【課題】硬質被覆層が高速重切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）上部層として、平板多角形（平坦六角形状を含む）状かつたて長形状の結晶粒組織構造を有し、Ｔｉを含有するα型Ａｌ_２Ｏ_３を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上部層の結晶粒の内、面積比率で６０％以上の結晶粒の内部は、少なくとも一つ以上のΣ３で表される構成原子共有格子点形態からなる結晶格子界面により分断されている。 （もっと読む）

【課題】 高速断続重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 工具基体の表面に、（ａ）下部層が、少なくとも１層のＴｉＣＮ層を含むＴｉ化合物層、（ｂ）上部層がＡｌ_２Ｏ_３層で構成された表面被覆切削工具において、上記ＴｉＣＮ層の表面研磨面の法線に対して、（２２１）、（３１０）面の法線がなす傾斜角を測定して作成した傾斜角度数分布グラフにおいて、それぞれ、０〜１０度または２５〜４０度の傾斜角区分に最高ピークが存在し、かつ、その度数の合計が全体のそれぞれ７０％以上であり、さらに、Σ５の分布割合が、ΣＮ＋１全体の分布割合の合計の６０％以上を占める構成原子共有格子点分布グラフを示す。 （もっと読む）

【課題】 高熱発生を伴う高速断続重切削において、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、硬質被覆層を蒸着形成してなる表面被覆切削工具において、下部層はＴｉ化合物層で構成され、また、上部層は、一層平均層厚０．８〜１．５μｍの酸化アルミニウム層と一層平均層厚０．４〜０．６μｍのジルコニウム含有酸化アルミニウム層との交互積層構造として構成され、さらに、上記ジルコニウム含有酸化アルミニウム層におけるジルコニウム含有割合は、層厚方向に沿って組成が変化し、かつ、層厚方向の中間領域で、最大値１３〜１６原子％を示す。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、加工時や使用時に生じる熱による寸法変化が起こりにくく、且つ変質しにくく、したがって、長期にわたり高く安定したガスバリア性を保持することができる透明ガスバリア性フィルムを提供することを目的とする。
【解決手段】 プラスチックフィルムを加熱処理し、特定の熱収縮率となるように収縮させてプラスチック基材フィルムとし、該プラスチック基材フィルムの少なくとも一方の面に蒸着膜を設けて蒸着フィルムとし、さらに、該蒸着フィルムを加熱処理して、特定の熱収縮率となるように収縮させることを特徴とする透明ガスバリア性フィルムを提供する。 （もっと読む）

【課題】 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットで構成された工具基体表面に、下部層（Ｔｉ化合物層）と上部層（α型酸化アルミニウム）からなる硬質被覆層が化学蒸着で形成された表面被覆切削工具において、透過型電子顕微鏡とエネルギー分散形Ｘ線分析装置を用いてプローブ径５ｎｍで上記下部層と上部層との界面を解析した場合に、上記下部層と上部層との界面を中心とした±５ｎｍの界面領域のみに、Ｚｒ原子、Ｌｕ原子、Ｙ原子、Ｃｒ原子のいずれか１種又は２種以上が合計で１〜５原子％存在する。 （もっと読む）

【課題】難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、Ｔｉ化合物層からなる下部層、改質窒化クロム層からなる中間層及び改質酸化アルミニウム層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、中間層及び上部層のΣ３の比率は、ΣＮ＋１全体の６０％以上を占め、また、上部層と中間層の界面に臨んで存在するΣ３対応粒界の数と位置を測定した場合、上記界面に臨んで存在する中間層Σ３対応粒界のうちの３０〜７０％が、上部層Σ３対応粒界と連続する結晶粒界を形成している。 （もっと読む）

【課題】手間を要さずにIII族窒化物半導体基板を得ることができるIII族窒化物半導体基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】下地基板１０上に、第一の膜１１である炭素膜を形成する工程と、第一の膜１１上に炭化チタン層１２を形成する工程と、炭化チタン層１２を窒化する工程と、窒化された炭化チタン層の上部にＧａＮ半導体層をエピタキシャル成長させる工程と、ＧａＮ半導体層から、下地基板１０を除去して、ＧａＮ半導体基板を得る工程とを実施する。 （もっと読む）

【課題】 鋼、鋳鉄等の高速断続切削加工において硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】ＷＣ超硬合金、ＴｉＣＮ基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）ＴｉＣ層、ＴｉＮ層、ＴｉＣＮ層、ＴｉＣＯ層およびＴｉＣＮＯ層のうちの１層または２層以上からなり、かつ、３〜１５μｍの合計平均層厚を有するＴｉ化合物層からなる下部層、（ｂ）０．２〜１μｍの平均層厚および微粒縦長成長結晶組織を有するＴｉＣ層と、０．５〜３μｍの平均層厚を有するＡｌ_２Ｏ_３層との交互積層構造からなり、かつ、３〜１５μｍの合計平均層厚を有する上部層、を硬質被覆層として蒸着形成した表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】単一のＳｉＣ超硬合金層、または少なくとも１つのＳｉＣ超硬合金層を含むＳｉＣ多層構造体で被覆された物体、および物体を単一のＳｉＣ超硬合金層、または少なくとも１つのＳｉＣ超硬合金層を含むＳｉＣ多層構造体で被覆する方法を提供する。
【解決手段】単一のＳｉＣ層は、ハロゲン元素を含むナノ結晶３Ｃ−ＳｉＣから、ＳｉＣ多層構造体は、ハロゲン元素を含むナノ結晶３Ｃ−ＳｉＣおよび非晶質ＳｉＣの混合物、またはハロゲン元素を含むナノ結晶３Ｃ−ＳｉＣおよび非晶質炭素の混合物から形成する。被覆は、Ｈ₂および／または１種もしくは複数種の不活性ガス、一般式Ｓｉ_nＸ_2n、Ｓｉ_nＸ_2n+2もしくはＳｉ_nＸ_yＨ_z（ここで、Ｘはハロゲン元素、ｎ≧２）で表される１種または複数種のハロゲン化ポリシラン、ならびに１種もしくは複数種の炭化水素を含む混合ガスを用いて、熱ＣＶＤプロセスを介して行う。 （もっと読む）

【課題】ステンレス鋼、ダクタイル鋳鉄等の難削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）中間層としてα型Ａｌ_２Ｏ_３層、（ｃ）上部層として、平板多角形状かつたて長形状の結晶粒組織構造を有するＣｒ含有α型Ａｌ_２Ｏ_３層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、中間層及び上部層は、それぞれ、（０００１）面配向率の高いα型Ａｌ_２Ｏ_３層、Ｃｒ含有α型Ａｌ_２Ｏ_３層からなり、また、上部層の結晶粒の内、面積比率で６０％以上の結晶粒の内部は、少なくとも一つ以上のΣ３で表される構成原子共有格子点形態からなる結晶格子界面により分断されている。 （もっと読む）

【課題】 硬質合金鋼の高速連続切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、下部層と中間層と上部層とからなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下部層はＴｉ化合物層、中間層は（０００１）面配向率が高いα型Ａｌ_２Ｏ_３層、上部層は、Ａｌ_２Ｏ_３相とＣｒ_２Ｏ_３相の均一混合組織層であって、さらに、該混合組織層の各結晶面のうちの相互に隣接する結晶粒の界面で、１つの構成原子を共有する格子点（構成原子共有格子点）の分布を算出し、前記構成原子共有格子点間に構成原子を共有しない格子点がＮ個存在する構成原子共有格子点形態をΣＮ＋１で表した場合、Σ３に最高ピークが存在し、かつ前記Σ３のΣＮ＋１全体に占める分布割合が４０〜６０％である。 （もっと読む）

【課題】 硬質合金鋼の高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、下部層と中間層と上部層とからなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下部層はＴｉ化合物層、中間層は（０００１）面配向率が高いα型Ａｌ_２Ｏ_３層、上部層は、Ａｌ_２Ｏ_３相とＣｒ_２Ｏ_３相の混合組織を有し、上部層の中間層側（工具基体側）よりも上部層の表面側においてより多くの酸化クロムを含有する混合組織層であって、さらに、該混合組織層の各結晶面のうちの相互に隣接する結晶粒の界面で、１つの構成原子を共有する格子点（構成原子共有格子点）の分布を算出し、前記構成原子共有格子点間に構成原子を共有しない格子点がＮ個存在する構成原子共有格子点形態をΣＮ＋１で表した場合、Σ３に最高ピークが存在し、かつ前記Σ３のΣＮ＋１全体に占める分布割合が３０〜５０％である。 （もっと読む）

【課題】 高速高送り切削加工において硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ） 下部層として、窒化チタン層及び縦長成長結晶組織を有する炭化チタン層、（ｂ）密着性層として、微粒縦長成長結晶組織を有する炭化チタン層、（ｃ）中間層として、上記密着性層に隣接して形成された縦長成長結晶組織を有する炭窒化チタン層、及び、炭窒化チタン層に挟まれた状態で存在し、かつ、微粒縦長成長結晶組織を有する少なくとも一層または複数層の炭化チタン層を含むＴｉ化合物層、（ｄ） 上部層として、酸化アルミニウム層、上記（ａ）〜（ｄ）で構成された硬質被覆層を１５〜３０μｍの全体平均層厚で形成する。 （もっと読む）

プラズマ反応処理を用いたフルオロカーボン層の形成方法は、マイクロ波出力及びRFバイアスを印加する工程を有する。前記マイクロ波出力及びRFバイアスは、20mTorr〜60mTorrの範囲の圧力下で印加される。
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【課題】硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐欠損性、耐剥離性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、硬質被覆層として、Ｔｉ化合物層からなる下部層と酸化アルミニウム層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上部層と下部層の界面には、三次元網状構造の界面組織が形成され、該界面組織の三次元網状構造は六方晶の結晶構造を有するＴｉ酸化物で構成され、該網状構造の網目間隙には酸化アルミニウムが充填され、さらに、該界面組織の断面を走査型電子顕微鏡で観察した場合、単位断面積当り、酸化アルミニウムが充填された直径１０〜５００ｎｍの網目間隙が３０箇所以上存在する。 （もっと読む）

【課題】高速切削加工において、優れた耐熱塑性変形性、層間密着強度を示す表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】下部層と上部層からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、（ａ）下部層は、Ｔｉの炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物および炭窒酸化物のいずれか１種又は２種以上からなるＴｉ化合物層、（ｂ）上部層は、Ｙ（イットリウム）を０．１〜２原子％含有するとともに、該上部層についてＸ線回折を行ったときにＹ_２Ｏ_３の（８４０）面からの回折強度Ｉ（８４０）の値が最大回折強度を示し、かつ、他のＹ_２Ｏ_３の結晶面で２番目に大きい回折強度Ｉsecとの比の値Ｉ（８４０）／Ｉsecが１．５以上であるＹ_２Ｏ_３分散Ａｌ_２Ｏ_３層、で構成する。 （もっと読む）

【課題】高速切削条件下でクレーター摩耗を低減しかつ高度な耐摩耗性を付与する被膜を備えた表面被覆切削工具の提供。
【解決手段】基材と該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、この被膜は、１層または２層以上の層からなり、被膜のうち少なくとも１層は、ＴｉとＺｒとを少なくとも含む硬質被膜層であり、この硬質被膜層は、ＴｉとＺｒの含有量が硬質被膜層の厚み方向に沿って変化する組成構造を有し、この変化は、Ｔｉの含有量が極大となるＴｉ極大含有点とＺｒの含有量が極大となるＺｒ極大含有点とを含み、Ｔｉ極大含有点とＺｒ極大含有点とが繰り返し存在し、Ｔｉ極大含有点におけるＴｉの含有比率Ｔｉ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）は、原子比で０．９９≦Ｔｉ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）≦０．９９９９であり、Ｚｒ極大含有点におけるＺｒの含有量比率Ｚｒ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）は、原子比で０．００１≦Ｚｒ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）≦０．２であることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、超硬合金基材及びコーティングから成る切削工具インサートに関する。該超硬合金基材は、ＷＣ、８〜１１質量％のＣｏ、６．５〜１１質量％のＩＶｂ族、Ｖｂ族及びＶＩｂ族に由来する金属の立方晶炭化物を含み、バインダー相はタングステンとの高合金である。該超硬合金は８〜１４ｋＡ／ｍの保磁力を有する。該コーティングは、ＴＣ（００６）＞２及び＜６の組織係数を有する柱状粒子から成る少なくとも１つの２〜９μｍ厚のα−Ａｌ２Ｏ３層を含む。同時に、ＴＣ（０１２）、ＴＣ（１１０）、ＴＣ（１１３）、ＴＣ（２０２）、ＴＣ（０２４）及びＴＣ（１１６）は全て＜１であり、そしてＴＣ（１０４）は二番目に高い組織係数である。全コーティング厚は７〜１５μｍである。 （もっと読む）

【課題】高速切削条件下でクレーター摩耗を低減しかつ高度な耐摩耗性を付与する被膜を備えた表面被覆切削工具の提供。
【解決手段】基材と該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、この被膜は、１層または２層以上の層からなり、被膜のうち少なくとも１層は、ＴｉとＺｒとを少なくとも含む硬質被膜層であり、この硬質被膜層は、ＴｉとＺｒの含有量が硬質被膜層の厚み方向に沿って変化する組成構造を有し、この変化は、Ｔｉの含有量が極大となるＴｉ極大含有点とＺｒの含有量が極大となるＺｒ極大含有点とを含み、Ｔｉ極大含有点とＺｒ極大含有点とが繰り返し存在し、Ｔｉ極大含有点におけるＴｉの含有比率Ｔｉ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）は、原子比で０．９９９９＜Ｔｉ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）≦１であり、Ｚｒ極大含有点におけるＺｒの含有量比率Ｚｒ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）は、原子比で０．００１≦Ｚｒ／（Ｔｉ＋Ｚｒ）≦０．２であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）中間層としてα型Ａｌ_２Ｏ_３層、（ｃ）上部層として、平板多角形状かつたて長形状の結晶粒組織構造を有するＺｒ含有α型Ａｌ_２Ｏ_３層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、中間層及び上部層は、それぞれ、（０００１）面配向率の高いα型Ａｌ_２Ｏ_３層、Ｚｒ含有α型Ａｌ_２Ｏ_３層からなり、また、上部層の結晶粒の内、面積比率で６０％以上の結晶粒の内部は、少なくとも一つ以上のΣ３で表される構成原子共有格子点形態からなる結晶格子界面により分断されている。 （もっと読む）