本発明は、ガスシールドを使用して、延長されたスタンドオフで、セラミック材料等の高融点材料を溶射して、ガスシールドなしで短いスタンドオフを使用した場合と同じ性質を有する微細構造を生成する独特な方法を提供する。それは、複雑な形状を持つ構成部品のコーティングを促進するために、延長されたスタンドオフにおいてセラミックコーティングの微細構造を制御するのに特に有用である。 （もっと読む）

基材と該基材上に設けられた耐腐食性コーティングとを含む物品が提供される。基材は、一般にアルミナから本質的になり、耐腐食性コーティングは、基材と耐腐食性コーティングの間に介在層、例えば、高温処理プロセスにより提供される反応生成物を与えることなく基材と直接接触するように設けられる。耐腐食性コーティングは、一般に希土類酸化物から本質的になり、約１５ＭＰａ以上の付着強度を有する。特定の実施態様によれば、本物品は、半導体ウェハを処理するための半導体処理装置（１０）で利用及び実装されるセラミック部材（１８、２０）である。
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本発明は、溶射装置の流出液を取り囲んでおり、溶射装置とコートされる表面との間の作動距離又はスタンドオフを効果的に拡張する独特のガスシールド又はシュラウドを提供する。本発明は、セラミック材料及び反応性材料を含む材料を長いスタンドオフで溶射する方法及び加熱したガスシールドを用いて溶着させる流出液の温度を制御する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】摺動部材の摺動面に、耐剥離性及び耐クラック性に優れた複層溶射皮膜を形成する方法を提供する。
【解決手段】摺動部材（１０）の摺動面に耐摩耗層（３）となじみ層（４）からなる溶射皮膜（５）を形成する方法において、なじみ層（４）は、外周研磨、ブラスト等の機械加工が施されない下地の耐摩耗層（３）に溶射して形成する。 （もっと読む）