化が可能なガス処理装置を提供する。
【解決手段】 本発明のガス処理装置１は、被処理ガスｇを非平衡プラズマ内にてプラズマ分解処理するプラズマ反応部２と、このプラズマ反応部２から排出される未分解のガス及び非平衡プラズマにより生成される副生成物を含むガスｇ’を光触媒により分解処理する光触媒反応部３とにより構成され、プラズマ反応部２は、棒状の接地電極１１及び誘電体１２と、円筒状の表面電極１３と、光触媒体１５とにより構成され、光触媒反応部３は、透明ガラスからなる筒状の容器３１と、この内部に充填された光触媒体３２と、容器３１の外側に設けられた光源３３とにより構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】環境中における窒素酸化物・硫黄酸化物を効率よく、かつ、低コストで除去し、副生成物の発生を抑制することの可能な、窒素酸化物・硫黄酸化物の浄化方法及び浄化装置を提供することを目的とする。
【解決手段】排ガス中に含まれる窒素酸化物・硫黄酸化物の浄化方法及び浄化装置において、排ガスに大気圧低温非平衡プラズマを生成する乾式の工程を備え、低温非平衡プラズマの生成によって、ガス中のＮＯが酸化されてＮＯ_２が最大値となる値を基準値として印加電圧を設定し、ガス中に含まれるＮＯを効率的にＮＯ_２に酸化させた後、排ガスを還元剤溶液と反応させる湿式の工程を備え、排ガス中の窒素酸化物・硫黄酸化物を除去する窒素酸化物・硫黄酸化物の浄化方法及び浄化装置である。 （もっと読む）

【解決手段】処理装置ないし処理リアクタ（１）であって、第１の電極（２０）を備えた少なくともひとつの誘電バリア放電ランプ（２）と、ランプ（２）が発生させる放射によって処理されるべき流体及び／又はガス及び／又は固体材料などの媒体（３）を収容するハウジング（１０）とを備えた装置が開示され、少なくともひとつのランプ（２）の少なくともひとつの第２の電極が、少なくともひとつの誘電バリア放電ランプ（２）とハウジング（１０）との間の空間（３１）内に配置された、少なくともひとつの中間対電極（３，４）の形態であることを特徴とする。これにより、処理装置ないしリアクタ（１）の電気的挙動に対する処理された媒体の影響、特に、媒体内における出力損失を回避し又は著しく減少させる。さらに、ランプを取り囲む外側電極における吸収及び／又はシャドウイングに起因するランプの光の損失も回避される。 （もっと読む）

【課題】イオン発生装置におけるイオン発生素子と駆動回路基板との配置の自由度を維持しつつ、イオン発生装置におけるリード線の引き回しを不要にするイオン発生装置、およびこのイオン発生装置を備えた電気機器を提供する。
【解決手段】概略箱状を呈する基板収容ケース２に対し、開口２１を覆うようにイオン発生素子５を取り付ける。イオン発生素子５と駆動回路基板３とを導電性を有するピン６で接続する。駆動回路基板３からピン６を介してイオン発生素子５に、予め定められた駆動波形の駆動電圧が供給される。駆動回路基板３上の昇圧コイル３３はブリキ鋼板からなるシールド部材３１によって覆う。基板収容ケース２内部におけるイオン発生素子５と駆動回路基板３とに挟まれる空間に開口孔３４を介して絶縁モールド用の充填材を注入する。 （もっと読む）

【課題】紫外線を照射する光源として紫外線発光ダイオードを用いる紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】 紫外線領域の波長の光を照射する紫外線発光ダイオード７からなる光源２と、伸縮自在の先端部が光源２に当接して光源２と電気的に接続するコンタクトプローブ１４と、光源２を支持する支持台３と、支持台３とで光源２を保持しつつコンタクトプローブ１４を有する保持機構とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

吸気口及び排気口が形成された風洞１と、風洞１内に配置され、コロナ放電を生じさせる第１のコロナ放電電極対４及び第２のコロナ放電電極対５と、風洞内に配置され、オゾンを発生させるオゾン発生ランプ６とを備え、第１のコロナ放電電極対４、オゾン発生ランプ６、及び第２のコロナ放電電極対５は、吸気口から排気口へ空気の流れる方向にこの順で配置されており、第１及び第２のコロナ放電電極対４，５は、放電電極４１，５１と対向電極４２，５２とをそれぞれ有し、該放電電極４１，５１及び対向電極４２，５２は空気の流れる方向にこの順で配置されている空気活性装置。
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【課題】放電させたい領域にのみ一様なプラズマを発生し得るようにしたプラズマアシスト型の排気浄化装置を提供する。
【解決手段】プラズマアシスト型の排気浄化装置１０に関し、各電極棒１８の一方の端部を絶縁構造物１４を貫通させて該絶縁構造物１４の外側に給電部２２を形成せしめ、各電極棒１８の他方の端部に該端部より長く誘電体１７による絶縁被覆を延長形成し且つその延長端部１７ａを絶縁構造物１３に対し貫通固定し、絶縁構造物１４における反給電部２２側となる前面に前記各電極棒１８の他方の端部側へ張り出す隆起部２４を形成し且つ該隆起部２４に対し平板電極１５の端部を突き合わせた状態で支持せしめる。このようにすれば、平板電極１５と各電極棒１８との間が絶縁構造物１３，１４の平面により直線状に繋がれなくなり、該絶縁構造物１３，１４の平面に沿う沿面放電が起こらなくなる。 （もっと読む）

【課題】第１に、プラズマ発生領域の長さが増加し、第２に、プラズマ発生領域の断面積も増加し、もってこれらにより、多量の有害ガスを分解浄化可能であると共に、第３に、誘電体への電極材の密着性が向上し、第４に、プラズマ放電が効果的に行われる、ガス処理用のプラズマリアクタを提案する。
【解決手段】このプラズマリアクタ４は、誘電体５を介し間隔を存して配設された対をなす電極Ｅ間に電圧を印加し、形成されたプラズマ発生領域Ｂを通過する有害ガスＣを、分解浄化する。各電極Ｅは、断面円形の誘電体５の外周に、帯状の平板７製や波板８製の電極材６を、螺旋状に巻き付けた構造よりなり、相互間が同心円状に配設されている。例えば電極Ｅは、３個以上用いられ多重に配設されると共に、同極のものが中心側から外側に交互に配され、もってプラズマ発生領域Ｂが、同心円の複数層状に形成される。 （もっと読む）

【課題】 電極と誘電体との間で発生する火花放電を抑え、放電以外の有効電流を抑制する。
【解決手段】 接地電極４と、高電圧印加電極２と、接地電極４と高電圧印加電極２との間に配置され且つ接地電極４と当接している誘電体５と、を有し、誘電体５は、被処理ガスａを通過させる内部を有し、誘電体５の内部で被処理ガスａに含有される被処理対象物質を処理するプラズマリアクターにおいて、誘電体５の外面と誘電体５の内部を構成する壁面は共に被処理対象物質を吸着する吸着材１３で被覆されている。そして、誘電体５は、接地電極４と当接部１１ａで当接し、この当接部１１ａにおいて誘電体５自体が露出している。 （もっと読む）

【課題】 膜厚の精度が高い超薄膜を大量に生産することができる超薄膜製造装置を提供する。
【解決手段】 液体を貯える容器２と、容器２内に超薄膜原料を供給する供給手段３と、供給手段３により容器２の液面に展開された水面膜を圧縮して超薄膜膜Ｆを形成する膜圧縮手段４と、膜圧縮手段４により形成された超薄膜Ｆを、液面と交差する方向へ移動する基体５に移し取る膜作製手段６と、を備える超薄膜製造装置１であって、液面の上に形成された水面膜の表面圧を測定する表面圧測定手段を備え、膜圧縮手段４が、液面に接しながら移動し、液面に展開された水面膜を圧縮する複数の圧縮部材２１ａ，２１ｂと、複数の圧縮部材２１ａ，２１ｂを個別に駆動する駆動部と、を有し、複数の圧縮部材２１ａ，２１ｂが、基体方向に向かって順番に駆動されるとともに、表面圧測定手段２４の出力に基づいて個別に駆動制御されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】気体励起効率を向上させ、製造コスト及びランニングコストの低減化を実現することができる気体励起装置及び気体励起方法を提供する。
【解決手段】気体励起装置１０Ａは、被処理気体の流入用開口部１０２と処理済み気体の排出用開口部１０３とを有するハウジング１０１内に、交流電源と接続する少なくとも一対の電極１６Ａ，１６Ｂを備え、前記の一対の電極が保護電極と保護電極との組合せであるか又は保護電極と露出電極との組合せであり、少なくとも１つの保護電極が、芯電極１６Ｘと、その芯電極の表面上に全表面を覆って担持された絶縁体被膜層１６Ｙとからなる。 （もっと読む）

【課題】できるだけ部品点数の少ないコンパクトな構成で複雑な化学反応プロセスを自動化する。
【解決手段】流体制御システムは、複数の密閉可能な容器と、該複数の容器を互いに接続する流路と、上記容器の内圧を調節する圧力調節装置と、を有し、上記容器の内圧の差を利用して上記容器間にて溶液を移送させる。 （もっと読む）

【課題】 高電圧の作用により排ガスを浄化する排ガス浄化装置において、装置の耐久性・信頼性を長期間維持できるような構造を提供する。
【解決手段】 各放電管４ａが一対の支持ブロック１５，１６の間に設置されており、且つ放電管４ａの長手方向の端面が、通孔１５ａ，１６ａの口縁に形成された環状の取付用段部２５，２６と接合している。放電管４ａと支持ブロック１５，１６との間のシール性を向上でき、これによって装置の耐久性・信頼性を長期間維持できる。 （もっと読む）

【課題】より低い電圧で放電を開始させることが可能であり、放電継続のために入力すべき電圧の制御が容易な放電型ガス処理装置である。
【解決手段】放電型ガス処理装置１０は、突起１５ａを有する導体電極１５と、導体電極１５に対向する対向電極１６と、対向電極１６の導体電極１５側を覆う誘電体１７と、導体電極１５と対向電極１６との間に所要の電圧を印加して被処理ガスに浄化処理を施すための放電プラズマを生成させる放電電源１３とを備える。突起１５ａの近傍から放電が開始されるように突起１５ａと誘電体１７との間の距離が所要の距離以下あるいは未満となるようにした。 （もっと読む）

【課題】被処理ガスの圧損の増加を抑制しつつ、放電空間を確保するとともに放電の電力密度を向上させることにより、より大流量の被処理ガスを処理可能な小型の放電型ガス処理装置である。
【解決手段】放電型ガス処理装置１０は、被処理ガスＸの流路上に被処理ガスＸの進行方向を横切る複数の棒状の電極１５ａを有する導体電極１５と、導体電極１５に対向し、棒状の電極１５ａの曲率よりも大きい曲率の表面を有する対向電極１６と、対向電極１６の導体電極１５側を覆う誘電体１７と、導体電極１５と対向電極１６との間に所要の電圧を印加して被処理ガスＸに浄化処理を施すための放電プラズマを生成させる放電電源１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 放電電極（41）の先端から対向電極（42）に向かってストリーマ放電を行う放電装置（40）において、放電電極（41）の先端が損耗してもストリーマ放電の安定性が低下しないようにする。
【解決手段】 線状ないし棒状の放電電極（41）を対向電極（42）に対して実質的に平行に配置して、放電電極（41）の先端が損耗しても放電電極（41）の先端形状が変わらず、放電電極（41）と対向電極（42）との間隔も変わらないようにする。 （もっと読む）