ＣＶＤ (106,390)

原料ガス (20,169)
皮膜材質 (16,728)
皮膜構造 (4,457)
基体 (14,903)
前処理、後処理 (3,120)
原料ガスの処理 (4,687)
原料ガスの励起、活性化 (9,777)
基体の支持、搬送 (3,879)
被覆処理 (2,086)
処理条件 (6,571)
反応装置 (11,046)
膜特性、用途 (8,967)