【課題】シーズヒータが確実に保持され、放熱効果と整流効果が高く、省エネルギー化を図ることができるヒートトンネル用加熱装置を提供する。
【解決手段】ヒートトンネル１４内に風を送るブロア４０の近傍に設けられたシーズヒータ５２と、シーズヒータ５２同士を所定の間隔に連結する保持部材５８を備える。保持部材５８は、変形可能な金属で作られた板体である。長手方向に沿う一側縁部には、シーズヒータ５２が交差して挿通される複数個の半円形の凹部６０を有し、長手方向に沿う反対側の側縁部には、櫛刃状に形成された複数個の溝部６２を備える。長手方向の両端部には、側方に突出する連結突起６４を備える。保持部材６２の長手方向がシーズヒータ５２の長手方向に交差する方向に当てて複数個の凹部６０にシーズヒータ５２をそれぞれ差し込み、他方の保持部材６２を、反対方向から複数個の凹部６０にシーズヒータ５２をそれぞれ差し込み、連結する。 （もっと読む）

【課題】バッチ式熱処理装置において、複数枚の基板を面内の温度が均一になるように同時に熱処理する。
【解決手段】本発明に係るバッチ式熱処理装置は、複数枚の基板１０に対して熱処理空間を提供するチャンバ１００と、複数枚の基板１０を搭載支持するボート１０８と、基板１０の積載方向に一定間隔で配置されかつ各々が複数の主ヒータ２００で構成されるような複数の主ヒータユニット１２０とを含み、基板１０が、複数の主ヒータユニット１２０の間に配置されるようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体の熱膨張収縮時の支持体と抵抗発熱体との間の摩擦抵抗を低減して抵抗発熱体の残留応力による永久歪の発生を抑制し、耐久性の向上を図る。
【解決手段】被処理体ｗを収容して熱処理するための処理容器３を囲繞する筒状の断熱材４と、該断熱材４の内周面に沿って配置される螺旋状の抵抗発熱体５と、上記断熱材４の内周面に軸方向に沿って設けられ抵抗発熱体５を所定ピッチで支持する支持体１３と、上記抵抗発熱体５の外側に軸方向に適宜間隔で配置され断熱材４を径方向に貫通して外部に延出された複数の端子板１４とを備えた熱処理炉において、上記支持体１３は断熱材４に一端が埋め込まれ、他端が径方向内方へ突出された複数本の管状部材５１から成り、該管状部材５１の曲面状の上面部に上記抵抗発熱体５が支持され、上下に隣り合う上記管状部材５１の先端部間には、上記抵抗発熱体５の脱落を防止するための線状部材５５が掛け渡され、該線状部材５５の両端部５５ａが上下の上記管状部材５１の軸孔を通り断熱材４中に埋設されて固定されている。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体の熱膨張収縮に伴う径方向の移動を許容しつつ抵抗発熱体が重力で下方に移動するのを防止し、抵抗発熱体の耐久性の向上を図る。
【解決手段】被処理体ｗを収容して熱処理するための処理容器３を囲繞する筒状の断熱材４と、該断熱材４の内周面に沿って配置される螺旋状の抵抗発熱体５と、断熱材４の内周面に軸方向に所定のピッチで設けられ、抵抗発熱体５を径方向に熱膨張収縮可能に支持する支持体１３と、抵抗発熱体５の外側に軸方向に適宜間隔で配置され断熱材４を径方向に貫通して外部に延出された複数の端子板１４と、抵抗発熱体５に所定のターンごとに設けられ、上記支持体１３の一側面に当接して抵抗発熱体５の下方への移動を阻止する移動阻止部材１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、従来の縦型熱処理炉に比べて、さらに、容易、かつ効率的な、被処理物の搬送及び焼結が行える縦型熱処理炉を提供することにある。
【解決手段】両端が開口した縦型筒状部材４０と、該縦型筒状部材４０の長手方向中央領域４０ａに配設された加熱・保持する加熱手段５０と、前記縦型筒状部材４０の下端開口４２の下方に位置する第１板状部材６０と、該第１板状部材６０の直下位置に配置されるストッパー手段７０とを具えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体の熱膨張収縮時の支持体と抵抗発熱体との間の摩擦抵抗を低減して抵抗発熱体の残留応力による永久歪の発生を抑制し、耐久性の向上を図る。
【解決手段】被処理体ｗを収容して熱処理するための処理容器３を囲繞する筒状の断熱材４と、該断熱材４の内周面に沿って配置される螺旋状の抵抗発熱体５と、上記断熱材４の内周面に軸方向に沿って設けられ抵抗発熱体５を所定ピッチで支持する支持体１３と、上記抵抗発熱体５の外側に軸方向に適宜間隔で配置され断熱材４を径方向に貫通して外部に延出された複数の端子板１４とを備えた熱処理炉において、上記支持体１３は抵抗発熱体５の内側に位置する基部１７と、該基部１７から抵抗発熱体５のピッチ間を通って炉の半径方向外方へ延出する複数の支持片１８とを有するように櫛状に形成され、該支持片１８の上面部が抵抗発熱体５の熱膨張収縮移動時の摩擦抵抗を低減するべく曲面状に形成されている。 （もっと読む）

本発明は、一方では、外部（４）と内部（３）を有する絶縁シェル（１）であって、内部（３）は、例えば、円筒形状の回転対称形状を有する絶縁シェル（１）と；他方では、シェルの内部に配置されるヒーター要素（２）であって、シェルの回転対称形状に対応する全体形状を有する連続ループ状に複数回巻の状態で延伸するヒーター要素（２）と；を備えるタイプの電気炉用インサートに関する。本発明に従い、ワイヤループは、間隔を置いて離れている複数の湾曲部（７）を備え、湾曲部はループを、制限された長さの複数の個々の部分に分割し、発生した熱膨張は、個々の部分に局部的に隔離される。好適な実施の形態において、湾曲部（７）は、Ｕ字形状であり、雷文形状をワイヤループに与える。追加的な形態において本発明はまた、その様なヒーター要素に関する。
（もっと読む）

【課題】垂直焼成炉において、落下中の焼成完了後も被焼成材料を一旦冷却することなく焼成を継続し被焼成物の熱処理時間が長くなり効率的に焼成がなされる垂直焼成炉を提供する。
【解決手段】垂直に設置された炉チューブ３６及び該炉チューブの周囲に配置された加熱源５２からなる第１加熱炉１２と、前記炉チューブの上方に配置されて粉末状の被焼成材料を前記チューブ内に落下させる被焼成材料投入装置１４と、前記炉チューブの上端部３８から雰囲気ガスを投入する雰囲気ガス投入装置と、前記炉チューブの下端部から雰囲気ガスを含む排気ガスを引出し、冷却して排気する排気装置１０４と、前記炉チューブの下端部に少なくとも一部焼成され落下した被焼成物を一定時間加熱保持する第２加熱炉１６とを有することを特徴とする垂直焼成炉１０。 （もっと読む）

本発明の一実施形態は加熱素子構造体である。第１のトレイが、内側境界と外側境界を有する。内側境界と外側境界はスペースを決める。第１のトレイに取り付けられかつ内側境界を取り囲む第１の加熱素子が、電源が投入されたときに発熱する。加熱素子は、ある温度範囲内でそのスペース内で膨張する。
（もっと読む）

【課題】 少なくとも１回以上奇数回折り返された形状のヒータを使用した場合に、そのヒータの垂れ下がりを防止できる焼成炉を提供すること。
【解決手段】 この焼成炉１は、少なくとも１つ以上であって奇数個の折り返し部分をそれぞれ有し、被焼成物を焼成するためのメインヒータ３２及びサブヒータ３３と、メインヒータ３２及びサブヒータ３３と被焼成物との間に配置され、メインヒータ３２及びサブヒータ３３を載置するためのヒータプレート１５と、を備え、ヒータプレート１５にはメインヒータ３２が載置される第１の面とサブヒータ３３が載置される第２の面とが形成されており、第２の面は第１の面よりも被焼成物側に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡素で発熱体を確実に支持し、かつ、放熱効率の高い電気ヒーターを提供する。
【解決手段】 絶縁体に形成した溝に螺旋状の発熱体を挿入した構成において、
発熱体５を扁平状に形成する。発熱体５の断面の長手方向線ＬＷが絶縁体２の平面と平行となるように溝３を形成する。発熱体５の前部をその断面の長手方向幅Ｗに沿って溝３の開口部より露出させる。発熱体５を少なくともその断面長手方向の一方側又は後部で溝３内に固定する。 （もっと読む）

相互に当接されて円筒体を形成し、同円筒体の内容積は炉空間を構成し、且つ電気抵抗要素５を前記円筒体の内面４に当着且つ締着可能とするのに適した、少なくとも２つの円筒状分節２、３、７、８としてのファイバ・モジュールを備える炉断熱材。本発明は、前記円筒体の内側部分は１つ又は複数の半径方向に伸長若しくは概ね半径方向に伸長する間隙１２、１４を含むことを特徴とする。
（もっと読む）

アンドープト・セラミック材のマトリックス内に部分的または完全に埋め込まれたドープト・セラミック加熱素子を備えている抵抗ヒーター。セラミックは、炭化珪素でありうるし、かつドーパントは、窒素でありうる。本発明のヒーターの効果の多くは、加熱素子およびそれらの素子を取り囲んでいるマトリックス材を備えている材料が実質的に同じ熱膨張係数を有しているという事実から生じる。一実施形態では、ヒーターは、コンパクト、強力、強靭、および熱式質量が低く、それを電力入力変化に迅速に応答させる、モノリシック・プレートである。抵抗ヒーターは、エピタキシャル薄膜を成膜し、かつ高速熱処理を実行するもののような、集積回路を製作するために用いられる反応器および処理チャンバの多くで用いられうる。 （もっと読む）