【課題】 簡単な構成で用紙の端部などの位置を適切に検出することができるラインセンサを提供すること。
【解決手段】 基板１の一主面１ａ上に列状に設けられ、一主面１ａの一方側に光を放射可能な複数の発光部２と、一主面１ａ上で、複数の発光部２のそれぞれに隣接して設けられ、一主面１ａの一方側から到来する光を受光可能な複数の受光部３と、外部から発光部２の発光状態を制御する信号が与えられる第２および第３電極４ｂ，４ｃ、および外部に受光部３の受光状態に応じた信号が出力される第４および第５電極４ｄ，４ｅを有し、第２〜第５電極４ｂ〜４ｅは、複数の発光部２および受光部３のうち、端部に設けられる発光部２ａおよび受光部３ａよりも列の延在方向の外方に設けられて、発光部２および受光部３に選択的に接続される配線部４とを含む。 （もっと読む）

【課題】消費電力を低減することができる密着型リニアセンサを提供する。
【解決手段】３個以上の固体撮像素子を備える密着型リニアセンサにおいて、第（ｎ＋１）番目の固体撮像素子が有する水平転送レジスタは、第ｎ番目の固体撮像素子に選択信号（ＶＲＳＥＬ）及び選択信号（ＶＯＳＥＬ）が印加されている期間及び第（ｎ＋１）番目の固体撮像素子に選択信号（ＶＯＳＥＬ）が印加されている期間のみ動作させる。 （もっと読む）

【課題】基板上に一次元または二次元に配列された複数の各画素領域に、それぞれ光電変換部を有して成る固体撮像素子において、短波長から長波長まで、充分な感度を得ることができるようにする。
【解決手段】前記光電変換部となるフォトダイオード４の基板深部にキャリア排出領域５を設け、前記各画素領域を複数のグループに分割し、そのグループ間で、キャリア排出領域５に異なるバイアス電圧を印加することで、エネルギーポテンシャル、したがって電子を排出する深さを変化させ、分光特性を異ならせる。これによって、カラーイメージセンサに用いる場合には、カラーフィルタなどを用いることなく、１回の撮像でフルカラー撮像を可能にでき、分光分析装置に用いる場合には、１回の露光で参照光と蛍光とを区別する分光分析を可能にでき、しかも短波長から長波長まで、充分な感度を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】基板上に一次元または二次元に配列された複数の各画素領域に、それぞれ光電変換部を有して成る固体撮像素子において、短波長から長波長まで、充分な感度を得ることができるようにする。
【解決手段】光電変換部となるフォトダイオード４の基板深部にキャリア排出領域５を設け、複数のフレームを１組として、そのフレーム間で、前記領域５に異なるバイアス電圧を印加することで、エネルギーポテンシャル分布、したがって電子を排出する深さを変化させ、分光特性を異ならせる。これによって、カラーイメージセンサに用いる場合には、カラーフィルタなどを用いることなく、Ｒ，Ｇ，Ｂの３フレームの撮像でフルカラー撮像を可能にでき、分光分析装置に用いる場合には、２回の露光で、参照光と蛍光とを区別する分光分析を可能にでき、しかも短波長から長波長まで、充分な感度を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】消費電力の電荷転送装置を提供する。
【解決手段】電荷転送装置は、Ｐ型ウエル１２と、Ｐ型ウエル１２の表層に設けられたＮ型ウエル１３と、Ｎ型ウエル１３上に絶縁膜を介して設けられた複数の転送電極３０とを備え、各々の転送電極は、ストレージ電極２１，２３とバリア電極２２，２４とを含み、ストレージ電極２１，２３は、その絶縁膜に接するＰ型ポリシリコンを有する。これにより、チャネル電位を低くでき、電源電圧を低くすることができる。 （もっと読む）

【課題】各感光画素毎の蓄積時間の同時性を確保すると共に、信号電荷の加算機能を向上させ、さらにこれらの機能の向上を低ノイズで、かつ、小さな回路面積で実現する。
【解決手段】固体撮像装置は、半導体基板と、前記半導体基板上の入射光を信号電荷に変換する感光画素と、変換された信号電荷を出力信号に変換する電荷検出部とを備える固体撮像装置において、前記感光画素と前記電荷検出部との間に設けられ、前記信号電荷を一時的に蓄積すると共に順次パルスの印加により蓄積した信号電荷を前記電荷検出部に転送する電荷転送部を備える。 （もっと読む）

【課題】水平転送レジスタに意図しない光が入射することを抑制して、スミア特性の改善を図る。
【解決手段】信号電荷を転送する水平転送レジスタと、水平転送レジスタ上に配置された転送電極と、転送電極に転送パルスを供給するφ１アルミニウム配線４７及びφ２アルミニウム配線４８と、φ１アルミニウム配線及びφ２アルミニウム配線の上層に形成されると共にスリットによって第１の領域ａと第２の領域ｂに分割された第２層目アルミニウム層とを備えるＣＣＤリニアセンサにおいて、第２層目アルミニウム配線の上層にスリットへの入射光をスリットの非形成領域に集光するレンズ５６を形成する。 （もっと読む）

【課題】信号電荷の転送改善を実現することができる電荷転送装置の製造方法及びＣＣＤ固体撮像装置の製造方法を提供する。
【解決手段】転送電極上に形成したＳｉＮ層１５をフォトレジスト２１で被覆した状態でサイドウォール１６を形成するエッチング処理を行なう。その後、フォトレジストを除去し、転送電極上に形成したＳｉＮ層１５を残した状態のままで酸化処理を行なって受光部に対応する領域に酸化物層を形成する。 （もっと読む）

【課題】 放熱性の優れた樹脂製中空パッケージを提供する
【解決手段】
ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の１次元及び２次元の固体撮像素子収納用の樹脂製中空パッケージの放熱性を向上させるために、少なくとも半導体素子と同じ大きさのタブを中空部内底面に露出、乃至は樹脂層中に挿入させ、かつ該タブが半導体素子と導通されていないアウターリードに直結され、かつ該アウターリードが導通されたアウターリードと同じ辺にあるパッケージ構造を提案するものである。 （もっと読む）

【課題】フレームレートを低下させることなく広ＤＲ画像を再生するとともに、線形特性部分のゲインを増加させて撮影する場合であっても広ＤＲを確保する。
【解決手段】一次元又は二次元の画素配列を有するとともに、２つ以上の異なる光電変換特性を有する画素部と、前記画素部からの画素信号をアナログの状態で増幅するアナログ増幅部と、前記２つ以上の異なる光電変換特性の前記画素信号それぞれを、該各光電変換特性に対応するアナログゲインを用いて前記アナログ増幅部により増幅させて出力する出力回路とを備えた固体撮像装置とする。 （もっと読む）

【課題】チップギャップの存在に起因する画像の乱れを生じないようにしたラインセンサ
を提供する。
【解決手段】ラインセンサ４は、複数の画素２１は、解像度に応じた個数を含み、直線状
に配列された前記複数の画素の中央部に設けられ、画素ピッチが、解像度から計算される
画素ピッチＰＳに応じた長さよりも短い第１の画素群と、中央部の両側部にそれぞれ設け
られ、画素ピッチが解像度から計算される画素ピッチＰＳに応じた長さよりも長い第２の
画素群と、を有する。 （もっと読む）

【課題】画素内トランジスタのノイズ低減やＦＤ部周辺の結晶欠陥を有効に防止でき、画質の向上を図る。
【解決手段】シリコン基板１００の所定位置に素子分離領域（ＬＯＣＯＳもしくはＳＴＩ）１２１を形成した後、拡散層素子分離部１１０用のシリコン酸化膜１１１を形成する。その後、各種のイオン注入やゲート電極パターンの形成を行い、層間絶縁膜１１４を形成する。その後、長さの異なる接続孔１１６、１１７、１２６、１２７を別工程のエッチングによって順次形成し、各接続孔１１６、１１７、１２６、１２７に導電性材料（タングステン／窒化チタン／チタン）を埋め込み、長さの異なる金属製のプラグ１１８、１１９、１２８、１２９を形成する。また、ＦＤ部に対応するプラグは、一部をポリシリコン材で置換することができる。 （もっと読む）

【課題】 従来の固体撮像装置は、電気的特性、例えば駆動させる際の閾値電圧が経時的に変動しやすい。
【解決手段】 光電変換素子群に近接して半導体基板に形成された電荷転送チャネルと、光電変換素子の各々に１個ずつ形成され、対応する光電変換素子に隣接するとともに電荷転送チャネルとの隣接する読み出しゲート領域と、電荷転送チャネルの上方にＯＮ膜またはＯＮＯ膜を介して形成された複数個の転送電極であって、電荷転送チャネルを平面視上横断し、相隣るもの同士が互いに近接配置されて電荷転送チャネルとともに１本の電荷転送路を構成する複数個の転送電極と、読み出しゲート領域の上方に、ＯＮ膜またはＯＮＯ膜を構成する窒化物層を除去して得られた凹部を埋めることで形成された、ＯＮ膜またはＯＮＯ膜とほぼ同じ厚さを有する酸化物絶縁膜を介して形成され、かつ、転送電極とは酸化物膜で絶縁された読み出しゲート電極であって、読み出しゲート領域に１個ずつ形成された読み出しゲート電極とを備えた固体撮像装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】固体撮像装置内で水素の供給を有効に行い、ノイズの発生を有効に抑制し、画質の向上を図る。
【解決手段】フォトダイオード１１０や画素トランジスタ１２０等が形成されたシリコン基板１００の上にフォトダイオード１１０やトランジスタ１２０に水素を供給する水素放出膜１６０を形成し、その上に水素の拡散防止を行う水素遮断膜１７０を形成している。シリコン基板１００の上面近傍に水素放出膜１６０を配置し、その上に水素遮断膜１７０を配置したことから、水素放出膜１６０の水素が上層方向に拡散するのを遮断でき、フォトダイオード１１０やトランジスタ１２０に対する水素の供給効率を改善でき有効にノイズ抑制を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】光電変換素子は白黒用配列と青色用配列群と緑色用配列群と赤色用配列群で構成され、カラーフィルタは緑色、青色、赤色の順に形成されるリニアセンサーにて、青色カラーフィルタの膜厚のバラツキを低減させたリニアセンサーを提供する。
【解決手段】白黒用光電変換素子２ＢＷの上方に、透明パターン５が青色カラーフィルタ３Ｂの形成前に設けられている。青色用光電変換素子２Ｂ−ａから、青色カラーフィルタと透明パターンが接する位置までの距離ｌ１が、青色用光電変換素子２Ｂ−ｄから、緑色カラーフィルタと青色カラーフィルタが接する位置までの距離ｌ２より短いこと。 （もっと読む）

【課題】低解像度で画像情報を読み込む場合であっても出力信号のデータレートの低下を抑制することができるリニアセンサを提供する。
【解決手段】複数の受光部１を有するセンサ部２と、センサ部で得られた信号電荷を水平方向に転送する水平電荷転送部４とを備えるリニアセンサにおいて、２以上の受光部１を１つのグループとして、このグループと水平電荷転送部４の単位転送ビットとを対応させ、各受光部で蓄積された信号電荷は同受光部が属するグループと対応する単位転送ビットに転送すべく構成すると共に、グループ内の各受光部がそれぞれ異なる経路によって単位転送ビットに信号電荷を転送するための信号電荷保持部を備える。 （もっと読む）

【課題】固体撮像素子の増幅部において発生する熱の放熱性に優れた固体撮像装置を提供する。
【解決手段】本発明の固体撮像装置１０は、長尺状の基板（モールドケース１８）と、モールドケース１８表面に露出するとともにモールドケース１８の長手方向に延在する金属層１６と、金属層１６上に搭載された長尺状の固体撮像素子２０と、を備え、固体撮像素子２０の増幅部の直下領域における金属層１６の層厚は、その他の領域における金属層１６の層厚よりも厚いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＡＤコンバータ（ＡＤＣ）内蔵のマイコンに適したスポットＡＥ機能を搭載し、ＡＥ精度と動作速度を向上させ、チップサイズが小さく、かつ、低コストのスポットＡＥ機能を搭載したＡＥＡＦ用固体撮像装置を実現する。
【解決手段】ＡＥＡＦ用固体撮像装置は、ＡＦを行うためのフォトダイオード列とこれに蓄積された電荷量に応じたＡＦ信号をマルチプレクサ（ＭＰＸ）１０４を介してマイコン１０９のＡＤコンバータ１１２に出力する駆動回路、検出回路、シフトレジスタを有するＡＦ回路ブロック１０１と、ＡＥを行うためのフォトダイオードを含みこれで光電変換されたＡＥ信号をＭＰＸ１０４を介してマイコン１０９のＡＤＣ１１２に出力するＡＥ回路ブロック１０２とが同一半導体基板１００上に形成され、ＡＦ回路ブロック１０１のモニタ信号（最大値信号）をスポットＡＥ信号としてＭＰＸ１０４を介してマイコン１０９のＡＤＣ１１２に出力する。 （もっと読む）

【課題】電荷転送電極間のリークを防ぐことが可能な固体撮像素子の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１０上にシリコン系の導電性材料膜２ａを形成し、この上に絶縁膜３を形成する。次に、絶縁膜３上にレジストのマスクパターン４を形成し、このマスクパターン４を介してＣＨＦ_３とＣＦ_４とＡｒの混合ガスを用いたエッチングを行って電荷転送電極２を形成する。半導体基板１０の全面に絶縁膜５を形成し、絶縁膜３をストッパとするエッチバックを行って、電荷転送電極２の露出面にのみ絶縁膜５を残す。半導体基板１０全面にシリコン系の導電性材料膜６ａを形成し、絶縁膜３をストッパとしたＣＭＰやエッチバックによって、導電性材料膜６ａの絶縁膜３よりも上の部分を除去して平坦化した後、導電性材料膜６ａ及び絶縁膜３上にレジストのマスクパターン７を形成する。マスクパターン７を介したエッチングを行って、電荷転送電極６を形成する。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＳ固体撮像装置における画素のノイズを低減する。白点の発生、１／ｆノイズの低減を図る。さらに読出し特性の改善を図る。
【解決手段】ＭＯＳ固体撮像装置における所要の画素トランジスタにおいて、ゲート電極に所要導電型のサイドウォールを形成する。読み出しトランジスタでは、例えばゲート電極６３の光電変換素子４３側を第１導電型領域６３Ｐとし、フローティングディフージョン部４６側を第２導電型領域６３Ｎとして構成とする。好ましくは、ゲート電極６３の光電変換素子４３側に絶縁膜５６を介して第１導電型の半導体材料部６４Ｐを形成する。例えば増幅トランジスタでは、ゲート電極下に埋め込みチャネルを形成し、第１導電型または第２導電型の半導体材料部を形成する。リセットトランジスタでは、ゲート電極のフローティングディフージョン部と電気的に接続される領域側に、所要導電型の半導体材料部を形成する。 （もっと読む）