【課題】本発明の切り屑形成機械加工用の被膜切削工具は、被膜が微細な等軸粒によって特徴付けられた少なくとも１層のアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）層を含む。
【解決手段】本発明にしたがって、少なくとも１層がα−Ａｌ_２Ｏ_３から実質的になり、一つまたは複数の耐熱層で少なくとも部分的に被覆されたボディを提供する。前記Ａｌ_２Ｏ_３の層は、平均粒径が１μｍ以下の実質的に等軸の粒からなり、且つ０．５〜１μｍの平均粒径の粗い粒と０．５μｍ以下の微細粒とからなる双峰粒径分布を有する。さらに、前記Ａｌ_２Ｏ_３の層は、チタン(５ａｔ％以上)を含むが窒素または炭素を含まない溝状の領域含む。この特別な顕微鏡組織は、Ａｌ_２Ｏ_３の層の成長に必要なガスを一時的に停止し、かつＴｉＣｌ₄を導入することによって達成される。 （もっと読む）

【課題】熱処理を行っても低い比誘電率を維持する低誘電率ＳｉＯＣＨ膜を提供する。
【解決手段】ＳｉＯＣＨ膜の成膜方法は、被処理基板上のプロセス空間中においてシロキサン員環構造を有する有機シロキサンプリカーサをプラズマにより解離させる工程と、前記被処理基板上に前記ＳｉＯＣＨ膜を成膜する工程とを含み、前記成膜工程は、室温以上、２００℃以下の温度で実行されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱的影響をポリ乳酸基材に与えることなく、しかも水分の影響による膜剥離の問題を生じることなく、密着性に優れ、しかもガスバリア性に優れ、水分透過性も低い蒸着膜が表面に形成されたポリ乳酸成形品の製造方法を提供する。
【解決手段】脂肪族不飽和基を有し且つ分子中に酸素を有していない有機ケイ素化合物（例えばトリメチルビニルシラン）と、脂肪族不飽和炭化水素（例えばエチレン或いはアセチレン）との混合ガスを反応性ガスとして使用し、該反応性ガスをポリ乳酸基材上に供給してのプラズマＣＶＤにより、ポリ乳酸基材上に蒸着膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、下地層、下部層および上部層からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下地層は、立方晶のＴｉＣｒ複合炭化物相マトリックス中に１０〜４０面積％の斜方晶のＣｒＴｉ複合炭化物相が分散分布した層厚０．１〜２μｍの混合相組織層で構成し、下部層は、合計平均層厚３〜２０μｍのＴｉ化合物層で構成し、上部層は、平均層厚１〜２０μｍの酸化アルミニウム層で構成する。 （もっと読む）

【課題】難削材の高速切削加工等で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）Ｔｉ化合物層からなる下部層、（ｂ）結晶粒の結晶面である（０００１）面の法線がなす傾斜角を測定して傾斜角度数分布グラフを作成した場合、０〜１５度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在し、その度数割合が５０％以上を占める傾斜角度数分布グラフを示す改質α型Ａｌ₂Ｏ₃層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、工具すくい面領域にのみ、さらに、酸化チタン層（下側層）と窒酸化チタン層（上側層）からなる最外層を設ける。 （もっと読む）

【課題】難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】下部層はＴｉ化合物層で構成し、上部層は改質α型Ａｌ₂Ｏ₃層と標準α型Ａｌ₂Ｏ₃層とで構成し、硬質被覆層を前記下部層と上部層とから構成してなる表面被覆工具において、改質α型Ａｌ₂Ｏ₃層は、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、結晶粒の結晶面である（０００１）面の法線がなす傾斜角を測定して、傾斜角度数分布グラフを作成した場合、７５〜８５度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、前記７５〜８５度の範囲内に存在する度数の合計が度数全体の４５〜６５％の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示すとともに、その表面粗さをＲａ：０．２μｍ以下とする。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、下地層と上部層からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下地層は、立方晶のＴｉＣｒ複合炭化物相マトリックス中に１０〜４０面積％の斜方晶のＣｒＴｉ複合炭化物相が分散分布した層厚０．１〜２μｍの混合相組織層で構成し、また、上部層は、層厚０．５〜２μｍの内部層（Ｔｉ窒化物層）と、層厚０．５〜５μｍの中間層（粒状結晶組織のＴｉ炭化物層または縦長成長結晶組織のＴｉ炭窒化物層）と、層厚０．３〜２μｍの表面層（Ｔｉ窒化物層）、の積層構造として構成する （もっと読む）

【課題】難削材の高速重切削加工等で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）Ｔｉ化合物層からなる下部層、（ｂ）結晶粒の結晶面である（０００１）面の法線がなす傾斜角を測定して傾斜角度数分布グラフを作成した場合、７５〜９０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在し、その度数割合が５０％以上を占める傾斜角度数分布グラフを示すα型Ａｌ₂Ｏ₃層からなる補強層、（ｃ）改質α型Ａｌ₂Ｏ₃層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、工具すくい面領域にのみ、さらに、酸化チタン層（下側層）と窒酸化チタン層（上側層）からなる最外層を設ける。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速重切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットで構成された工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）中間層として、特定なを満足するＴｉとＡｌとＣｒとＺｒの複合炭窒酸化物層、（ｃ）上部層として、化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有し、特定な組成式を満足するＡｌとＣｒとＺｒの複合酸化物層を設け、さらに、該上部層は、表面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である（０００１）面（１０−１０）面の法線がなす傾斜角を測定し、特定な構成原子共有格子点分布グラフを示すＡｌとＣｒとＺｒの複合酸化物層で構成する。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットで構成された工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）上部層として、化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有し、組成式：（Ａｌ_{１−Ｑ−Ｒ}Ｃｒ_ＱＺｒ_Ｒ）_２Ｏ_３、（ただし、原子比で、Ｑ：、０．００５〜０．０７、Ｒ：０．００３〜０．０５）、を満足するＡｌとＣｒとＺｒの複合酸化物層を設け、さらに、該上部層は、表面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である（０００１）面（１０−１０）面の法線がなす傾斜角を測定し、特定な構成原子共有格子点分布グラフを示すＡｌとＣｒとＺｒの複合酸化物層で構成する。 （もっと読む）

【課題】 硬質被覆層が高速重切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットで構成された工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）中間層として、特定な組成式を満足するＴｉとＡｌとＺｒの複合炭窒酸化物層、（ｃ）上部層として、化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有し、特定な組成式を満足するＡｌとＣｒの複合酸化物層を設け、さらに、該上部層は、表面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である（０００１）面（１０−１０）面の法線がなす傾斜角を測定し特定な構成原子共有格子点分布グラフを示すＡｌとＺｒの複合酸化物層で構成する。 （もっと読む）

大気圧又は低真空条件で作動する誘電体バリア放電トーチを使用した粉末のインフライト表面処理の方法をここで説明する。前記方法は、減少した粉末凝集特性を示す粉末粒子を生成する誘電体バリア放電トーチへと粉末材料を供給する段階と、粒子の表面特性をインフライト修飾する段階と、被覆された粉末粒子を回収する段階と、を含む。大気圧又は低真空条件で作動する誘電体バリア放電トーチを備えるマイクロ粒子及びナノ粒子の表面処理のための装置もここで説明する。
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【課題】 硬質被覆層が高速重切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットで構成された工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）中間層として、特定の組成式：（Ｔｉ_{１−Ｘ−Ｙ}Ａｌ_ＸＣｒ_Ｙ）Ｃ_αＮ_βＯ_γを満足するＴｉとＡｌとＣｒの複合炭窒酸化物層、（ｃ）上部層として、化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有し、特定の組成式：（Ａｌ_１−ＱＣｒ_Ｑ）_２Ｏ_３を満足するＡｌとＣｒの複合酸化物層を設け、さらに、該上部層は、相互に隣接する結晶粒の界面で、前記構成原子のそれぞれが前記結晶粒相互間で１つの構成原子を共有する格子点（構成原子共有格子点）が特定の構成原子共有格子点分布グラフを示すＡｌとＣｒの複合酸化物層で構成する。 （もっと読む）

本発明は、金属基板への気相における化学的蒸着による、炭化クロム、チッ化クロム、または炭チッ化クロムあるいは化学的特性がクロムの化学的特性に近い金属元素を基材とする非酸化物セラミックタイプの被覆の蒸着方法であって、主として、ａ） ビス（アレン）群に属し分解温度が３００℃から５５０℃の間に含まれる、蒸着すべき金属の前駆分子化合物であって酸素原子のない溶媒に溶解された化合物を含む溶液を用意するステップと、ｂ） エアロゾルの形態の前記前駆体溶液を、溶媒の沸騰温度と前駆体の分解温度との間に含まれる温度に熱せられた蒸発装置（３）内に投入するステップと、ｃ）蒸発装置（３）およびＣＶＤ反応装置（１０）に大気圧がかかっている状態で、蒸発装置（３）の中性ガス束により、前駆体および気化エアロゾルを、被覆すべき基板を支持し前駆体の分解温度より高い温度であって最高でも５５０℃までの温度に熱せされたサセプタ（１３）を備える冷壁ＣＶＤ反応装置（１０）側に移動させるステップとを含むことを特徴とする方法を対象とする。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性および耐摩耗性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具を提供する。
【解決手段】 硬質被覆層がＴｉ化合物層の下部層と、（Ａｌ，Ｃｒ）₂Ｏ₃層の上部層で構成された被覆サーメット工具において、前記下部層に層間介在層として改質ＷＣ層を介在させ、前記上部層を、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である（０００１）面および（１０-１０）面の法線がなす傾斜角を測定し、この測定値から、構成原子共有格子点分布グラフを作成した場合に、Σ３に最高ピークが存在し、かつ前記Σ３のΣＮ＋１全体に占める分布割合が６０％以上である構成原子共有格子点分布グラフを示す改質（Ａｌ，Ｃｒ）₂Ｏ₃層で構成する。 （もっと読む）

【課題】 硬質被覆層が高速切削ですぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層が、３〜２０μｍの合計平均層厚を有する化学蒸着により形成されたＴｉ化合物層、（ｂ）中間層が、１〜１５μｍの平均層厚を有する化学蒸着により形成されたα型Ａｌ₂Ｏ₃層、（ｃ）上部層が、１〜１０μｍの平均層厚を有し、かつ、特定な組成式を満足する物理蒸着により形成されたＴｉとＡｌ（とＭ）の複合窒化物層、で構成された５〜３０μｍの全体平均層厚の硬質被覆層を蒸着形成してなる被覆工具において、中間層を構成するα型Ａｌ₂Ｏ₃層の個々の結晶粒の（０００１）面の法線がなす傾斜角を測定し、４５〜９０度の範囲を傾斜角度数分布グラフで表した場合、８３〜９０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在し、かつ、この度数合計が、度数全体の４５％以上となるα型Ａｌ₂Ｏ₃層で中間層を構成する。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性および耐摩耗性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具を提供する。
【解決手段】 硬質被覆層がＴｉ化合物層の下部層と、（Ａｌ，Ｃｒ）₂Ｏ₃層の上部層で構成された被覆サーメット工具において、工具基体と前記下部層の間に改質ＷＣ層を介在させ、前記上部層を、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である（０００１）面および（１０-１０）面の法線がなす傾斜角を測定し、この測定値から、構成原子共有格子点分布グラフを作成した場合に、Σ３に最高ピークが存在し、かつ前記Σ３のΣＮ＋１全体に占める分布割合が６０％以上である構成原子共有格子点分布グラフを示す改質（Ａｌ，Ｃｒ）₂Ｏ₃層で構成する。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が難削材の高速切削加工ですぐれた耐チッピング性および耐摩耗性を発揮する被覆サーメット工具を提供する。
【解決手段】硬質被覆層がＴｉ化合物層の下部層と、α型Ａｌ₂Ｏ₃層の上部層で構成された被覆サーメット工具において、工具基体と前記下部層の間に改質ＷＣ層を介在させ、前記上部層を、電界放出型走査電子顕微鏡と電子後方散乱回折像装置を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記結晶粒の各結晶面の法線が表面研磨面の法線と交わる角度を測定し、この測定結果から（０００１）面および｛１０−１０｝面を選び出し、さらに、選び出した（０００１）面および｛１０−１０｝面において、それぞれ隣接する結晶粒相互の界面（結晶粒界面単位）における（０００１）面の法線同士および{１０−１０}面の法線同士の交わる角度が１５度以下の結晶粒界面単位が全体の４５％以上を占める結晶粒界面配列を示す改質α型Ａｌ₂Ｏ₃層で構成する。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が難削材の高速切削加工ですぐれた耐チッピング性および耐摩耗性を発揮する被覆サーメット工具を提供する。
【解決手段】硬質被覆層がＴｉ化合物層の下部層と、α型Ａｌ₂Ｏ₃層の上部層で構成された被覆サーメット工具において、前記下部層に層間介在層として改質ＷＣ層を介在させ、前記上部層を、電界放出型走査電子顕微鏡と電子後方散乱回折像装置を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記結晶粒の各結晶面の法線が表面研磨面の法線と交わる角度を測定し、この測定結果から（０００１）面および｛１０−１０｝面を選び出し、さらに、選び出した（０００１）面および｛１０−１０｝面において、それぞれ隣接する結晶粒相互の界面（結晶粒界面単位）における（０００１）面の法線同士および{１０−１０}面の法線同士の交わる角度が１５度以下の結晶粒界面単位が全体の４５％以上を占める結晶粒界面配列を示す改質α型Ａｌ₂Ｏ₃層で構成する。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性および耐摩耗性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具を提供する。
【解決手段】硬質被覆層がＴｉ化合物層の下部層と、α型Ａｌ₂Ｏ₃層の上部層で構成された被覆サーメット工具において、前記下部層に層間介在層として改質ＷＣ層を介在させ、前記上部層を、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である（０００１）面および（１０-１０）面の法線がなす傾斜角を測定し、この測定値から、構成原子共有格子点分布グラフを作成した場合に、Σ３に最高ピークが存在し、かつ前記Σ３のΣＮ＋１全体に占める分布割合が６０％以上である構成原子共有格子点分布グラフを示す改質α型Ａｌ₂Ｏ₃層で構成する。 （もっと読む）