Fターム[4K018CA23]の内容
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モリブデンを含有するビレットあるいはバーを製造する方法
スパッタリング対象物用の大型のMoビレットあるいはMoバーを製造する方法であって、Moを含有する二つ以上のボディは、その隣接したボディ間の隙間または結合部にMo金属粉が存する状態で、相互隣接して配置されている(例えば一方が他方に積み重なっている)。この隣接したボディは、機械加工する等して大型のスパッタリング対象物を形成可能なビレットまたはバーを提供するため、隣接ボディ間の結合部で金属−Mo粉層−金属の拡散接合すべく熱間等方加圧される。相互近接して配置されるボディの数や寸法は、スパッタリング対象物として適切な大型のビレットやバーを産出できるように要望に応じて選択される。スパッタリング対象のためのビレットまたはバーは、粒度30ミクロン未満の等軸粒子からなるミクロ構造を呈するとともに、重量比で約100ppmの低酸素含有量となっている。
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