金属炭化物膜を形成する方法が提供される。いくつかの実施形態では、基体は、遷移金属種およびアルミニウム炭化水素化合物（ＴＭＡ、ＤＭＡＨ、またはＴＥＡなど）の交互のパルスに曝露される。このアルミニウム炭化水素化合物は、アルミニウム濃度、抵抗率、接着および耐酸化性などのその金属炭化物膜の所望の特性を達成するように選択される。いくつかの実施形態では、この方法は、フラッシュメモリにおける制御ゲートの仕事関数を決定する金属炭化物層を形成するために使用される。 （もっと読む）

【課題】 高速断続高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、（ａ）下部層として、粒状結晶組織のＴｉＣ層、ＴｉＮ層、ＴｉＣＮ層のうちの少なくとも１層、（ｂ）中間層として、粒状結晶組織のＴｉＣＮＯ層と粒状結晶組織のＣｒＣＮＯ層の積層、（ｃ）上部層として、縦長成長結晶組織のＴｉＣＮ層、（ｄ）最表面層として、Ａｌ_２Ｏ_３層、上記（ａ）〜（ｄ）からなる硬質被覆層を蒸着形成し、必要により、上記（ｃ）と（ｄ）の間に、密着層として、粒状結晶組織のＴｉ化合物層を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】 高硬度被削材の高速断続高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、（ａ）下部層として、粒状結晶組織のＴｉＣ層、ＴｉＮ層、ＴｉＣＮ層のうちの少なくとも１層、（ｂ）中間層として、粒状結晶組織のＴｉＣＮＯ層と粒状結晶組織のＷＣＮＯ層の積層、（ｃ）上部層として、縦長成長結晶組織のＴｉＣＮ層、（ｄ）最表面層として、Ａｌ_２Ｏ_３層、上記（ａ）〜（ｄ）からなる硬質被覆層を蒸着形成し、必要により、上記（ｃ）と（ｄ）の間に、密着層として、粒状結晶組織のＴｉ化合物層を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】中空容器成膜装置のプラズマが不安定になったり成膜が不均一になるという欠点を無くするために、複数のガスの混合や切り換えの安定化を図るように、ガス供給管を改良した中空容器成膜装置を提供する。
【解決手段】プラズマ成膜を行う筐体とプラズマを発生させる為の高周波電源、ガス供給管及び真空排気装置を少なくとも備えて中空容器に成膜を行う装置において、ガス供給管内部に１本以上の別のガス供給管が同軸配置される形で、複数本のガス供給管を有する。 （もっと読む）

本発明は、硬質材料で被覆され、ＣＶＤによって塗布された数層を含む物体に関する。Ｔｉ_１−ｘＡｌ_ｘＮ層および／またはＴｉ_１−ｘＡｌ_ｘＣ層および／またはＴｉ_１−ｘＡｌ_ｘＣＮ層の上に外層としてのＡｌ_２Ｏ_３層が配置される。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて簡便に硬質物質を製造することが可能な製造方法を提供すること。
【解決手段】硬質物質は、パルス放電によるプラズマ化学気相成長法を用いて、Ｂ、Ｔｉ、ＷおよびＳｉから選択される少なくとも１種の元素の酸化物を水素還元し、窒化、炭化または炭窒化させることにより製造される。この酸化物には、Ｂ_２Ｏ_３、ＴｉＯ、ＴｉＯ_２、Ｔｉ_２Ｏ_３、ＷＯ_２、Ｗ_２Ｏ_５、ＷＯ_３、ＳｉＯ_２から選択される１種または２種以上が含まれていると良い。また、上記製造方法により得られた硬質物質をコーティング材として工具に使用する。 （もっと読む）

【課題】載置台の上面を平滑な形状に容易に加工でき、また、基板周縁部の温度低下も防止できるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】処理容器２０内に供給された処理ガスをプラズマ化させることにより、処理容器２０内において基板Ｗを処理するプラズマ処理装置５であって、処理容器２０内には、基板Ｗを上面に載置させる載置台２１が設けられ、載置台２１の上面には、基板Ｗの周縁を位置決めする位置決めピン２５が複数箇所に突出しており、位置決めピン２５は、載置台２１の上面に形成された凹部２６に挿入されている。位置決めピン２５を外した状態で載置台２１の上面を平滑な形状に加工できる。また、載置台２１の上面に載置された基板Ｗの周縁近傍には位置決めピン２５しか存在しないので、基板周縁部の温度低下も防止できる。 （もっと読む）

【課題】高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、密着性Ｔｉ化合物層と改質ＴｉＣＮ層からなる下部層、改質α型酸化アルミニウム層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上部層に隣接して存在する密着性Ｔｉ化合物層あるいは改質ＴｉＣＮ層からなる下部層と、改質α型酸化アルミニウム層からなる上部層のそれぞれについてのΣ３対応粒界の数と位置を測定した場合、上部層に隣接して存在する前記密着性Ｔｉ化合物層あるいは改質ＴｉＣＮ層の、上部層−下部層界面に存在する下部層Σ３対応粒界のうちの３０〜７０％の割合の下部層Σ３対応粒界が、上部層Σ３対応粒界と連続する結晶粒界を形成している。 （もっと読む）

【課題】バリア性能が向上したバリア性積層体を提供する。
【解決手段】少なくとも１層の有機層と、少なくとも１層の無機層とを有し、前記有機層は、重合性化合物と、１分子中に２以上の重合開始能を有する部位を有する光重合開始剤を含む組成物を光照射して硬化させてなることを特徴とするバリア性積層体。 （もっと読む）

基板上に金属含有薄膜を堆積する方法および組成物は、気相金属−有機前駆体を１つまたはそれ以上の基板を含む反応チャンバに導入することを含む。前記前駆体は、少なくとも１つのβ−ジケチミナト配位子を有し、かつ一般式：M(R¹C(NR⁴)CR²C(NR⁵)R³)₂L_nを有する。
ここで、Ｍはニッケル、コバルト、ルテニウム、イリジウム、パラジウム、白金、銀および金から選ばれる金属である。それぞれのR^1-5はH; および C₁ − C₄直鎖または分岐アルキル基、アルキルシリル基、アルキルアミド基、アルコキシ基、またはアルキルシリルアミド基から別個に選択される有機配位子である。各Ｌは炭化水素；酸素含有炭化水素：アミン；ポリアミン；ビピリジン；酸素含有へテロ環、窒素含有ヘテロ環、およびそれらの組合せから別個に選択され、およびｎは０も４も含めて０から４の範囲の整数である。
金属含有膜は、前記基板が約100℃と約 500℃の間の温度に維持しながら前記基板上に堆積される。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速重切削加工ですぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）上部層として、平板多角形（平坦六角形状を含む）状かつたて長形状の結晶粒組織構造を有し、Ｚｒを含有するα型Ａｌ_２Ｏ_３を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上部層の結晶粒の内、面積比率で６０％以上の結晶粒の内部は、少なくとも一つ以上のΣ３で表される構成原子共有格子点形態からなる結晶格子界面により分断されている。 （もっと読む）

【課題】高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金からなる工具基体の表面に、（ａ）下部層として、粒状結晶組織のＴｉＣ層、ＴｉＮ層、ＴｉＣＮ層のうちの少なくとも１層、（ｂ）中間層として、粒状ＴｉＷＣＮＯ層、（ｃ）上部層として、縦長成長結晶組織のＴｉＣＮ層、（ｄ）最表面層として、Ａｌ_２Ｏ_３層、上記（ａ）〜（ｄ）を蒸着形成し、必要により、上記（ｃ）と（ｄ）の間に、密着層として、粒状結晶組織のＴｉ化合物層を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】酸化アルミニウム膜の密着性を高め、皮膜の耐剥離性に優れた被覆工具を提供する。
【解決手段】基体表面に周期律表４ａ、５ａ、６ａ族金属から選択される元素の炭化物、窒化物、炭窒化物、酸化物、炭酸化物、窒酸化物及び炭窒酸化物のいずれか１種の単層皮膜又は２種以上の多層皮膜が形成され、皮膜の上層に結合膜を介してα型酸化アルミニウム膜が形成されている被覆工具において、結合膜とα型酸化アルミニウム膜との界面における結合膜の表面形状が樹状突起８と、これに連なる枝状突起９とからなる樹枝形状を有し、枝状突起の長さｎｍをＬＢとしたとき、５≦ＬＢ≦２００、であり枝状突起とα型酸化アルミニウム膜との界面は、透過電子顕微鏡の観察により連続した格子縞を有することを特徴とする被覆工具である。 （もっと読む）

【課題】高速切削加工ですぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、下部層として、密着性Ｔｉ化合物層と縦長成長結晶組織を有する改質Ｔｉ系炭窒化物層、上部層としてＡｌ_２Ｏ_３層からなる硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、前記改質Ｔｉ系炭窒化物層は、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１２｝面の法線および｛１１１｝面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうちで、｛１１２｝面についての測定傾斜角および｛１１１｝面についての測定傾斜角が、前記表面研磨面の法線に対して０〜１０度の傾斜角の範囲内にあるそれぞれの結晶粒子の総面積Ａと総面積Ｂを求めた場合、Ａ／Ｂが２〜９である結晶配向性を示す改質Ｔｉ系炭窒化物層である。 （もっと読む）

【課題】プレス金型のコーティング皮膜の耐焼付き性，耐摩耗性を向上し、かつその摩耗を目視で簡便に判定する技術を提供する。
【解決手段】プレス金型の表面に第１コーティング皮膜を形成し、第１コーティング皮膜の上面にその第１コーティング皮膜と異なる色調を有する第２コーティング皮膜を形成し、第２コーティング皮膜が摩耗して第１コーティング皮膜が露出するまでプレス金型を使用する。 （もっと読む）

【課題】高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、下部層として、密着性Ｔｉ化合物層と縦長成長結晶組織を有する改質Ｔｉ系炭窒化物層、上部層としてＡｌ_２Ｏ_３層からなる硬質被覆層を形成し、前記改質Ｔｉ系炭窒化物層は、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１２｝面、｛１１０｝面および｛１１１｝面の各法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、｛１１２｝面、｛１１０｝面および｛１１１｝面についての測定傾斜角が、前記表面研磨面の法線に対して０〜１０度の傾斜角の範囲内にあるそれぞれの結晶粒子の総面積Ａ、総面積Ｂ、総面積Ｃの比Ａ／ＢおよびＡ／Ｃの値がいずれも２〜８である結晶配向性を示す。 （もっと読む）

【課題】耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮し、厚膜化が可能な表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、Ｔｉ化合物層からなる下部層と、Ａｌ_２Ｏ_３層と改質（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮＯ層の交互積層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、改質（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮＯ層は、層の縦断面研磨面の法線に対して、（００１）面および（０１１）面の法線がなす傾斜角を測定し、（００１）面の法線同士および（０１１）面の法線同士の交わる角度が２度以上の場合を粒界と設定した場合、測定領域において粒界として識別される結晶粒相互間の界面のうち、（００１）面の法線同士、および（０１１）面の法線同士の交わる角度が１５度以上の粒界の長さＧＢＬと、測定した層の層厚Ｔの比の値ＧＢＬ／Ｔが２５０〜５００を示す。 （もっと読む）

【課題】難削材の高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、Ｔｉ化合物層からなる下部層と、Ａｌ−Ｚｒ複合酸化物層と改質Ｔｉ炭窒酸化物層の交互積層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｚｒ複合酸化物層は、組成式（Ａｌ_１−ＸＺｒ_Ｘ）_２Ｏ_３（０．００３≦Ｘ≦０．０５）を満足し、また、改質Ｔｉ炭窒酸化物層は、層の縦断面研磨面の法線に対して、（００１）面および（０１１）面の法線がなす傾斜角を測定し、（００１）面の法線同士および（０１１）面の法線同士の交わる角度が２度以上の場合を粒界と設定した場合、測定領域において粒界として識別される結晶粒相互間の界面のうち、（００１）面の法線同士、および（０１１）面の法線同士の交わる角度が１５度以上の粒界の長さＧＢＬと、測定した層の層厚Ｔの比の値ＧＢＬ／Ｔが３２０〜６００を示す。 （もっと読む）

【課題】高切込み・高送りの重切削加工で、硬質被覆層がすぐれた層間付着強度および耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、硬質被覆層として、少なくとも、Ｔｉ化合物層と酸化アルミニウム層を化学蒸着で形成してなる表面被覆切削工具において、工具基体とＴｉ化合物層の間に、組成式：Ｗ（Ｃ_１−ＸＮ_Ｘ）を満足するＷの炭窒化物（Ｘは原子比で、０．００５≦Ｘ≦０．１）を主体とする下地層を介在形成し、また、下地層についてオージェ電子分光分析した場合、Ｔｉ化合物層と下地層の界面近傍に、Ｃｏ濃度の最高点が存在する。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの炭化物材料を含んでいる材料からなる本体と、ダイアモンド材料で構成され前記本体に設けられて摺動面を生成するコーティングと、を備えているメカニカルシールアセンブリのシールリングに関する。本発明は、前記本体が、前記コーティングのダイアモンド材料に適合するダイアモンド材料で作られた微粒子部を少なくとも１つの炭化物材料を含んでいる前記材料へ入れることによる２成分の材料で形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）