【課題】大気圧下で窒化物生成ではなくＮ原子のみの拡散固溶処理を行って靭性を保ったまま硬度を向上させ，しかもこのＮ原子のみの固溶処理を連続ラインで処理することを可能にして，処理ラインの初期投資及びメンテナンスを低減させる方法を提供する
【解決手段】
容器内に原料ガスとして窒素ガスと共に水素ガスを添加しながら前記容器内を大気圧かそのプラス近傍の陽圧状態にして被処理物の表面にパルスアーク型プラズマジェットを照射することを特徴とするパルスアーク型プラズマジェットによる金属又は樹脂等の被処理材の表層硬化方法．
窒素ガス流量１〜１００Ｌ／ｍｉｎ，水素ガス／窒素ガス流量比０．１％〜２００％，被処理物の温度を室温〜１０００℃，処理時間を０．０１時間〜２４時間にする．被処理物を金属材料または絶縁体のいずれかにする． （もっと読む）

【課題】被処理物の表面の一部を占める被処理領域を選択的に窒化するプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置は、被処理物の表面の一部を占める被処理領域を選択的に窒化する。接地電極には接地電位が与えられ、接地電極と対向電極との間には接地電極の電位より対向電極の電位が高くなる直流パルス電圧が繰り返し印加される。被処理領域には、面積が１０ｃｍ²以下であって導電体が露出する対向電極の対向面が対向させられる。チャンバの内部の空間には、窒素ガスを含有する処理ガスが供給され、当該空間の雰囲気は、圧力が５０Ｔｏｒｒ以上常圧以下となり窒素ガスの分圧が全圧の５０％以下となる状態に調整される。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム材料の表面処理方法に関し、アルミニウム材料の表面に耐摩耗性及び耐衝撃性により優れた窒化アルミニウム（ＡｌＮ）域を生成するようにする。
【解決手段】シリコン（Ｓｉ）及びマグネシウム（Ｍｇ）を含有するアルミニウム材料を準備し、準備したアルミニウム材料をプラズマ窒化処理して、このアルミニウム材料の表面に窒化アルミニウム（ＡｌＮ）域を生成して、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）域中に柱状組織と粒状組織とが交互に重合する組織構造を得る。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性が良好なアルミニウム部材を安定して製造すること。
【解決手段】バレル窒化工程において、窒素ガスを含む処理ガスの存在の下、アルミナ（Al₂O₃）粉末及びAl-Mg合金粉末を含むAl-Mg/Al₂O₃充填粉末と、アルミニウムからなる基材とをバレル容器１内で混合し、該基材３の表面に窒化物層を形成し、続いてイオン窒化工程において、真空環境の下、プラズマを用いて窒素ガスを含む処理ガスから窒素イオンを形成するとともに、該窒素イオンを基材３の表面にスパッタリングにより導入し、該基材３の表面に新たに窒化物層を形成する複合窒化処理を行うことを解決手段とする。 （もっと読む）

【課題】半導体プロセス装置内においてハロゲン含有化学種に晒されたアルミニウム物品の腐食を避ける手段を提供する。
【解決手段】最適なマグネシウム含有量を有するアルミニウム−マグネシウム合金をハロゲン含有化学種に晒した際には、該物品の表面下にハロゲン化マグネシウムの保護層５１２が形成される。該保護層は、ハロゲンが基部アルミニウムに浸透するのを防止し、腐食および「ひび割れ」から保護する。ハロゲン化マグネシウム層を摩耗から保護するには、ハロゲン化マグネシウム層の上に、硬い凝集性のコーティング５１４を有していることが好ましい。好ましいコーティングは、酸化アルミニウムまたは窒化アルミニウムである。アルミニウム物品のマグネシウム含有量は、該物品全体で、あるいは少なくとも耐腐食性とされるべき表面下の領域で、約０．１重量％〜１．５重量％である。該アルミニウムの不純物含有量は、０．２％未満であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム材料及びその表面処理方法に関し、アルミニウム材料の表面に耐摩耗性及び耐衝撃性により優れた窒化アルミニウム（ＡｌＮ）域を生成するようにする。
【解決手段】シリコン（Ｓｉ）及びマグネシウム（Ｍｇ）を含有するアルミニウム材料を準備し、準備したアルミニウム材料をプラズマ窒化処理して、このアルミニウム材料の表面に窒化アルミニウム（ＡｌＮ）域を生成して、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）域中に柱状組織と粒状組織とが交互に重合する組織構造を得る。 （もっと読む）

【課題】各種合金からなる超小な球状形状などの被処理物に対し、安定かつ均一な窒化物表面層を形成させることができるプラズマ窒化装置および窒化方法を提供すること。
【解決手段】鉄合金、アルミニウム合金またはチタン合金を母材とした被処理物を、窒素ガスと水素ガスとを主成分とするグロー放電により発生させたプラズマ雰囲気中で、揺動または振動させつつ窒化し、上記被処理物の最表面層に鉄の窒化物、アルミニウムの窒化物またはチタンの窒化物を均一に生成させることを特徴とする被処理物のプラズマ窒化装置および窒化方法。 （もっと読む）

高温の化学的に活性な熱プラズマ流を利用して金属及びその窒化物又は炭化物からなるコンポジット構造物に変化せしめられるといった材料物質を処理する方法及びその方法で得られる製品。該複合している熱プラズマは活性なガス状、液状又は固体状の物質を制御可能に添加することを行う。得られた該表面層は基材を機能的に高品位化し、非常に優れたボンド（接着層）となり、それは剥離したり、砕けることに抵抗性を与え、硬さ、磨耗抵抗性や摩滅抵抗性、及び腐食抵抗性を顕著に高いものとし、摩擦係数が低いものとなる。 （もっと読む）

【課題】被覆対象母材の表面に、母材と別体の被覆材料を用いて緻密で且つ十分な膜厚を有する表面被覆膜を形成することのできる表面被覆方法および表面被覆膜を提供する。
【解決手段】被覆対象母材１の表面に被覆材の粉末２を存在させ、圧接体４を該粉末の上からその先端当接部５を前記母材１の表面に向けて設定荷重で押し付けつつ回転させ、その際少なくとも前記荷重の作用する領域部分の前記母材１の表面および被覆材の粉末２を所定温度以上に昇温した状態にして該圧接体４を母材１の表面に沿って移動させることにより該母材１の表面に初期被覆膜３を形成する工程と、非酸化雰囲気で加熱して、前記初期被覆膜から被覆材成分をその被覆界面より母材１中に向けて拡散させて表面被覆膜３０に仕上げる加熱拡散工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】基材に施された複数の処理面での界面の密着性が高く、複合ドライ表面改質処理が高効率で実施できる処理方法、装置および表面改質処理物を提供する。
【解決手段】 本発明装置は、装置本体に対し高圧導入端子に切換手段を介して、第１改質装置と第２改質装置を接続し、チャンバーの壁に第３改質装置を接続したものである。装置本体はチャンバーと、ガス導入装置と、真空引きする真空装置と、基材取付台と、該それを台展延面に垂直な軸回りで、チャンバー壁に対し絶縁材を介して回転自在に支持する台支持部と、前記基材取付台に対し摺動ブラシを介して接続され、チャンバー壁に絶縁貫通して取り付けられた高圧導入端子とを含む。基材の加熱を前記第２装置を使用して電子ビーム注入で行って加熱保持し、次に、前記第３装置を使用してアトム窒化および窒化イオン注入併用で窒化し、次に第１装置を使用してＤＬＣ成膜を行う。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性と潤滑性を向上させて、比較的摩耗性の少ない移送液において、回転摺動するロータと接するステータの長寿命化及びポンプ低回転時の異常振動・異音の発生を防止する一軸偏心ねじポンプのロータを提供する。
【解決手段】一軸偏心ねじポンプ１１は、雄ねじ形のロータ１２を、雌ねじ形のステータ１３内に回転可能に嵌挿して偏心回転させることにより、被移送物を移送する。ロータ１２には、中実あるいは中空のステンレス鋼、アルミニウム合金を用いる一方、ステータ１３には、ゴムを用いる。ロータ１２は、ロータ基材（ステンレス鋼）の表面に、膜厚さが０．５〜５μｍのＤＬＣ膜を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 低温で速く窒化層を形成できるアルミニウム合金の窒化方法を提供する。
【解決手段】 高密度，高解離度の窒素原子プラズマを発生させるための電子ビーム励起プラズマ源，プラズマを溜め窒化処理を行う処理槽，真空排気系装置，加熱装置，処理物バイアス電圧印加装置，原料ガス系装置からなる処理装置を使用し、電子ビームにより励起させた高密度，高解離度の窒素原子プラズマ浴中でアルミニウム合金を処理する。
電子ビーム励起プラズマ源の運転条件が、加速電圧Ｖは５０〜１５０ボルト，加速電流Ａは４アンペア以上である。プラズマの原料ガスが窒素ガス、または窒素ガスと水素ガスの混合ガス，または窒素ガスとアルゴンガスの混合ガス、または窒素ガスと水素ガスとアルゴンガスのの混合ガスである。窒化処理温度が３００〜５５０℃である。 （もっと読む）

【課題】高い硬度と優れた耐摩耗性に加え、優れた耐ハロゲン腐食性を発揮する複合層被覆部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】複合層被覆部材１０は、金属製基材１１と、この金属製基材１１の表面に形成されたＡｌ層１２と、このＡｌ層１２の表面に形成されたＡｌＮ層１３とを備えてなる。Ａｌ層１２は、溶融めっき法やＰＶＤ法等の蒸着により形成され、ＡｌＮ層１３は、Ａｌ層１２を窒化処理することにより形成される。 （もっと読む）

本発明は、ＡｌＮ域の膜厚が厚く、域内において均一であり、母材との密着性が高い、ＡｌＮ域を表面に有するアルミニウム材料、及びその製造方法を提供する。本発明は、ＣｕＡｌ２を有するアルミニウム材料を準備する工程、及び該アルミニウム材料をプラズマ窒化する工程を有し、これによりアルミニウム材料の表面に窒化アルミニウム（ＡｌＮ）域を生成する、ＡｌＮ域を表面に有するアルミニウム材料の製造方法を提供する。
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【課題】作製コストを低減し、かつ、歩留りを向上させることが可能な多孔質構造体を提供する。
【解決手段】この多孔質構造体は、多孔質構造を有するとともに、表面近傍の領域２ａにアルミニウムの靭性を低下させることが可能な元素（酸素）が含有された酸化アルミニウム膜２を備えている。そして、酸化アルミニウム膜２の表面近傍の領域２ａの元素（酸素）の含有率は、酸化アルミニウム膜２の表面近傍の領域２ａ以外の領域の元素（酸素）の含有率よりも高い。 （もっと読む）

本発明は、アルミニウム合金製の部品（５）へのイオン注入装置に関するものであって、該装置は、抽出圧力によって加速されたイオンを放出するイオン源（６）と、前記源（６）によって発信された初期イオンビーム（ｆ１’）の、注入ビーム（ｆ１）への第一の調整手段（７−１１）とを有する。前記源（６）は、部品（５）内に１２０℃を下回る温度で注入されるマルチエネルギーイオンの初期ビーム（ｆ１’）を生産する、電子サイクロトロン共鳴源である。前記調整手段（７−１１）を介して調整された注入ビーム（ｆ１）の、これらのマルチエネルギーイオンの注入は、源の抽出圧力によってコントロールされた深さに同時に実施される。
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