【課題】長孔を有する炭素部品の長孔内部に被膜を形成することにより、酸化性、分解性ガスの雰囲気中でも消耗することなく使用できる炭素部品を提供し、特に孔内部からのパーティクルの発生を防止する。
【解決手段】内部に孔１１を有し、その外面１３がセラミック被膜で覆われた炭素部品１００であって、孔１１が二枚の板状の炭素体１９を重ね合わせて形成され、板材２１は少なくとも一方の炭素体１９の重ね合わせ面２３に形成された溝と、この溝に対向する他方の炭素体１９の重ね合わせ部とにより形成されており、溝を含む孔１１の内面全域がセラミック被膜で被覆されている。 （もっと読む）

【課題】 精製装置に装填する場合の詰め効率の向上と、粉塵の発生抑制によるハンドリング性の向上を図ることができると共に、バインダー等に添加した場合の分散性を飛躍的に向上と、不純物の確実な除去とを図ることができるカーボンナノチューブ集合体等の提供を目的とする。
【解決手段】 粒状であって、かさ密度が０．２５ｇ／ｃｍ^３以下であることを特徴とするカーボンナノチューブ集合体。粒径が１ｍｍ以上であることが望ましく、また、空隙率が８０体積％以上であることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】カーボン部品を高純度に効率よく精製する。
【解決手段】多結晶シリコンの製造に用いられるカーボン部品を処理炉内に収容して、処理炉内を不活性ガス等で置換後、処理炉内を乾燥温度まで昇温し不活性ガス等を流通させてカーボン部品を乾燥する乾燥処理と、乾燥処理後に処理炉内を乾燥温度よりも高い純化温度に消音するとともに、処理炉内に塩素ガスを流通させる塩素流通処理（ステップ２）と、塩素流通処理の後に処理炉内部を減圧する減圧処理（ステップ３）と、減圧処理により生じた減圧状態に処理炉内を保持する減圧保持処理（ステップ４）と、減圧保持処理後の処理炉に塩素ガスを導入して処理炉内を加圧状態とする塩素加圧処理（ステップ５）とを複数回繰り返した後、処理炉内を冷却する。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有する高純度膨張黒鉛シートを用いたカーボンルツボの中敷を提供する。
【解決手段】かさ密度が０．７〜１．３ｇ/ｃｍ^３、厚みが０．２〜１．０ｍｍ及び不純物含有量が５ｐｐｍ以下、線対称形状の膨張黒鉛シートあり、天然黒鉛、熱分解黒鉛、キッシュ黒鉛等を硫酸、硝酸等の混合液で処理し、水洗、乾燥後、膨張炉で約１０００℃に膨張化処理した膨張黒鉛シートを２０００℃以上のハロゲンガス雰囲気下で高純度化処理を施す。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有し且つ高純度の膨張黒鉛シート及びその製造方法並びに該シートを用いたカーボンルツボの中敷を得る。
【解決手段】本発明の可撓性を有し且つ高純度の膨張黒鉛シートは、かさ密度が０．７〜１．３ｇ／ｃｍ^３、厚み０．２〜１．０ｍｍの膨張黒鉛シートを不純物含有量が５ｐｐｍ以下になるように高純度化処理する方法によって得られ、カーボンルツボの中敷に使用することができる。 （もっと読む）

【課題】２０００℃を超える高温に黒鉛材料を加熱して、不純物を反応除去して高純度化することができ、かつ装置の損傷が少なく、エネルギー損失も少ない黒鉛高純度化装置とその方法を提供する。
【解決手段】内部でマイクロ波２が共鳴可能な共鳴空間９を有し、黒鉛材料からなるワーク１を収容可能であり、マイクロ波の吸収が少ない材料からなる中空共鳴容器１０と、中空共鳴容器内に所定の周波数のマイクロ波を供給するマイクロ波供給装置１２と、中空共鳴容器内に不純物を反応除去するための反応性ガス３を流通させるガス流通装置１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有し且つ高純度の膨張黒鉛シート及びその製造方法並びに該シートを用いたカーボンルツボの中敷を得る。
【解決手段】本発明の可撓性を有し且つ高純度の膨張黒鉛シートは、かさ密度が０．７〜１．３ｇ／ｃｍ^３、厚み０．２〜１．０ｍｍの膨張黒鉛シートを不純物含有量が５ｐｐｍ以下になるように高純度化処理して得られ、カーボンルツボの中敷に使用することができる。 （もっと読む）

【課題】膨張黒鉛シートの使用方法を得る。
【解決手段】本発明の膨張黒鉛シートの使用方法は、外壁と内壁の間に、かさ密度０．７〜１．３ｇ／ｃｍ^３、厚み０．２〜１．０ｍｍ、不純物含有量１０ｐｐｍ以下の膨張黒鉛シートを挟んで用いるものである。前記膨張黒鉛シートは、高い純度が要求され且つ可撓性が要求される炉内部品として用いられることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有し且つ高純度の膨張黒鉛シート及びその製造方法並びに該シートを用いたカーボンルツボの中敷を得る。
【解決手段】本発明の可撓性を有し且つ高純度の膨張黒鉛シートは、膨張化黒鉛をプレスまたはロールで圧縮成形してかさ密度を０．７〜１．３ｇ/ｃｍ^３に調整した膨張黒鉛シートを高純度化処理して、不純物含有量を５ｐｐｍ以下にすることで得られ、カーボンルツボの中敷に使用することができる。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有する高純度膨張黒鉛シートを用いたカーボンルツボの中敷及びその製造方法を提供する。
【解決手段】カーボンルツボの中敷は、かさ密度が０．７〜１．３ｇ/ｃｍ^３、厚みが０．２〜１．０ｍｍ及び不純物含有量が５ｐｐｍ以下であり、さらに線対称形状である膨張黒鉛シートを用いた可撓性を有するカーボンルツボの中敷である。また、前記膨張黒鉛シートは非線対称形状のものであってもよい。さらに、カーボンルツボの中敷の製造方法は、かさ密度が０．７〜１．３ｇ／ｃｍ^３及び厚みが０．２〜１．０ｍｍの膨張黒鉛シートを、線対称形状に加工した後に高純度化処理して、不純物含有量を５ｐｐｍ以下にする方法である。 （もっと読む）

【課題】 方向や径が揃ったカーボンナノチューブ膜を短時間で作製することができ量産性に優れたカーボンナノチューブ膜作製装置とする。
【解決手段】基板３が収容されるチャンバ１内をプラズマ化して塩素ガスのガスプラズマ１９を発生させ、塩素ラジカルによりグラファイト製の被エッチング部材１１をエッチングすることにより気相中に塩化炭素の前駆体を生成し、基板３側の温度を被エッチング部材１１側の温度よりも低くすることで前駆体の炭素成分をカーボンナノチューブ膜として基板３に成膜させる。 （もっと読む）

【課題】凝集のない高純度に精製でき、且つカーボン材料を工業的に製造することができるナノカーボン材料の精製方法及び該精製方法により得られたナノカーボン材料を提供する。
【解決手段】精製容器１１内の精製対象物であるナノカーボン材料を含むナノカーボン材料生成物１２を設置し、外部からハロゲン系ガス１３を流入し、ハロゲン化処理し、前記精製容器１１の外周に設けた加熱部１４によりハロゲン化物を気化又は昇華させて精製する。 （もっと読む）

制御可能な高表面積を有し、かつ、高い伝導性、制御可能な構造および正確に制御可能な孔径を呈する炭素材料の高表面積ナノセルラー材料、ならびにこれらの材料の製造方法および使用を提供する。
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【課題】 任意の三次元方向のいずれにおいても３０ｍｍ以上の厚さを有する炭素材であっても、その中心部における純度が表面近傍と同等レベルである炭素材を製造する方法およびその純化方法を提供する。
【解決手段】 炭素原料粉末およびバインダの混練物の成形工程と、焼成工程と、焼成体に、ハロゲンを含む有機物を加熱した有機溶媒に溶解させた溶液を、該有機溶媒の沸点以下の温度で含浸させる工程と、乾燥工程と、黒鉛化処理工程とを経る製造方法、または、焼成または焼成・黒鉛化した炭素材について、含浸工程と、乾燥工程と、ハロゲンを含むガス雰囲気下での熱処理工程とを経る純化方法により、炭素材を得る。 （もっと読む）