マイクロエレクトロニック構造を形成する方法が記述される。それらの方法は、基板上にダイヤモンド層を形成し、そこではダイヤモンド層の一部が欠陥を含み、その後、ダイヤモンド層から欠陥を除去することによってダイヤモンド層内に空孔を形成する。 （もっと読む）

【課題】 アモルファスカーボン膜を有する構造およびその形成方法を提供することである。
【解決手段】 半導体デバイスは、半導体基板と、半導体基板上に形成され、被処理膜を有する膜スタックとを含む。膜スタックに含まれるデュアルハードマスクは、アモルファスカーボン層、およびアモルファスカーボン層と被処理膜との間に配置される下層のハードマスク層を有し、ハードマスク層は、アモルファスカーボン層を含まない。金属配線のためのダマシン構造は、膜スタックに形成されている。アモルファスカーボン膜は、例えば、シングルダマシン構造またはデュアルダマシン構造の中で取り入れられることができる。アモルファスカーボン膜は、配線構造を形成するためのリソグラフィマスクの一部として役に立つことができ、または、それは、ＣＭＰの間、デュアルハードマスク、ケミカルメカニカルポリシング（ＣＭＰ）ストップ層または犠牲層の上部層として役立つことになる。 （もっと読む）

本発明は、Ｙ−分岐型炭素ナノチューブの製造方法及びこの方法によって製造されたＹ−分岐型炭素ナノチューブに関し、具体的には、炭素ナノチューブ担体に触媒を担持させ、触媒−担持された炭素ナノチューブを前処理して触媒を炭素ナノチューブ表面に強く結合させ、結果として得られた触媒−担持された炭素ナノチューブ状の触媒を用いて炭素ナノチューブの合成反応を行うことを含むＹ−分岐型炭素ナノチューブの製造方法が提供される。
本発明によるＹ−分岐型炭素ナノチューブ製造方法は、既存の炭素ナノチューブ製造のための工程条件と装置を用いて様々な形態のＹ−接合を１つ以上有するＹ−分岐型炭素ナノチューブを容易に簡便かつ大量で合成することができるようにするため、工業的に非常に有望である。このように製造されたＹ−分岐型炭素ナノチューブは電極の材料、高分子の強化材、トランジスタあるいは電気化学的材料で卓越した潜在性を有している。

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本明細書に開示する方法、装置およびシステムはカーボンナノチューブの規則アレイに関する。本発明の特定の態様では、ナノチューブアレイは、触媒ナノ粒子(140, 230)をポリマー(120, 210)に結合する段階、ポリマー(120, 210)分子を基板に結合する段階、ポリマー(120, 210)分子を脱離する段階および触媒ナノ粒子(140, 230)上でカーボンナノチューブを製造する段階を含む方法によって製造される。ポリマー(120, 210)分子整列法。ナノチューブアレイを基板の選択した領域(110, 310)に結合することができる。選択した領域(110, 310)内において、ナノチューブは非ランダムに分布される。本明細書に開示する他の態様は、基板に結合されている規則的アレイのナノチューブ、主張されている方法によって製造された、基板に結合されている規則的アレイのカーボンナノチューブを含むシステムに関する。ある態様において、2本鎖DNA分子に分子ワイヤーを連結することによって、分子ワイヤーを整列させる方法が本明細書において提供される。 （もっと読む）

特定の直径および形状を有するカーボン・ナノチューブ（「ＣＮＴ」）を加工する装置およびプロセスであって、真空システム、ＣＮＴホルダ、およびマイクロ波の場をＣＮＴの上に向けて送るように適合されたマイクロ波源を備える装置およびプロセス。形状の選択により、事前に選択された直径構成のサンプルを得ることができ、それにより、任意の合成技法によって生成されるＳＷＮＴのサンプルを取り入れ、所与のナノチューブ・ロープ内において、サンプルが、すべてが導体、すべてが狭いバンド・ギャップの半導体または広いバンド・ギャップの半導体となる形状変化を誘導することが可能になる。
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アモルファスダイヤモンド材料（５）および陰極（２５）と陽極（３０）との間に結合される中間部材（５５）。このアモルファスダイヤモンド材料（５）は、少なくとも約９０％の炭素原子を含み、この炭素原子の少なくとも約２０％は、歪んだ四面体配位で結合されている。アモルファスダイヤモンドコーティング（５）は、陰極（２５）のベース部材と接触しているエネルギー入力表面（１０）およびこのエネルギー入力表面（１０）に対向する電子放出表面（１５）を有する。この電子放出表面（１５）は、約１０〜約１，０００ナノメートルの隆起高さを有し得、そして十分量のエネルギーが該アモルファスダイヤモンド材料に入力された際に、電子を放出し得る。
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【課題】炭素含有燃料ガス及び酸素含有ガスの噴き出し速度を下げても逆火が起こらず、燃焼炉において安定してフラーレン類を製造可能なフラーレン類の製造用バーナー及びこれを用いたフラーレン類の製造方法を提供する。
【解決手段】反応炉内で、酸素含有ガスと炭素含有燃料ガスとを反応させてフラーレン類を製造するのに使用するフラーレン類の製造用バーナー１０であって、酸素含有ガスの噴出部１３、１４を備えた酸素含有ガスノズル体１５、１６と、炭素含有燃料ガスを噴出する噴出部１１を備えた燃料ガスノズル体１２とが別々にあって、しかも噴出部１３、１４から噴出される酸素含有ガスと、噴出部１１から噴出される炭素含有燃料ガスとが、反応炉内で実質的に交叉する。 （もっと読む）