説明

テクナ・プラズマ・システムズ・インコーポレーテッドにより出願された特許

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【課題】四塩化チタンおよびマグネシウムを出発原料として、四塩化チタンガスとマグネシウムガスとの均一混合を促進させるとともに、混合ガスの反応により効率よく金属チタンを堆積させることにより、金属チタンをより効率よく製造できる金属チタンの製造方法および装置を提供すること。
【解決手段】金属チタン製造装置は(a)気体状のマグネシウムを供給する第一流路、(b)気体状の四塩化チタンを供給する第二流路、(c)気体状のマグネシウムと四塩化チタンとが混合されるようになっており、ガス混合部内の温度が1600℃以上に制御されているガス混合部、(d)析出用粒子が移動可能に配置され、温度範囲が715〜1500℃にあり、絶対圧が50kPa〜500kPaである金属チタン析出部、(e)金属チタン析出部に連通する混合ガスの排出部を有する。 (もっと読む)


【課題】析出反応を利用して低コストで金属チタンを製造する方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明は、750℃以上、1500℃以下に加熱した析出空間に実質的に静止配置した基材表面に、気化したMgと、気化した四塩化チタンを異なる経路を通して供給して、基材の存在下で混合し、基材表面にチタンを析出させ、形成された表面を析出空間に維持してチタンを析出成長させる金属チタンの製造方法である。本発明は、気化したマグネシウムを通過させるマグネシウム導入管と、導入管に連通させた上記温度に加熱した析出空間と、析出空間に実質的に静止配置した析出基材と、析出基材に向かって気化した四塩化チタンを吹き付ける四塩化チタン導入管を有する装置にも関するものである。 (もっと読む)


ナノ粉末の生成および材料処理のためのプロセスおよび装置が、本明細書で説明されている。プラズマを発生させるためにプラズマトーチを備えるトーチ本体と、プラズマ放電を受け取るためにトーチ本体と流体連結し、さらに急冷部と流体連結している反応炉部と、反応炉部と熱的に連結している少なくとも1つの加熱要素とを備え、その少なくとも1つの加熱要素が反応炉部内の温度を選択的に調節すること可能にするプラズマ反応炉が、本明細書で説明されている。
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【課題】連続処理によって、四塩化チタンを金属チタンに還元する、金属チタンの製造方法および装置を提供する。
【解決手段】本発明による製造方法は、RFコイルを備えたプラズマトーチによりRF熱プラズマフレームを発生させる段階と、RF熱プラズマフレームへ四塩化チタンおよびマグネシウムを供給して四塩化チタンを金属チタンに還元させる段階と、塩化マグネシウムの沸点以上且つ金属チタンの沸点以下の雰囲気で金属チタンを集積または堆積させる段階とを含む。 (もっと読む)


大気圧又は低真空条件で作動する誘電体バリア放電トーチを使用した粉末のインフライト表面処理の方法をここで説明する。前記方法は、減少した粉末凝集特性を示す粉末粒子を生成する誘電体バリア放電トーチへと粉末材料を供給する段階と、粒子の表面特性をインフライト修飾する段階と、被覆された粉末粒子を回収する段階と、を含む。大気圧又は低真空条件で作動する誘電体バリア放電トーチを備えるマイクロ粒子及びナノ粒子の表面処理のための装置もここで説明する。
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金属カルボニルを誘導プラズマトーチに導入することにより金属ナノパウダーを合成する方法。従来の金属粉フィードの高い融解温度とは対照的なカルボニルのはるかに低い解離温度を利用することによって、トーチ電力が小さくてすむ。さらに、電極ベースのプラズマトーチを利用する現在の粉末製造技法とは対照的に、誘導プラズマトーチは、ナノパウダーに汚染物質を導入しない。
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i)基板を提供する段階、ii)スパッタリングターゲットを形成するように選択された材料をプラズマ溶解し、溶解材料の溶滴を生じさせる段階、iii)基板上に液滴を蒸着させ、基板上に材料の被覆層からなるスパッタリングターゲットを生じさせる段階を有するスパッタリングターゲットを製造するための方法。いくつかの適用では、基板は一時的な基板で、iv)被覆された一時基板を永久的なターゲット支持材料に前記被覆層を介して接合し、v)前記一時基板を取り外し、永久的なターゲット支持材料上に材料の被覆層からなるスパッタリングターゲットを生じさせることが、望ましい。プラズマ蒸着ステップは、大気圧下、又は直流プラズマ溶射、直流転送アーク蒸着、誘導プラズマ溶射などの軟真空を使用する条件下で行われる。この方法は簡単で、結果としてのターゲット上にその後の作業を必要としない。 (もっと読む)


ナノ粉末を合成するためのプロセスと装置が提案される。特に、有機金属化合物、塩化物、臭化物、フッ化物、ヨウ化物、亜硝酸塩、硝酸塩、シュウ酸塩、および炭酸塩を前駆体として使う、誘導プラズマ技術による金属、合金、セラミック、および複合材料のような様々な材料のナノ粉末の合成のためのプロセスが開示される。このプロセスは、反応材料を、材料の過熱蒸気をもたらすのに十分高い温度を持ったプラズマ流れが生成されたプラズマトーチに供給する段階と;前記蒸気を冷却領域にプラズマ流れを用いて輸送する段階と;冷却領域内のプラズマ流れに冷却ガスを注入して再生可能なガスの冷却面を形成する段階と;再生可能なガスの冷却面とプラズマ流れとの間の界面においてナノ粉末を形成する段階と;を有する。
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本発明は、金属化合物蒸気から金属酸化物ナノ粉末を合成するための方法および装置に関するものである。特に、TiCl 蒸気からTiO ナノ粉末を合成するための方法および装置を開示する。金属化合物蒸気は、誘導RFプラズマ内において、酸化性ガスと反応し、これにより、金属酸化物蒸気を形成する。この金属酸化物蒸気は、大きな乱流強度を有したガスクエンチ領域内において急冷され、これにより、粒子成長プロセスを停止させて、公知方法において得られる金属酸化物粒子のサイズと比較して、金属酸化物粒子のサイズを実質的に低減することができる。金属化合物蒸気は、また、ドーピング剤と反応することによって、ドーピングされた金属酸化物ナノ粉末を形成することができる。加えて、本発明においては、コーティングされた金属酸化物ナノ粉末を形成することができる。
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本発明は、プラズマ処理と、プラズマ処理済み粉末に対する超音波処理と、を組み合わせたような、粉末の球状化焼鈍や高密度化や精製のためのプロセスに関するものである。超音波処理により、プラズマによって溶融して部分的に蒸発した粉末から、『煤塵』とも称されるような、ナノサイズの凝結粉末を分離することができる。また、このプロセスを使用することにより、ナノ粉末を合成することができる。この場合、供給材料を部分的に蒸発させ、その後に、蒸気クラウドの迅速な凝縮を行い、これにより、ナノ粉末からなる微細エアロゾルを生じさせる。後者の場合、超音波処理ステップは、部分的に蒸発した材料から、形成されたナノ粉末を分離するように作用する。
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