【課題】 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 硬質被覆層として、少なくともＴｉ化合物層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、Ｔｉ化合物層のうちの少なくとも１層は、｛１１２｝面の法線の傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在し、その度数の合計が、度数全体の４５％以上の割合を占めるＴｉＣＮ層、また、Ｔｉ化合物層のうちのさらに少なくとも１層は、｛１１１｝面の法線の傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在し、その度数の合計が、度数全体の４５％以上の割合を占める（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層で構成する。 （もっと読む）

【課題】 難削材の高速断続切削で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 工具基体表面に、（ａ）Ｔｉ化合物層からなる下部層、（ｂ）Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）の値（原子比）が０．０００１〜０．００２であるＡｌとＺｒの複合酸化物層と、改質α型酸化アルミニウム層の積層構造からなる上部層を形成し、さらに、上記ＡｌとＺｒの複合酸化物層と上記改質α型酸化アルミニウム層は、各層を構成する結晶粒について、隣接する結晶粒相互の界面における（０００１）面の法線同士および｛１０−１０｝面の法線同士の交わる角度が１５度以下の結晶粒界面単位が全結晶粒界面単位の、それぞれ３５％以上および４５％以上を占める結晶粒界面配列を示す。 （もっと読む）

【課題】高温下の還元性ガス（特に、アンモニア、水素、炭化水素ガスなど）に対して、優れた耐食性および耐熱衝撃性を有する炭化タンタル被覆炭素材料およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】炭素基材１と、前記炭素基材１上に形成されかつ（２２０）面に配向した炭化タンタルの結晶から実質的になる被覆膜２とを有する、炭化タンタル被覆炭素材料１０。被覆膜２のＸ線回折パターンにおいて、好ましくは、炭化タンタルの（２２０）面に基く回折強度が最大の強度を示しかつ２番目に大きな強度の回折強度の４倍以上の強度を示し、また、好ましくは、炭化タンタルの（２２０）面に基く回折強度の半価幅が０．２°以下である。
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【課題】耐熱合金の高速重切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具およびその製造方法を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に硬質被覆層を形成した表面被覆切削工具において、硬質被覆層の下部層はＴｉ化合物層、同上部層は、化学蒸着で形成した島状のＡｌ_２Ｏ_３（縦断面観察による）と、該島状Ａｌ_２Ｏ_３の間隙を埋める物理蒸着で形成された耐熱性高強度硬質膜からなる混合組織構造を有し、上部層表面に平行な横断面において上記Ａｌ_２Ｏ_３が占める面積（Ａ_ＣＶＤ）と、上記耐熱性高強度硬質膜が占める面積（Ａ_ＰＶＤ）との面積比（Ａ_ＣＶＤ／Ａ_ＰＶＤ）は、１〜１７である混合組織層で構成される。 （もっと読む）

本発明は、ダイヤモンド基材と、炭化物形成元素の第１の炭化層と、第１の層からの炭化物形成元素を実質的に含まないである、Ｗ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｔａ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、又はその任意の組合せ若しくは合金から選択される高融点金属の第２の層と、第２の層の金属が、オーバーコーティングの金属と異なる、Ａｇ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｒｈ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｒｅ、その任意の組合せ又は合金のオーバーコーティングとを含むコーティングされたダイヤモンドに関する。本発明は、さらに、このようなコーティングされたダイヤモンド及びこのようなコーティングされたダイヤモンドを含む研磨材含有工具の製造方法に関する。
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微小孔性炭素触媒担持材料が、０．１〜１０ナノメートルの平均孔径を有し、かつ１マイクロメートルを超える孔を実質的に含まない、微小孔性炭素骨格層と、微小孔性炭素骨格層上又は微小孔性炭素骨格層内の複数の触媒粒子とを含む。
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【課題】高速高送り断続切削加工に用いた場合であっても、チッピング、欠損、層間剥離等を生じないすぐれた工具特性を備えた表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 工具基体の表面に、硬質被覆層として、（ａ）２〜１５μｍの合計平均層厚を有するＴｉ系化合物層からなる下部層、（ｂ）０．１〜２μｍの平均層厚を有し、ＴｉとＣｒの複合酸化物相と、Ｔｉの少なくとも一部をＣｒで置換した複合炭酸化物相またはＴｉの少なくとも一部をＣｒで置換した複合炭窒酸化物相との混合相からなる中間層、（ｃ）０．５〜１０μｍの平均層厚を有するＡｌ_２Ｏ_３層からなる上部層、を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】耐熱性に優れるとともに、耐酸化性に優れた耐熱耐酸化性炭素膜及びその形成方並びに耐熱耐酸化性炭素膜被覆物品及びその製造方法を提供する。
【解決手段】(1) 炭素を主成分とし、シリコンを含有しており、表面層として酸化シリコン含有層を有する耐熱耐酸化性炭素膜Ｆ、(2) 該膜で被覆された耐熱耐酸化性炭素膜被覆物品Ｗ、(3) シリコン含有炭素膜ｆ１を形成する工程と、該工程で形成された炭素膜ｆ１の表面を酸化処理して、酸化シリコン含有層ｆ２を形成する工程とを含む耐熱耐酸化性炭素膜Ｆの形成方法及び(4) 耐熱耐酸化性炭素膜被覆対象物品を準備し、該物品の表面の少なくとも一部に(3) の方法により耐熱耐酸化性炭素膜Ｆを形成して耐熱耐酸化性炭素膜被覆物品Ｗを得る物品製造方法。 （もっと読む）

【課題】層間絶縁膜の材質としてフッ素添加カーボン（ＣＦ膜）を用いた半導体装置において、低誘電率であるフッ素添加カーボン膜の利点を生かすこと。
【解決手段】直鎖構造のＣ_５Ｆ_８ガスを用いてＣＦ膜を成膜し、その表面にハードマスクになる金属を直接形成する。このＣＦ膜は、耐熱性が大きいので金属膜の膜剥れがなく、また機械的強度が大きいのでＣＭＰ加工にも耐えられ、またＣＭＰ加工の後処理を有機酸などで行うことによりＣＦ膜の損傷もなくなる。その結果下層側のＣＦ膜と上層側のＣＦ膜との間にＳｉＣＮなどからなる比誘電率の高いキャップ膜が存在しなくなる。 （もっと読む）

【課題】高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 工具基体の表面に、硬質被覆層として、少なくとも、一層平均層厚が０．５〜５μｍのアルミニウムとクロムの複合酸化物層と、一層平均層厚が０．０５〜０．５μｍのチタンとクロムの炭酸化物層および／または炭窒酸化物層とが交互に積層された合計平均層厚が２〜１５μｍの交互積層を形成する。 （もっと読む）

【課題】複雑な処理を必要とせずに高濃度のＧｅを含有するＳｉＣＧｅ結晶を成長する方法を提供する。
【解決手段】基板上のＳｉＧｅ結晶薄膜を炭化することによりＳｉＣＧｅ結晶薄膜を製造する。 （もっと読む）

【課題】プラスチック基材としてＰＥＴやポリオレフィンを用いた場合には勿論のこと、ポリ乳酸を用いた場合においても、酸化劣化のみならず、熱変形や熱劣化などを生じることなく成膜が可能であり、しかも酸素や水分に対するバリア性も高く、密着性に優れ、且つ水分による膜剥離も有効に防止された蒸着膜を備えたプラスチック成形品を提供する。
【解決手段】プラスチック基板１と、該基板表面にプラズマＣＶＤ法によって形成された蒸着膜３とからなり、蒸着膜３は、元素比Ｃ／Ｍ（Ｍは金属元素である）が２．５乃至１３であり且つ元素比Ｏ／Ｍが０．５以下の範囲にある有機金属系蒸着層３ａと炭化水素系蒸着層３ｂとを含み、炭化水素系蒸着層３ｂは、厚みが４０乃至１８０ｎｍの範囲にあり、且つＦＴ−ＩＲ測定で波数３２００〜２６００ｃｍ^−１の領域にＣＨ、ＣＨ_２及びＣＨ_３に由来するピークを示し、ＣＨ_２比が３５％以下及びＣＨ_３比が４０％以上であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、金属機械加工において使用すべき被覆された切削工具インサート及びテクスチャー硬化α−Ａｌ₂Ｏ₃層に関する。
【解決手段】該アルミナ層は、改善された靭性によって特徴づけられ、その全ての機能的部分を覆う基板に接着する。被膜は、２〜１２の長さ／幅比をもつ柱状粒子から成る２〜２０μｍの範囲の厚みをもつテクスチャー硬化α−Ａｌ₂Ｏ₃である少なくとも１つの層を含めた１種以上の耐熱層で構成されている。α−Ａｌ₂Ｏ₃は強い（０００６）回折ピークを示す。改善された摩耗耐性及び靭性は、（０００６）反射についてのテクスチャー係数（ＴＣ）が１-．３３Ｉｎｈ＋２（ここでｈはα−Ａｌ₂Ｏ₃層の厚みである）より大きい場合、そしてα−Ａｌ₂Ｏ₃層の表面が１μｍ未満のＲａ値まで湿式ブラストされた場合に得られる。強い（０００１）テクスチャーをもつアルミナ層は、結合相富化超硬合金基板上に適用される。この組合せは、耐摩耗性及び靭性の増強に寄与する。 （もっと読む）

本発明は、軟質基材上にバリヤー層を形成する方法及びプロセスを提供する。連続ロールツーロール法は、処理チャンバを通して基材を誘導するように構成された少なくとも１つのローラーを使用して、基材を処理チャンバに提供することを含む。該プロセスは、処理チャンバ内にある基材の少なくとも一部分を、ケイ素及び炭素含有前駆体ガスを含むプラズマに曝すことによって、バリヤー層を基材に近接して蒸着させることを含む。本発明は、構造単位ＳｉＣ：Ｈに基づいたバリヤー層を含む、コーティングされた軟質基材をさらに対象とする。該バリヤー層は、高密度及び低多孔度を有する。さらに、該バリヤー層は、１０^−２〜１０^−３ｇ．ｍ^−２ｄ^−１の範囲の低い水蒸気透過速度（ＷＶＴＲ）を示し、非常に低い透過率用途に適切である。
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高い延性を示し、亀裂伝播と剥離との両方について低い傾向を示す、厚く、高質な、α―アルミナコーティングを提供する。基板と、前記基板上に形成されたＣＶＤ−蒸着多層セラミックコーティングとを具え、前記多層セラミックコーティングが、酸化物材料と前記酸化物材料に付着する界面層との交代層を含み、前記界面層が、硬質材料内に酸化物材料の少なくとも１つの成分が溶解した固溶体を含むことを特徴とする、コーティングされた切削インサート。
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【課題】Ｎｉ，Ｐｔ，ＮｉＰｔ，ＮｉＳｉ，ＰｔＳｉ等の膜を綺麗に、即ち、段差被覆性良く形成できる技術を提供することである。
【解決手段】膜をＣＶＤにより形成する方法であって、
Ｍ（ＰＦ_３）_４（ＭはＮｉ又はＰｔ）を膜形成室に供給するＭ（ＰＦ_３）_４供給工程と、ＰＦ_３を膜形成室に供給するＰＦ_３供給工程と、前記膜形成室に供給された化合物を分解させ、基板上に堆積させてＭ系膜を形成する膜形成工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 工具基体の表面に、硬質被覆層として、少なくとも、一層平均層厚が０．５〜５μｍの酸化アルミニウム層と、一層平均層厚が０．０５〜０．５μｍのチタンとクロムの炭酸化物層および／または炭酸窒化物層とが交互に積層された合計平均層厚が２〜１５μｍの交互積層を形成する。 （もっと読む）

【課題】鋼や鋳鉄の強断続切削加工等で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性とすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に下部層と上部層からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下部層は３〜２０μｍの合計平均層厚を有するＴｉ化合物層、上部層は酸化アルミニウム層、酸化クロム層および窒酸化チタン層から構成され、かつ、上記酸化クロム層中には、空孔最大幅０．５〜３μｍ、空孔率５〜３０％の複数の微少空孔が存在している。 （もっと読む）

【課題】レーザ照射手段のような大掛かりな装置を必要とせず、ＰＦＣ系ガスを用いずに、十分な処理効果を奏するプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法、ガス発生装置及びガス発生方法、並びに、フッ素含有高分子廃棄物処理方法を提供する。
【解決手段】プラズマを発生させる放電空間４に配置されたフッ素含有高分子原料１と、プラズマ中において上記フッ素含有高分子原料と反応することによって、フッ素含有化学反応種を発生させるガスを供給するガス供給手段８とを備え、プラズマ中にフッ素含有化学反応種を発生させ、該フッ素含有化学反応種により被処理物を処理するプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法、ガス発生装置及びガス発生方法である。フッ素含有高分子廃棄物にプラズマ又はプラズマ中を通過したガスを照射することにより、当該フッ素含有高分子廃棄物のフッ素を回収するフッ素含有高分子廃棄物処理方法である。 （もっと読む）

【課題】 重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 工具基体の表面に、Ｔｉ化合物層からなる下部層と、Ａｌ_２Ｏ_３層からなる上部層で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、上記Ｔｉ化合物層のうちの少なくとも一つの層を、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、層の縦断面研磨面の法線に対して、（００１）面および（０１１）面の法線がなす傾斜角を測定し、（００１）面の法線同士および（０１１）面の法線同士の交わる角度が２度以上の場合を粒界と設定した上で、測定領域において粒界として識別される結晶粒相互間の界面のうち、（００１）面の法線同士、および（０１１）面の法線同士の交わる角度が１５度以上の粒界の長さＧＢＬと、測定したＴｉ化合物層の層厚Ｔの比の値ＧＢＬ／Ｔが２９５〜５２０である縦長成長結晶組織をもつＴｉＣＮ（ｌ−ＴｉＣＮ）層、で構成する。 （もっと読む）